15.1.1潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計應(yīng)分階段進(jìn)行，應(yīng)包括設(shè)計、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計、動力設(shè)備隔振設(shè)計和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計等。15.1.2設(shè)計有微振控制要求的潔凈廠房時，應(yīng)符合下列規(guī)定：1總平面布置時，應(yīng)核實相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對精密設(shè)備、儀器的振動影響；2設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計；3對設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動影響的動力設(shè)備及其管道，應(yīng)采取主動隔振措施；4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備、儀器，經(jīng)測試確認(rèn)受到周圍振動影響時，應(yīng)采取被動隔振措施。潔凈室絕不僅于“潔凈”，而必須是一個對冷熱、噪聲、照度、靜電、微振都有相當(dāng)要求的多功能的綜合體。北京生物安全柜潔凈室檢測值得推薦

1管道連接應(yīng)采用焊接，熱鍍鋅鋼管應(yīng)采用螺紋連接。2不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊，以對接焊或承接焊連接；高純氣體管道宜采用內(nèi)壁***痕的對接焊。8.3.2管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備的連接要求。當(dāng)采用軟管連接時宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應(yīng)符合下列規(guī)定：1螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)根據(jù)輸送物料性質(zhì)、設(shè)計工況選擇，宜采用聚四氟乙烯等。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應(yīng)按生產(chǎn)工藝和氣體特性的要求確定，宜采用金屬墊或雙卡套。8.3.4潔凈室(區(qū))內(nèi)的工業(yè)管道應(yīng)根據(jù)管子表面溫度和環(huán)境溫度、濕度確定保溫形式和構(gòu)造。冷管道保溫后的外表面溫度不應(yīng)低于環(huán)境的**溫度。保溫層外表面應(yīng)采用不產(chǎn)生塵粒、微生物的材料，并應(yīng)平整、光潔，宜采用金屬外殼保護(hù)。安徽潔凈氣體3Q驗證潔凈室檢測頻率無菌室，亦稱為凈化室或潔凈室，是一種專門設(shè)計用于控制環(huán)境污染的封閉空間。

空氣過濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量；3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段；4高效(亞高效)空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；超高效空氣過濾器應(yīng)設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；5同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力、效率應(yīng)相近；6同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的使用風(fēng)量與額定風(fēng)量之比值宜相近；7對化學(xué)污染物有控制要求的潔凈室(區(qū))，在凈化空調(diào)系統(tǒng)中應(yīng)根據(jù)環(huán)境條件設(shè)置化學(xué)過濾器或其他去除裝置；8高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應(yīng)采用不燃或難燃材料制作。7.4.2風(fēng)機過濾器機組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級和送風(fēng)量選用；2應(yīng)按潔凈室（區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置，3終阻力時的疊加噪聲及振動應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定；4送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié)；5應(yīng)便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，外殼強度應(yīng)滿足檢修要求。

15.3.2有微振動控制要求的潔凈室（區(qū))，其建筑結(jié)構(gòu)的微振動控制設(shè)計，應(yīng)符合下列規(guī)定：1建筑物基礎(chǔ)宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎(chǔ)應(yīng)有足夠剛度；2應(yīng)設(shè)置**的建筑結(jié)構(gòu)微振動控制體系，并應(yīng)與廠房主體結(jié)構(gòu)分隔；3主體結(jié)構(gòu)應(yīng)根據(jù)微振動控制的要求，適當(dāng)加大梁、柱、墻、基礎(chǔ)等截面尺寸。15.3.3有強烈振動的設(shè)備和管道，宜采取主動隔振措施，并應(yīng)符合下列要求.1宜采用隔振臺(座）；2應(yīng)選用剛度適當(dāng)?shù)母粽衿鳎?通往潔凈室(區(qū))的管道，宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。以前常稱為亂流型潔凈室，室內(nèi)的氣流并不都按單一方向流動。

5.1.1隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代、產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展十分迅速，以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***，集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時間就會提升一代產(chǎn)品；以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn)；微型計算機的迅速發(fā)展，使各種元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速。因此，電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計、建造必須適應(yīng)這種快速發(fā)展的需要，從潔凈廠房的規(guī)劃開始，對于電子工廠、潔凈廠房的工藝設(shè)計、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，以滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求。單向流潔凈室是：氣流以均勻的截面速度，沿著平行流線以單一方向在整個室截面上通過的潔凈室。潔凈傳遞窗潔凈室檢測方法

送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。北京生物安全柜潔凈室檢測值得推薦

4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應(yīng)包括活動地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定，各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時，宜采用微環(huán)境等型式。北京生物安全柜潔凈室檢測值得推薦