MEMS傳感器是MEMS器件的一個重要分支，作為微機電系統(tǒng)的重要組成部分，MEMS傳感器是實現(xiàn)微機電系統(tǒng)感知和信號處理的功能器件。這種傳感器采用MEMS制造技術，即微電子制造技術和微機械加工制造技術，其材料、工作原理、制作工藝等方面與傳統(tǒng)傳感器有相當大的區(qū)別。 [4]MEMS傳感器是基于其敏感材料的特殊效應工作的，它的制作工藝結合當今先進的IC微電子加工工藝和MEMS微機械加工制造工藝來實現(xiàn)，通過對材料的微機械加工，制造出可感受壓力、溫度、磁場、加速度等各種參數(shù)的穩(wěn)定的結構器件(如梁、膜、叉指等單一或復合的結構)，從而實現(xiàn)對各種相關參數(shù)的感知、測試和轉換轉換元件和變換電路一般還需要輔助電源供電。奉賢區(qū)智能傳感器特點

3.應用于運動追蹤系統(tǒng)在運動員的日常訓練中，MEMS傳感器可以用來進行3D人體運動測量，對每一個動作進行記錄，教練們對結果分析，反復比較，以便提高運動員的成績。隨著MEMS技術的進一步發(fā)展，MEMS傳感器的價格也會隨著降低，這在大眾健身房中也可以廣泛應用。在滑雪方面，3D運動追蹤中的壓力傳感器、加速度傳感器、陀螺儀以及GPS可以讓使用者獲得極精確的觀察能力，除了可提供滑雪板的移動數(shù)據(jù)外，還可以記錄使用者的位置和距離。在沖浪方面也是如此，安裝在沖浪板上的3D運動追蹤，可以記錄海浪高度、速度、沖浪時間、漿板距離、水溫以及消耗的熱量等信息。徐匯區(qū)標準傳感器性能相信不久的將來，傳感器技術將會出現(xiàn)一個飛躍，達到與其重要地位相稱的新水平。

例如，基于半導體硅材料壓阻效應的壓力傳感器、基于石英材料壓電效應的微加速度傳感器、基于磁致伸縮材料伸縮效應的微位移傳感器等。1.應用于醫(yī)療MEMS傳感器應用于無創(chuàng)胎心檢測，檢測胎兒心率是一項技術性很強的工作，由于胎兒心率很快，在每分鐘l20～160次之間，用傳統(tǒng)的聽診器甚至只有放大作用的超聲多普勒儀，用人工計數(shù)很難測量準確。而具有數(shù)字顯示功能的超聲多普勒胎心監(jiān)護儀，價格昂貴，*為少數(shù)大醫(yī)院使用，在中、小型醫(yī)院及廣大的農(nóng)村地區(qū)無法普及。此外，超聲振動波作用于胎兒，會對胎兒產(chǎn)生很大的不利作用。盡管檢測劑量很低，也屬于有損探測范疇，不適于經(jīng)常性、重復性的檢查及家庭使用。

2.應用在汽車電子應用在汽車中的MEMS傳感器MEMS壓力傳感器主要應用在測量氣囊壓力、燃油壓力、發(fā)動機機油壓力、進氣管道壓力及輪胎壓力。這種傳感器用單晶硅作材料，以采用MEMS技術在材料中間制作成力敏膜片，然后在膜片上擴散雜質形成四只應變電阻，再以惠斯頓電橋方式將應變電阻連接成電路，來獲得高靈敏度。車用MEMS壓力傳感器有電容式、壓阻式、差動變壓器式、聲表面波式等幾種常見的形式。而MEMS加速度計的原理是基于牛頓的經(jīng)典力學定律，通常由懸掛系統(tǒng)和檢測質量組成，通過微硅質量塊的偏移實現(xiàn)對加速度的檢測，主要用于汽車安全氣囊系統(tǒng)、防滑系統(tǒng)、汽車導航系統(tǒng)和防盜系統(tǒng)等，除了有電容式、壓阻式以外，MEMS加速度計還有壓電式、隧道電流型、諧振式和熱電偶式等形式。傳感器的存在和發(fā)展，讓物體有了觸覺、味覺和嗅覺等感官，讓物體變得活了起來，傳感器是人類五官的延長。

圖1 傳感器的組成敏感元件直接感受被測量，并輸出與被測量有確定關系的物理量信號；轉換元件將敏感元件輸出的物理量信號轉換為電信號；變換電路負責對轉換元件輸出的電信號進行放大調(diào)制；轉換元件和變換電路一般還需要輔助電源供電。常將傳感器的功能與人類5大感覺***相比擬：光敏傳感器——視覺聲敏傳感器——聽覺氣敏傳感器——嗅覺化學傳感器——味覺傳感器（圖1）壓敏、溫敏、流體傳感器——觸覺敏感元件的分類：物理類，基于力、熱、光、電、磁和聲等物理效應。化學類，基于化學反應的原理。生物類，基于酶、抗體、和***等分子識別功能。轉換元件將敏感元件輸出的物理量信號轉換為電信號；普陀區(qū)常見傳感器性能

而單靠人們自身的感覺，在研究自然現(xiàn)象和規(guī)律以及生產(chǎn)活動中它們的功能就遠遠不夠了。奉賢區(qū)智能傳感器特點

應用領域：視覺傳感器的低成本和易用性已吸引機器設計師和工藝工程師將其集成入各類曾經(jīng)依賴人工、多個光電傳感器，或根本不檢驗的應用。視覺傳感器的工業(yè)應用包括檢驗、計量、測量、定向、瑕疵檢測和分撿。以下只是一些應用范例：在汽車組裝廠，檢驗由機器人涂抹到車門邊框的膠珠是否連續(xù)，是否有正確的寬度；在瓶裝廠，校驗瓶蓋是否正確密封、裝灌液位是否正確，以及在封蓋之前沒有異物掉入瓶中；在包裝生產(chǎn)線，確保在正確的位置粘貼正確的包裝標簽；奉賢區(qū)智能傳感器特點

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