面對(duì)高溫高濕等惡劣生產(chǎn)環(huán)境，中清航科對(duì)晶圓切割設(shè)備進(jìn)行了特殊環(huán)境適應(yīng)性改造。設(shè)備電氣系統(tǒng)采用三防設(shè)計(jì)（防潮濕、防霉菌、防鹽霧），機(jī)械結(jié)構(gòu)采用耐腐蝕材料，可在溫度30-40℃、濕度60-85%的環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行，特別適用于熱帶地區(qū)半導(dǎo)體工廠及特殊工業(yè)場(chǎng)景。晶圓切割的刀具損耗是影響成本的重要因素，中清航科開(kāi)發(fā)的刀具壽命預(yù)測(cè)系統(tǒng)，通過(guò)振動(dòng)傳感器與AI算法實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)刀具磨損狀態(tài)，提前2小時(shí)預(yù)警刀具更換需求，并自動(dòng)推送比較好的更換時(shí)間窗口，避免因刀具突然失效導(dǎo)致的產(chǎn)品報(bào)廢，使刀具消耗成本降低25%。中清航科真空吸附晶圓托盤(pán)，解決超薄晶圓切割變形難題。揚(yáng)州sic晶圓切割劃片

半導(dǎo)體晶圓是一種薄而平的半導(dǎo)體材料圓片，組成通常為硅，主要用于制造集成電路（IC）和其他電子器件的基板。晶圓是構(gòu)建單個(gè)電子組件和電路的基礎(chǔ)，各種材料和圖案層在晶圓上逐層堆疊形成。由于優(yōu)異的電子特性，硅成為了常用的半導(dǎo)體晶圓材料。根據(jù)摻雜物的添加，硅可以作為良好的絕緣體或?qū)w。此外，硅的儲(chǔ)量也十分豐富，上述這些特性都使其成為半導(dǎo)體行業(yè)的成本效益選擇。其他材料如鍺、氮化鎵（GaN）、砷化鎵（GaAs）和碳化硅（SiC）也具有一定的適用場(chǎng)景，但它們的市場(chǎng)份額遠(yuǎn)小于硅。上海碳化硅線晶圓切割代工廠采用中清航科激光隱形切割技術(shù)，晶圓分片效率提升40%以上。

晶圓切割是半導(dǎo)體封裝的中心環(huán)節(jié)，傳統(tǒng)刀片切割通過(guò)金剛石砂輪實(shí)現(xiàn)材料分離。中清航科研發(fā)的超薄刀片（厚度15-20μm）結(jié)合主動(dòng)冷卻系統(tǒng)，將切割道寬度壓縮至30μm以?xún)?nèi)，崩邊控制在5μm以下。我們的高剛性主軸技術(shù)可適配8/12英寸晶圓，切割速度提升40%，為L(zhǎng)ED、MEMS器件提供經(jīng)濟(jì)高效的解決方案。針對(duì)超薄晶圓（<50μm）易碎裂難題，中清航科激光隱形切割系統(tǒng)采用紅外脈沖激光在晶圓內(nèi)部形成改性層，通過(guò)擴(kuò)張膜實(shí)現(xiàn)無(wú)應(yīng)力分離。該技術(shù)消除機(jī)械切割導(dǎo)致的微裂紋，良率提升至99.3%，尤其適用于存儲(chǔ)芯片、CIS等器件，助力客戶(hù)降低材料損耗成本。

針對(duì)高粘度晶圓切割液的回收處理，中清航科研發(fā)了離心式過(guò)濾凈化系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過(guò)三級(jí)過(guò)濾工藝，可去除切割液中99.9%的固體顆粒雜質(zhì)，使切割液循環(huán)利用率提升至80%以上，不只降低耗材成本，還減少?gòu)U液排放。同時(shí)配備濃度自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，確保切割液性能穩(wěn)定，保障切割質(zhì)量一致性。在晶圓切割設(shè)備的維護(hù)便捷性設(shè)計(jì)上，中清航科秉持“易維護(hù)”理念。設(shè)備關(guān)鍵部件采用模塊化設(shè)計(jì)，更換激光頭、切割刀片等中心組件只需15分鐘，較傳統(tǒng)設(shè)備縮短70%維護(hù)時(shí)間。同時(shí)配備維護(hù)指引系統(tǒng)，通過(guò)AR技術(shù)直觀展示維護(hù)步驟，降低對(duì)專(zhuān)業(yè)維護(hù)人員的依賴(lài)，減少客戶(hù)運(yùn)維壓力。第三代半導(dǎo)體切割中清航科提供全套解決方案，良率95%+。

中清航科原子層精切技術(shù)：采用氬離子束定位轟擊（束斑直徑2nm），實(shí)現(xiàn)石墨烯晶圓無(wú)損傷分離。邊緣鋸齒度<5nm，電導(dǎo)率波動(dòng)控制在±0.5%，滿(mǎn)足量子芯片基材需求。中清航科SmartCool系統(tǒng)通過(guò)在線粘度計(jì)與pH傳感器，實(shí)時(shí)調(diào)整冷卻液濃度（精度±0.1%）。延長(zhǎng)刀具壽命40%，減少化學(xué)品消耗30%，單線年省成本$12萬(wàn)。中清航科開(kāi)發(fā)振動(dòng)指紋庫(kù)：采集設(shè)備運(yùn)行特征頻譜，AI定位振動(dòng)源（如電機(jī)偏心/軸承磨損）。主動(dòng)抑制系統(tǒng)將振動(dòng)能量降低20dB，切割線寬波動(dòng)<±0.5μm。超窄街切割方案中清航科實(shí)現(xiàn)30μm道寬，芯片數(shù)量提升18%。淮安砷化鎵晶圓切割

中清航科切割液回收系統(tǒng)降低耗材成本35%，符合綠色制造。揚(yáng)州sic晶圓切割劃片

晶圓切割的主要目標(biāo)之一是從每片晶圓中獲得高產(chǎn)量的、功能完整且無(wú)損的芯片。產(chǎn)量是半導(dǎo)體制造中的一個(gè)關(guān)鍵性能指標(biāo)，因?yàn)樗苯佑绊戨娮悠骷a(chǎn)的成本和效率。更高的產(chǎn)量意味著每個(gè)芯片的成本更造能力更大，制造商更能滿(mǎn)足不斷增長(zhǎng)的電子器件需求。晶圓切割直接影響到包含這些分離芯片的電子器件的整體性能。切割過(guò)程的精度和準(zhǔn)確性需要確保每個(gè)芯片按照設(shè)計(jì)規(guī)格分離，尺寸和對(duì)準(zhǔn)的變化小。這種精度對(duì)于在終設(shè)備中實(shí)現(xiàn)比較好電氣性能、熱管理和機(jī)械穩(wěn)定性至關(guān)重要。揚(yáng)州sic晶圓切割劃片