10.3.1潔凈廠房內(nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定,并應符合下列規(guī)定:1供氣規(guī)模應按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計人必要損耗量確定,并應設有一定的備用供氣量;2供氣品質(zhì)應根據(jù)生產(chǎn)工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定;3供氣系統(tǒng)可集中設置在潔凈廠房內(nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站;4應選用能耗少、噪聲低的設備,宜選用無油潤滑空氣壓縮機，5含水量要求嚴格時,宜選用加熱再生吸附干燥裝置。無塵室極主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度。浙江壓差無塵室檢測方法

16.4.22臭氧濃度的檢驗應符合下列規(guī)定：在風系統(tǒng)內(nèi)或室內(nèi)安有可產(chǎn)生臭氧的裝置時，除裝置本身產(chǎn)生的臭氧應符合現(xiàn)行的相關(guān)產(chǎn)品標準規(guī)定外，還應在系統(tǒng)和該裝置正常運轉(zhuǎn)條件下，檢測室內(nèi)臭氧濃度。應按附錄E檢驗，結(jié)果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現(xiàn)行國家標準《室內(nèi)空氣質(zhì)量標準》GB/T18883不大于0.16mg/m3的規(guī)定。16.4.23二氧化碳濃度的檢測應符合下列規(guī)定：當對新風效果作細致確認時，可在風系統(tǒng)正常運行、室內(nèi)處于動態(tài)條件下，于每一班次結(jié)束之前檢測室內(nèi)二氧化碳濃度，按附錄E檢驗，結(jié)果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現(xiàn)行國家標準《空內(nèi)空氣質(zhì)量標準》GB/T18883不大于0.10％的規(guī)定。16.4.24當需要測定分子態(tài)污染物濃度時，可按附錄H的方法或按建設方與檢驗方商定的方法檢測，結(jié)果應符合設計要求或雙方商定的標準。上海溫濕度無塵室檢測方法在未來，隨著科技的不斷推進，無塵室必將繼續(xù)在人類的探索和創(chuàng)新道路上發(fā)揮著不可或缺的作用。

11.5.1工藝設備的安裝不應影響潔凈室參數(shù)和服務功能。11.5.2工藝設備安裝時，現(xiàn)場的凈化空調(diào)系統(tǒng)應已連續(xù)運行24h以上；現(xiàn)場除正常照明外，應配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設備的提升、牽引或定位的**設備在進人潔凈室安裝現(xiàn)場前，應徹底清潔，并應檢查有無脫屑、剝落的表面或不宜進入潔凈環(huán)境的材料。11.5.4設備安裝時應妥善保護墻壁與地面，設備的軟膠輪應予包裹，避免在地面拖磨。開洞作業(yè)不應劃傷或污染所在表面。設備安裝位置穿越不同潔凈級別區(qū)域時，穿越處縫隙應用柔性材料填充、密封，并應裝飾處理。

4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應包括活動地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定，各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴格時，宜采用微環(huán)境等型式。潔凈廠房中主要以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的井式管廊,用于安裝輔助設備和公用動力設施以及管線等。

12.2.1排煙管道的安裝試驗應符合本規(guī)范第5章的有關(guān)規(guī)定。12.2.2排煙管道的隔熱層應采用厚度不小于40mm的不燃絕熱材料。12.2.3磚、混凝土風道的制作應保證管道的氣密性，灰縫應飽滿，內(nèi)表面水泥砂漿面層應平整。12.2.4送風口、排煙口的固定應可靠，表面應平整、無變形、調(diào)節(jié)靈活。排煙口距可燃物或可燃構(gòu)件的距離不應小于1.5m。排煙口安裝時不應影響防倒灌設施正常發(fā)揮作用。排煙口應安裝板式排煙口，不應漏風。12.2.5排煙風機的安裝應符合下列規(guī)定：1當**排煙風機設在混凝土或鋼架基礎上時可不設減振裝置；若需設置減振裝置，則不應使用橡膠減振裝置。2排煙風機宜安裝在該系統(tǒng)比較高排煙口之上，并宜安在機房內(nèi)，機房與相鄰部位隔墻應符合防火要求。在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。上海溫濕度無塵室檢測方法

一般正壓無塵室比較常見，就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力。浙江壓差無塵室檢測方法

2.4.1潔凈廠房的自動控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡結(jié)構(gòu)，并應具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴展性。12.4.2潔凈廠房應對凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應等系統(tǒng)進行自動監(jiān)控。12.4.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)外的壓差監(jiān)測，宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室（區(qū)）的送風量或回風量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時，電加熱器與風機應聯(lián)鎖控制，并應設置無風、超溫斷電保護；當采用電加濕器時，應設置無水、無風斷電保護。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對風機、水泵等動力設備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。浙江壓差無塵室檢測方法