薄膜沉積的傳統(tǒng)方法一直是熱蒸發(fā)，或采用電阻加熱蒸發(fā)源或采用電子束蒸發(fā)源。薄膜特性主要決定于沉積原子的能量，傳統(tǒng)蒸發(fā)中原子的能量*約0.1eV。IAD沉積導(dǎo)致電離化蒸汽的直接沉積并且給正在生長的膜增加活化能，通常為50eV量級。離子源將束流從離子***指向基底表面和正在生長的薄膜來改善傳統(tǒng)電子束蒸發(fā)的薄膜特性。薄膜的光學(xué)性質(zhì)，如折射率、吸收和激光損傷閾值，主要依賴于膜層的顯微結(jié)構(gòu)。薄膜材料、殘余氣壓和基底溫度都可能影響薄膜的顯微結(jié)構(gòu)。如果蒸發(fā)沉積的原子在基底表面的遷移率低，則薄膜會含有微孔。當(dāng)薄膜暴露于潮濕的空氣時，這些微孔逐漸被水汽所填充。 [3為了使金屬反射膜的反射率進一步提高，可以在膜的外側(cè)加鍍幾層一定厚度的電介質(zhì)層，組成金屬電介質(zhì)反射膜。南通質(zhì)量光學(xué)膜批量定制

圖19.12示出裝配在高真空鍍膜機基板上的硬件布局。兩個電子槍源位于基板兩邊，周圍是環(huán)形罩并被擋板覆蓋。離子源位于中間，光控窗口在離子源的前方。圖19.13示出真空室的頂部，真空室里有含6個圓形夾具的行星系統(tǒng)。夾具用于放置被鍍膜的光學(xué)元件。使用行星系統(tǒng)是保證被蒸發(fā)材料在夾具區(qū)域內(nèi)均勻分布的優(yōu)先方法。夾具繞公共軸旋轉(zhuǎn)，同時繞其自身軸旋轉(zhuǎn)。光控和晶控處于行星驅(qū)動機械裝置的中部，驅(qū)動軸遮擋晶控。背面的大開口通向附加的高真空泵。基底加熱系統(tǒng)由4個石英燈組成，真空室的兩邊各兩個。江蘇品牌光學(xué)膜安裝分光膜主要包括波長分光膜、光強分光膜和偏振分光膜等幾類。

?反射膜?是一種光學(xué)材料，主要用于液晶顯示器（LCD）背光模組中，其作用是將透過導(dǎo)光板漏出的光線反射回去，減少光損失，增加背光亮度。反射膜的反射率通常要求在96%以上，通過涂布高反射率涂層或鏡面鍍銀后，反射率可達到97%以上，甚至100%?。反射膜一般可分為兩大類，一類是金屬反射膜，一類是全電介質(zhì)反射膜。此外，還有把兩者結(jié)合起來的金屬電介質(zhì)反射膜。一般金屬都具有較大的消光系數(shù)，當(dāng)光束由空氣入射到金屬表面時，進入金屬內(nèi)的光振幅迅速衰減，使得進入金屬內(nèi)部的光能相應(yīng)減少，而反射光能增加。消光系數(shù)越大，光振幅衰減越迅速，進入金屬內(nèi)部的光能越少，反射率越高。人們總是選擇光系數(shù)較大，光學(xué)性質(zhì)較穩(wěn)定的那些金屬作為金屬膜材料。在紫外區(qū)常用的金屬薄材料是鋁，在可見光區(qū)常用鋁和銀，在紅外區(qū)常用金、銀和銅，此外，鉻和鉑也常作一些特種薄膜的膜料。由于鋁、銀、銅等材料在空氣中很容易氧化而降低性能，所以必須用電介質(zhì)膜加以保護。常用的保護膜材料有一氧化硅、氟化鎂、二氧化硅、三氧化二鋁等。

在工藝上，人們還缺乏有效的手段實現(xiàn)對薄膜淀積參量的精確控制，這樣，薄膜的生長就具有一定程度的隨機性，薄膜的光學(xué)常數(shù)、薄膜的厚度以及薄膜的性能也就具有一定程度的不穩(wěn)定性和盲目性，這一切都限制了光學(xué)薄膜質(zhì)量的提高。就光學(xué)薄膜本身來說，除了光學(xué)性能需要提高，吸收、散射等光損耗需要減少之外，它的機械強度、化學(xué)穩(wěn)定性和物理性質(zhì)都需要進一步改進。在激光系統(tǒng)中，光學(xué)薄膜的抗激光強度較低，這是光學(xué)薄膜研究中**重要的問題之一。下面介紹幾種常用的光學(xué)薄膜元件。人們總是選擇消光系數(shù)較大，光學(xué)性質(zhì)較穩(wěn)定的那些金屬作為金屬膜材料。

一般情況下，采用單層增透膜很難達到理想的增透效果,為了在單波長實現(xiàn)零反射,或在較寬的光譜區(qū)達到好的增透效果，往往采用雙層、三層甚至更多層數(shù)的減反射膜。圖1的a、b、c分別繪出Kg玻璃表面的單層、雙層和三層增透膜的剩余反射曲線。減反射膜是應(yīng)用**廣、產(chǎn)量比較大的一種光學(xué)薄膜，因此，它至今仍是光學(xué)薄膜技術(shù)中重要的研究課題，研究的重點是尋找新材料，設(shè)計新膜系,改進淀積工藝,使之用**少的層數(shù)，**簡單、**穩(wěn)定的工藝，獲得盡可能高的成品率，達到**理想的效果。對激光薄膜來說，減反射膜是激光損傷的薄弱環(huán)節(jié)，如何提高它的破壞強度，也是人們**關(guān)心的問題之一。常見的干涉濾光片是截止濾光片和帶通濾光片。如東品牌光學(xué)膜廠家直銷

原則上說，全電介質(zhì)反射膜的反射率可以無限接近于1，但是薄膜的散射、吸收損耗限制了薄膜反射率的提高。南通質(zhì)量光學(xué)膜批量定制

◆ 光學(xué)薄膜可分為“幾何光學(xué)和物理光學(xué)”，幾何光學(xué)是通過光學(xué)器件表面形成的幾何狀的介質(zhì)膜層，以使改變光路經(jīng)來實現(xiàn)光束的調(diào)整或再分配作用；物理光學(xué)是將自然界中特有的光學(xué)材料元素通過納米處理至所需的光學(xué)器件表面形成的介質(zhì)膜層，透過介質(zhì)膜層的光學(xué)材料元素的特性增強於改變光偏振，透射，反射等功能。◆ 通常光學(xué)薄膜的制備條件要求高而精，制備光學(xué)薄膜分干式制備法和濕式制備法，干式制備法（ 含真空鍍膜：蒸發(fā)鍍，磁控濺鍍，離子鍍等）一般用於物理光學(xué)薄膜的制備，濕式制備法（含涂布法， 流延法，熱塑法等）一般用於幾何光學(xué)薄膜的制備。南通質(zhì)量光學(xué)膜批量定制

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