7.3.1潔凈廠房中的凈化空調系統(tǒng)可分為集中式凈化空調系統(tǒng)和分散式凈化空調系統(tǒng)。凈化空調系統(tǒng)的型式應根據潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。潔凈室（區(qū)）面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調系統(tǒng)。7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區(qū)）送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據潔凈室(區(qū)）使用功能和降低能量消耗的要求，經技術經濟比較，采用運行經濟、節(jié)約能源的送風方式。7.3.3凈化空調系統(tǒng)新風的室外吸入口位置，應遠離本建筑或其他建筑物排放有害物質或可燃物的排氣口。7.3.4多套凈化空調系統(tǒng)同時運行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調系統(tǒng)的新風，應集中處理。非連續(xù)運行的潔凈室，可根據生產工藝要求設置值班送風。安徽潔凈設備3Q驗證潔凈室檢測規(guī)范性強

潔凈廠房中生產區(qū)、輔助區(qū)和各類生產設備的布置與潔凈室(區(qū))內的氣流流型、空氣潔凈度等級的保持密切相關，所以本規(guī)范規(guī)定：在潔凈室(區(qū))內要求空氣潔凈度嚴格的工序(設備)應遠離出人口和可能干擾氣流的場所設置，并宜布置在上風側；空氣潔凈度等級要求相同的工序或工作室相對集中布置等都是電子產品潔凈室（區(qū)）內布置的基本要求。另外，由于電子產品更新?lián)Q代快，電子工廠在實際生產中，在線維修及調試、邊生產邊增加設備擴大生產能力的情況很多，因此在做工藝布局時，應根據具體情況，考慮這些因素，留出相應的運作空間。為避免不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))之間的頻繁聯(lián)系發(fā)生交叉污染，應根據電子產品生產工藝要求合理選擇相應技術措施，如人的聯(lián)系應采用氣閘室或空氣吹淋室；大物件的運送也可以采用氣閘室，一般物件的運送可采用傳遞窗；穿越隔墻的管線應采用可靠氣密措施等。上海潔凈度潔凈室檢測報告非單向流潔凈室有幾個共同的特點：終端過濾器（高效或亞高效）盡量接近潔凈室。

3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產環(huán)境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒和對產品質量有害的雜質，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數要求。3.1.2生產環(huán)境設計應根據產品品種及生產工藝要求，對電子產品生產過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質的質量進行控制。3.1.3潔凈室（區(qū)）內產品生產過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質和清潔方式應按生產工藝要求選擇。。。

9.4.2凈化空調系統(tǒng)的空氣過濾器隨運行時間的增加，阻力逐漸增大，為保持送風風量，經常手動調節(jié)系統(tǒng)中的風閥，以增加風量，調整很麻煩；在空氣調節(jié)系統(tǒng)調試中，系統(tǒng)啟動時為使風機空載啟動，首先將風機出口處風閥關閉，風機啟動后，由于風閥上承受壓力很大，打開十分困難。當采用空氣過濾器前后壓力差的變化控制送風機的變頻調速裝置后，送風量的調節(jié)變得十分容易，送風壓力穩(wěn)定。同時潔凈室凈化空調系統(tǒng)的送風機采用變頻調速后節(jié)能十分***。9.4.3為避免凈化空調系統(tǒng)因風機停轉無風或超溫時，電加熱器繼續(xù)送電加熱會造成設備損壞甚至發(fā)生火災，本條強制性規(guī)定應設置無風、超溫斷電等保護裝置。有足夠的風量，既為了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩(wěn)定的氣流流型。

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應根據電子產品發(fā)展以及生產工藝改造和擴大生產規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網，不應采用內墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設計應簡潔、明快，并應適應潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護結構的材料選型應滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結構的耐久性應與電子產品生產線設備、生產環(huán)境控制設施協(xié)調，并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造，應滿足產品生產工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。干管應敷設在上、下技術夾層或技術夾道內。上海潔凈氣體3Q驗證潔凈室檢測頻率

不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa。安徽潔凈設備3Q驗證潔凈室檢測規(guī)范性強

6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造，應滿足產品生產工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。6.1.6設有技術夾層、技術夾道的潔凈廠房，技術夾層、技術夾道的建筑設計應滿足各種風管和各種動力管線安裝和維修的要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時，宜設置技術豎井。技術豎井的形式、尺寸和構造應滿足風管、管線的安裝、檢修和防火要求。6.1.7對兼有一般生產區(qū)和潔凈室（區(qū))的綜合性廠房，廠房的平面布局和構造處理，宜避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產環(huán)境帶來不利影響。安徽潔凈設備3Q驗證潔凈室檢測規(guī)范性強