依托強大的研發與制造能力，國瑞熱控提供全流程半導體加熱盤定制服務，滿足特殊工藝與設備的個性化需求。可根據客戶提供的圖紙與參數，定制圓形、方形等特殊形狀加熱盤，尺寸覆蓋 4 英寸至 18 英寸晶圓規格。材質可選擇鋁合金、氮化鋁陶瓷、因瓦合金等多種類型，加熱方式支持電阻加熱、紅外加熱及復合加熱模式，溫度范圍與控溫精度按需設定。通過三維建模與溫度場仿真優化設計方案，原型樣品交付周期縮短至 15 個工作日，批量生產前提供 2 臺樣品進行工藝驗證。已為長鑫存儲、華虹半導體等企業定制**加熱盤，適配其自主研發設備，助力國產半導體設備產業鏈完善。密封式設計防潮防塵耐腐蝕，適用于復雜環境特殊氣氛。連云港刻蝕晶圓加熱盤生產廠家

國瑞熱控推出半導體加熱盤專項維修服務，針對加熱元件老化、溫度均勻性下降等常見問題提供系統解決方案。服務流程涵蓋外觀檢測、絕緣性能測試、溫度場掃描等 12 項檢測項目，精細定位故障點。采用原廠匹配的氮化鋁陶瓷基材與加熱元件，維修后的加熱盤溫度均勻性恢復至 ±1℃以內，使用壽命延長至新設備的 80% 以上。配備專業維修團隊，可提供上門服務與設備現場調試，單臺維修周期控制在 7 個工作日以內，大幅縮短生產線停機時間。建立維修檔案與質保體系，維修后提供 6 個月質量保障，為企業降低設備更新成本，提升資產利用率。青浦區加熱盤適用半導體、醫療、科研等多個領域，是您理想的加熱解決方案。

國瑞熱控高真空半導體加熱盤，專為半導體精密制造的真空環境設計，實現無污染加熱解決方案。產品采用特殊密封結構與高純材質制造，所有部件均經過真空除氣處理，在 10??Pa 高真空環境下無揮發性物質釋放，避免污染晶圓表面。加熱元件采用嵌入式設計，與基材緊密結合，熱量傳遞損耗降低 30%，熱效率***提升。通過內部溫度場模擬優化，加熱面均溫性達 ±1℃，適配光學器件鍍膜、半導體晶圓加工等潔凈度要求嚴苛的場景。設備可耐受反復升溫降溫循環，在 - 50℃至 500℃溫度區間內結構穩定，為高真空環境下的精密制造提供符合潔凈標準的溫控保障。

國瑞熱控刻蝕工藝加熱盤，專為半導體刻蝕環節的精細溫控設計，有效解決刻蝕速率不均與圖形失真問題。產品采用藍寶石覆層與鋁合金基體復合結構，表面經拋光處理至鏡面效果，減少刻蝕副產物粘附，且耐受等離子體轟擊無損傷。加熱盤與靜電卡盤協同適配，通過底部導熱紋路優化，使熱量快速傳導至晶圓背面，溫度響應時間縮短至 10 秒以內。支持溫度階梯式調節功能，可根據刻蝕深度需求設定多段溫度曲線，適配硅刻蝕、金屬刻蝕等不同工藝場景。設備整體符合半導體潔凈車間 Class 1 標準，拆卸維護無需特殊工具，大幅降低生產線停機時間。設計生產精益求精，溫度一致性優，動態響應能力出色。

針對碳化硅襯底生長的高溫需求，國瑞熱控**加熱盤采用多加熱器分區布局技術，**溫度梯度可控性差的行業難題。加熱盤主體選用耐高溫石墨基材，表面噴涂碳化硅涂層，在 2200℃高溫下仍保持結構穩定，熱導率達 180W/mK，適配 PVT 法、TSSG 法等主流生長工藝。內部劃分 12 個**溫控區域，每個區域控溫精度達 ±2℃，通過精細調節溫度梯度控制晶體生長速率，助力 8 英寸碳化硅襯底量產。設備配備石墨隔熱屏與真空密封結構，在 10??Pa 真空環境下無雜質釋放，與晶升股份等設備廠商聯合調試適配，使襯底生產成本較進口方案降低 30% 以上，為新能源汽車、5G 通信等領域提供**材料支撐。模塊化設計便于維護更換，減少停機時間，提升產能。連云港刻蝕晶圓加熱盤生產廠家

升溫迅速表面溫差小，過熱保護安全耐用，為設備護航。連云港刻蝕晶圓加熱盤生產廠家

針對半導體晶圓研磨后的應力釋放需求，國瑞熱控**加熱盤以溫和溫控助力晶圓性能穩定。采用鋁合金基體與柔性導熱墊層復合結構，導熱墊層硬度 Shore A 30，可貼合研磨后晶圓表面微小凹凸，確保熱量均勻傳遞。溫度調節范圍 30℃-150℃，控溫精度 ±0.8℃，支持階梯式升溫（每階段升溫 5℃-10℃，保溫 10-30 分鐘），緩慢釋放晶圓內部機械應力。配備氮氣保護系統，避免加熱過程中晶圓表面氧化，且加熱盤表面粗糙度 Ra 小于 0.05μm，無顆粒劃傷晶圓風險。與硅產業集團、中環股份等晶圓廠商合作，使研磨后晶圓翹曲度降低 20% 以上，提升后續光刻、刻蝕工藝的良率。連云港刻蝕晶圓加熱盤生產廠家

無錫市國瑞熱控科技有限公司匯集了大量的優秀人才，集企業奇思，創經濟奇跡，一群有夢想有朝氣的團隊不斷在前進的道路上開創新天地，繪畫新藍圖，在江蘇省等地區的電工電氣中始終保持良好的信譽，信奉著“爭取每一個客戶不容易，失去每一個用戶很簡單”的理念，市場是企業的方向，質量是企業的生命，在公司有效方針的領導下，全體上下，團結一致，共同進退，**協力把各方面工作做得更好，努力開創工作的新局面，公司的新高度，未來無錫市國瑞熱控科技供應和您一起奔向更美好的未來，即使現在有一點小小的成績，也不足以驕傲，過去的種種都已成為昨日我們只有總結經驗，才能繼續上路，讓我們一起點燃新的希望，放飛新的夢想！