10.2.3氣體純化裝置的設(shè)置，應(yīng)符合下列要求：1氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇；2氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間（站）內(nèi)。當(dāng)潔凈廠房設(shè)有氣體入口室時(shí)，氣體純化間宜與氣體入口室合建；3各類氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間（站）內(nèi)。若有特殊要求時(shí)，也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi)；4氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點(diǎn)處。10.2.4進(jìn)入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過(guò)濾器、調(diào)壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線分析儀等，宜集中設(shè)置在氣體入口室。無(wú)菌室的潔凈度直接決定了實(shí)驗(yàn)室的微生物結(jié)果的可信度。生物安全柜潔凈室檢測(cè)范圍

1)單層潔凈室，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設(shè)有上下技術(shù)夾層，上技術(shù)夾層內(nèi)設(shè)置空氣過(guò)濾裝置、風(fēng)管和公用動(dòng)力管線；下技術(shù)夾層為回風(fēng)道。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室。2)多層潔凈室，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)吊頂格柵以上設(shè)有送風(fēng)靜壓箱或循環(huán)空氣處理設(shè)備或空氣過(guò)濾單元機(jī)組等的上技術(shù)層；在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的活動(dòng)地板以下設(shè)有回風(fēng)靜壓箱或輔助生產(chǎn)設(shè)備或公用動(dòng)力設(shè)備、管線等的下技術(shù)層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術(shù)層根據(jù)需要可為一層或二層。生物安全柜潔凈室檢測(cè)范圍潔凈室是指空氣潔凈度達(dá)到規(guī)定級(jí)別的可供人活動(dòng)的空間。

7.2.1潔凈廠房?jī)?nèi)的生產(chǎn)工藝一般為超精細(xì)加工或要求無(wú)菌無(wú)塵，對(duì)給水系統(tǒng)要求較為嚴(yán)格，如大規(guī)模集成電路的超純水、醫(yī)藥工業(yè)的無(wú)菌水等。而且有的水系統(tǒng)的造價(jià)高、管理要求嚴(yán)格，因此應(yīng)根據(jù)不同的要求設(shè)置系統(tǒng)(如純水的不同水質(zhì)要求，冷卻水的不同水溫、水質(zhì)要求等），以便重點(diǎn)保證要求嚴(yán)格的系統(tǒng)，也利于管理和節(jié)省運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。目前設(shè)在潔凈廠房中的生產(chǎn)工藝大多為技術(shù)發(fā)展迅速的工業(yè)，如大規(guī)模集成電路、生物制藥等。這些生產(chǎn)部門產(chǎn)品升級(jí)換代快，生產(chǎn)工藝變化多。因此，在管道設(shè)計(jì)中應(yīng)留有充分的余量。

4.4.3~4.4.6控制設(shè)備噪聲首先要從聲源上考慮，設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)選用低噪聲設(shè)備。在某些情況下，由于技術(shù)或經(jīng)濟(jì)上的原因而難以做到時(shí)，則應(yīng)從噪聲傳播途徑上采取降噪措施，如把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。有些由于與生產(chǎn)聯(lián)系密切，必須置于潔凈區(qū)內(nèi)的高噪聲設(shè)備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國(guó)內(nèi)現(xiàn)有潔凈廠房中，不少潔凈室將機(jī)械泵一類高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間或技術(shù)夾道內(nèi)，潔凈室內(nèi)噪聲有明顯降低。潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來(lái)源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部?jī)艋O(shè)備運(yùn)行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的布置及合理的降噪措施，不合理的設(shè)計(jì)方案必然導(dǎo)致較高的靜態(tài)噪聲。可燃?xì)怏w管道、氧氣管道的末端或極高點(diǎn)均應(yīng)設(shè)置放散管。

4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)、空氣潔凈度等級(jí)和布置要求分為隧道式、開(kāi)放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應(yīng)包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運(yùn)行費(fèi)用等因素確定，各種空氣潔凈度等級(jí)的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對(duì)空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時(shí)，宜采用微環(huán)境等型式。空氣過(guò)濾器安裝方式應(yīng)嚴(yán)密、簡(jiǎn)便、可靠，易于檢漏和更換。潔凈室檢測(cè)頻率

設(shè)置在同一潔凈室內(nèi)的高效（亞高效、超高效)空氣過(guò)濾器的阻力、效率應(yīng)相近。生物安全柜潔凈室檢測(cè)范圍

D.3.10自凈時(shí)間檢測(cè)，應(yīng)符合下列規(guī)定：1自凈時(shí)間的檢測(cè)，宜用于非單向流潔凈室。2自凈時(shí)間的檢測(cè)，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn)，并宜以粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測(cè)，同時(shí)應(yīng)符合下列要求.1）以大氣塵為基準(zhǔn)時(shí)，則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時(shí)間，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時(shí)，測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開(kāi)機(jī)，定時(shí)讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次)，直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來(lái)的穩(wěn)定狀態(tài)，記錄下所需的時(shí)間（t）。2)以人工塵源為基準(zhǔn)時(shí)，應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min，測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度（N。）。然后開(kāi)機(jī)，方法同上。3由初始濃度(No)、室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度（N）、實(shí)際換氣次數(shù)(n)，可得到計(jì)算自凈時(shí)間(to），與實(shí)測(cè)自凈時(shí)間(t)進(jìn)行對(duì)比，如果t≤12to,為合格。4自凈時(shí)間檢測(cè)方法除上述方法外，還有微粒濃度變化率評(píng)估法等。自凈時(shí)間檢測(cè)方法應(yīng)洽商確定。生物安全柜潔凈室檢測(cè)范圍