15.1.1潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行，應包括設計、施工和投產等各階段的微振動測試、廠房建筑結構微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。15.1.2設計有微振控制要求的潔凈廠房時，應符合下列規定：1總平面布置時，應核實相鄰廠房、建筑物或構筑物對精密設備、儀器的振動影響；2設有精密設備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎構造、結構選型、隔振縫的設置、潔凈室裝修等應按微振控制要求設計；3對設有精密設備、儀器的潔凈室（區）有振動影響的動力設備及其管道，應采取主動隔振措施；4潔凈室(區)內精密設備、儀器，經測試確認受到周圍振動影響時，應采取被動隔振措施。應避免出現不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。上海醫療器具潔凈室檢測頻率

1)單層潔凈室，在單向流潔凈生產區的上部、下部設有上下技術夾層，上技術夾層內設置空氣過濾裝置、風管和公用動力管線；下技術夾層為回風道。這種形式適用于規模較小的潔凈室。2)多層潔凈室，在單向流潔凈生產區吊頂格柵以上設有送風靜壓箱或循環空氣處理設備或空氣過濾單元機組等的上技術層；在單向流潔凈生產區的活動地板以下設有回風靜壓箱或輔助生產設備或公用動力設備、管線等的下技術層。有的電子工業潔凈廠房的下技術層根據需要可為一層或二層。潔凈傳遞窗潔凈室檢測誠信推薦在生產工藝平面區劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起。

8.2.1潔凈廠房內的給水系統應根據各種用途(包括工藝冷卻水)對水質、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產、生活、消防分別設置的給水系統。8.2.2當設有危險化學品儲存和分配室時，應根據化學品的物理化學性能和人身安全的要求，設置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應環形敷設布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇，應符合下列要求：1給水系統的管材和附件的選用，應滿足生產工藝和系統工作參數的要求；2埋地管道應耐腐蝕，并應具有承受相應地面荷載的能力；3生產設備循環冷卻水給水和回水管道，應按生產工藝和水質要求，采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等，不宜采用焊接鋼管；4閥門及附件應采用與管材相同的材質。

D.3.10自凈時間檢測，應符合下列規定：1自凈時間的檢測，宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測，宜采用大氣塵或煙霧發生器等人工塵源為基準，并宜以粒子計數器進行檢測，同時應符合下列要求.1）以大氣塵為基準時，則必須將潔凈室停止運行相當時間，在室內含塵濃度已接近于大氣濃度時，測出潔凈室內靠近回風口處的含塵濃度(N。)。然后開機，定時讀數(一般可設置每間隔6s讀數一次)，直到回風口處的含塵濃度回復到原來的穩定狀態，記錄下所需的時間（t）。2)以人工塵源為基準時，應將煙霧發生器放置在離地面1.8m以上室中心，發煙1～2min后停止，等待1min，測出潔凈室內靠近回風口處的含塵濃度（N。）。然后開機，方法同上。3由初始濃度(No)、室內達到穩定的濃度（N）、實際換氣次數(n)，可得到計算自凈時間(to），與實測自凈時間(t)進行對比，如果t≤12to,為合格。4自凈時間檢測方法除上述方法外，還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應洽商確定。潔凈室（區)與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應按工藝要求決定維持正壓差或負壓差。

5.5.2當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區)時，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區)內的設備宜選用低噪聲產品。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時，應采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區)應設置對電子產品生產過程所使用的工器具進行凈化處理的設施。5.5.5潔凈室（區）內，電子產品生產過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用容器。用于存放和傳送的**容器，應符合下列規定：1制作材料應光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發污染物、防靜電，并在空氣中不應被氧化；2應密封性能好；3當存放物有嚴格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮氣；4構造、外形應滿足生產工藝要求，并應方便操作和運送。應按輸送介質的物化性質，合理確定管內物料流速和管徑。浙江無塵室3Q驗證潔凈室檢測

潔凈室是指空氣潔凈度達到規定級別的可供人活動的空間。上海醫療器具潔凈室檢測頻率

C.3已裝過濾系統氣溶膠光度計掃描檢漏規程C.3.1進行已裝過濾系統掃描檢漏前，應已完成風速合格性檢測。C.3.2過濾器上風向氣溶膠適當粒徑范圍[質量中值粒徑（MMD）一般為0.5μm~0.7μm，幾何標準差可高達1.7]；濃度為10mg/m~100mg/m。濃度低于20mg/m時檢漏的靈敏度欠佳；高于80mg/m，長時間檢測會過度污染過濾器。注入氣溶膠與送風應均勻混合，上風向氣溶膠濃度隨時間的變化不應超過平均測量值的士15%。C.3.3按規定的掃描速度，移動采樣探頭往復掃描。采樣頭往復掃描速度為15/Wp，cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度。掃描速度為5cm/s。注：當使用3cm×3cm正方形采樣頭掃描時，掃描的覆蓋面之間略有重疊。C.3.4采樣口的風速接近過濾器出風面的風速(接近“等動力采樣”)。采樣探頭距過濾器出風面和框架結構約3cm。C.3.5掃描應遍及過濾器的整個出風面、過濾器的周邊、過濾器邊框與安裝構架之間的密封處及安裝構架的結合點。C.3.6驗收限值：當讀數大于上風向氣溶膠濃度的0.01%時，就認為存在滲漏。供需雙方也可商定其他驗收限值。掃描時任何顯示大于或等于滲漏限值處，采樣頭應停留持續測量一段時間，光度計獲得比較大讀數時采樣頭的位置應判定為滲漏位置。上海醫療器具潔凈室檢測頻率