11.5.1工藝設備的安裝不應影響潔凈室參數(shù)和服務功能。11.5.2工藝設備安裝時，現(xiàn)場的凈化空調系統(tǒng)應已連續(xù)運行24h以上；現(xiàn)場除正常照明外，應配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設備的提升、牽引或定位的**設備在進人潔凈室安裝現(xiàn)場前，應徹底清潔，并應檢查有無脫屑、剝落的表面或不宜進入潔凈環(huán)境的材料。11.5.4設備安裝時應妥善保護墻壁與地面，設備的軟膠輪應予包裹，避免在地面拖磨。開洞作業(yè)不應劃傷或污染所在表面。設備安裝位置穿越不同潔凈級別區(qū)域時，穿越處縫隙應用柔性材料填充、密封，并應裝飾處理。潔凈廠房中以垂直構件分隔構成的廊道,用于安裝輔助設備和公用動力設施以及管線等。浙江潔凈傳遞窗無塵室檢測報告

3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設計應根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質量有害的雜質，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設計應根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質的質量進行控制。3.1.3潔凈室（區(qū))內產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質和清潔方式應按生產(chǎn)工藝要求選擇。3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設計應根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質量有害的雜質，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設計應根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質的質量進行控制。3.1.3潔凈室（區(qū))內產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質和清潔方式應按生產(chǎn)工藝要求選擇。上海半導體凈化車間無塵室檢測值得推薦國內按空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)對無塵車間進行測試。

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調系統(tǒng)可分為集中式凈化空調系統(tǒng)和分散式凈化空調系統(tǒng)。凈化空調系統(tǒng)的型式應根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點確定。潔凈室（區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調系統(tǒng)。7.3.2潔凈廠房的潔凈室（區(qū))送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據(jù)潔凈室（區(qū)）使用功能和降低能量消耗的要求，經(jīng)技術經(jīng)濟比較，采用運行經(jīng)濟、節(jié)約能源的送風方式。

空氣由空調箱經(jīng)風管與超凈間內之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間，并由超凈間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。優(yōu)點：構造簡單、系統(tǒng)建造成本，超凈間之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高超凈間等級。缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉再***，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。塵室通常采用高效的HEPA（高效顆粒空氣）過濾器或ULPA（超高效顆粒空氣）過濾器，可有效過濾微小的灰塵。

6.2.3潔凈廠房內防火分區(qū)的劃分，應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB50016的有關規(guī)定。丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室（區(qū))，在關鍵生產(chǎn)設備設有火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統(tǒng)后，其每個防火分區(qū)的最大允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。6.2.4潔凈室的上技術夾層、下技術夾層和潔凈生產(chǎn)層，當按其構造特點和用途作為同一防火分區(qū)時，上下技術夾層的面積可不計人防火分區(qū)的建筑面積，但應分別采取相應的消防措施。6.2.5潔凈室的頂棚和墻板、技術豎井井壁的材質選擇，應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073的有關規(guī)定。無塵室為半導體行業(yè)提供了可靠的工作環(huán)境，推動了計算機、通信、物聯(lián)網(wǎng)等領域的飛速發(fā)展。北京壓差無塵室檢測認真負責

一般正壓無塵室比較常見，就是讓室內的空氣壓力大于室外的壓力。浙江潔凈傳遞窗無塵室檢測報告

1.1潔凈室建筑裝飾工程施工應在主體結構、屋面防水工程4.和**護結構驗收完成后進行。4.1.2潔凈室建筑裝飾施工應與其他工種制定明確的施工協(xié)作計劃和施工程序。4.1.3潔凈室的建筑裝飾材料除應滿足隔熱、隔聲、防振、防蟲、防腐、防火、防靜電等要求外，尚應保證潔凈室的氣密性和裝飾表面不產(chǎn)塵、不吸塵、不積塵，并應易清洗。4.1.4潔凈室不應使用木材和石膏板作為表面裝飾材料。隱蔽使用的木材應經(jīng)充分干燥并作防潮防腐和防火處理，石膏板應為防水石膏板。4.1.5潔凈室建筑裝飾工程施工應實行施工現(xiàn)場封閉清潔管理，在潔凈施工區(qū)內進行粉塵作業(yè)時，應采取有效防止粉塵擴散的措施。浙江潔凈傳遞窗無塵室檢測報告