A、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服，不得超過2人，應(yīng)位于測試點下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測試點，并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點操作時動作要輕，應(yīng)減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C、檢測前和檢測后設(shè)備“清零”D、在單向流區(qū)域，所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動力采樣，進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無法做到這一點，將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點，采樣口應(yīng)豎直向上。E、采樣口至粒子計數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。潔凈室檢測中，需特別關(guān)注空氣交換率和自凈時間。北京生物安全柜檢測方便客戶

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說，所謂的無塵，并不是100%沒有一點灰塵，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然，這個標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物，相對于我們常見的粉塵來說是非常小的，但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響上海潔凈工作臺檢測哪家好亂流非單向流潔凈室凡不符合單向流定義的氣流的潔凈室。混合流潔凈室：單向流和非單向的氣流的潔凈室。

單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此，其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物，因此它們是主要關(guān)注的檢測項目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此，換氣次數(shù)越大，氣流流型合理，稀釋效果越***，潔凈度也相應(yīng)提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風(fēng)量及相應(yīng)的換氣次數(shù)，是主要關(guān)注的氣流測試項目。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù)，記錄各測點風(fēng)速的時間平均值。

對單向流如5級凈化房間內(nèi)及層流工作臺測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行不少于10分鐘后開始；對非單向流如7級、8級以上的凈化房間測試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運行不少于30分鐘開始。a.采樣方法：將已制備好的培養(yǎng)皿放置在預(yù)先確定的取樣點，打開培養(yǎng)皿蓋使培養(yǎng)基表面暴露0.5小時再將培養(yǎng)皿蓋上蓋后倒置。b.培養(yǎng)全部采樣結(jié)束，將培養(yǎng)皿倒置于恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)。在30-35℃培養(yǎng)時間不少于48小時。每批培養(yǎng)基應(yīng)有對照試驗檢查培養(yǎng)基本身是否污染可每批選定3只培養(yǎng)皿作對照培養(yǎng)。c.菌落計數(shù)用肉眼直接計數(shù)然后用5-10倍放大鏡檢查有否遺漏。若培養(yǎng)皿上有2個或2個以上菌落重疊可分辨時仍以2個或2個以上的菌落計數(shù)。潔凈室檢測前，需對檢測設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)，確保數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。

3.壓差檢測：潔凈室與外界環(huán)境的壓差是保持潔凈室內(nèi)潔凈度的重要因素。壓差檢測通過對潔凈室各區(qū)域的壓差進(jìn)行測量，確保潔凈室內(nèi)部與外部環(huán)境的壓差符合規(guī)定要求，從而防止外部污染物進(jìn)入潔凈室。4.氣流速度檢測：潔凈室內(nèi)的氣流速度對于維持潔凈度至關(guān)重要。氣流速度過快可能導(dǎo)致塵埃粒子飛揚，而氣流速度過慢則可能導(dǎo)致塵埃粒子沉積。因此，氣流速度檢測是評估潔凈室氣流組織情況的重要手段。5.表面潔凈度檢測：潔凈室內(nèi)的各種表面，如墻壁、地面、設(shè)備外殼等，也是塵埃粒子容易沉積的地方。表面潔凈度檢測通過對這些表面的塵埃粒子數(shù)量進(jìn)行檢測，評估潔凈室內(nèi)部表面的潔凈情況。CMA資質(zhì)方面：認(rèn)可第三方檢測機(jī)構(gòu)，CMA計量認(rèn)證資質(zhì)。排風(fēng)柜檢測

層流罩一種可提供局部高清潔環(huán)境的空氣凈化設(shè)備。它主要有箱體，風(fēng)機(jī)，初效空氣過濾器，高效空氣過濾器。北京生物安全柜檢測方便客戶

（二）潔凈室制造竣工驗收的調(diào)試工作1、凡有試運轉(zhuǎn)要求的設(shè)備單機(jī)試運轉(zhuǎn)應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件的有關(guān)規(guī)定。屬于機(jī)械設(shè)備的共性要求還應(yīng)符合國家相關(guān)規(guī)定和機(jī)械設(shè)備施工安裝方面的有關(guān)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。通常潔凈室需進(jìn)行單機(jī)試運轉(zhuǎn)的設(shè)備有空調(diào)機(jī)組、送風(fēng)增壓風(fēng)機(jī)箱、排風(fēng)設(shè)備、凈化工作臺、靜電自凈器、潔凈干燥箱、潔凈儲物柜等局部凈化設(shè)備以及空氣吹淋室、余壓閥、真空吸塵清掃設(shè)備等。2、在單機(jī)試運轉(zhuǎn)合格后需對送風(fēng)系統(tǒng)、回風(fēng)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)量、風(fēng)壓調(diào)節(jié)裝置進(jìn)行設(shè)定與調(diào)整使各系統(tǒng)的風(fēng)量分配達(dá)到設(shè)計要求。這個階段檢測的目的主要是服務(wù)于空調(diào)凈化系統(tǒng)的調(diào)節(jié)與平衡往往需要反復(fù)進(jìn)行多次。此項檢測主要由承包商負(fù)責(zé)建設(shè)方的維護(hù)管理人員宜于跟進(jìn)以便熟悉系統(tǒng)。在此基礎(chǔ)上再進(jìn)行包括冷、熱源在內(nèi)的系統(tǒng)聯(lián)合試運轉(zhuǎn)時間一般不少于8h。要求系統(tǒng)中各項設(shè)備部件包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、自動調(diào)節(jié)裝置等的聯(lián)動運轉(zhuǎn)與協(xié)調(diào)過程中應(yīng)動作正確無異常現(xiàn)象。北京生物安全柜檢測方便客戶