1一級防靜電工作區的地面、墻面和柱面應采用導靜電型。導靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應為2.5X10?~1X10°2,摩擦起電電壓不應大于100V,靜電半衰期不應大于0.1s;2二級防靜電工作區的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門的表面電阻、對地電阻應為1X10°~1X109Ω,摩擦起電電壓不應大于200V,靜電半衰期不應大于1s,但軟簾的摩擦起電電壓不應大于300V;3三級防靜電工作區的地面、墻面和柱面宜根據生產工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料,頂棚、門等宜采用低起電材料。選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面,應符合本條第2款的要求;選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應大于1000V。無塵室的重要性遠超我們的想象。上海生物安全柜無塵室檢測評估

7.1.1潔凈廠房內各潔凈室（區）的空氣潔凈度等級，應根據電子產品生產工藝特點和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應根據各潔凈室（區）空氣潔凈度等級和電子產品工藝特點的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者，凈化空調系統宜分開設置：1運行班次或使用時間不同；2生產過程中散發的物質對其他工序、設備交叉污染，對產品質量或操作人員健康、安全有影響；3對溫、濕度控制要求差別大；4潔凈室(區）內工藝設備發熱相差懸殊；5凈化空調系統與一般空調系統，6系統風量過大的凈化空調系統。浙江塵埃粒子無塵室檢測報告無塵室是指可以將環境因素控制在規定數值內的空間，稱之為無塵室。

5.2.1潔凈廠房的工藝布置應按產品生產工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設備的安裝和維修、物料運輸等要求確定。在單向流潔凈室內進行生產工藝設備、操作程序、人員流動路線和物料傳輸布置時,應采取避免發生氣流干擾和交叉污染的措施。5.2.2工藝布局應避免人流和物流之間的混雜和交叉,宜分別設置人員人口、物料入口和設備出入口,并應在各自的人口處設置相應的凈化設施。5.2.3在滿足生產工藝和微振控制、噪聲控制等要求的前提下，空氣潔凈度嚴格的潔凈室(區)宜靠近空調機房布置;空氣潔凈度等級相同的工序或工作室宜集中布置。

11.3.6安裝空調設備四周的設備層地面應作防水處理，并應平整、無麻面、不起塵。該處地面應設擋水線，不應設排水溝。擋水線范圍之內設地漏，地漏水封高度應符合設備技術文件要求。當無明確要求時，不應小于70mm。冷凝水出水管應有閥門，無冷凝水排出季節閥門應關閉，并應有提示標志。11.3.7當空調設備內表冷器設在負壓段時，地面應設不小于冷凝水出水水封段高度的水泥底座，底座高度不宜低于200mm。11.3.8空調設備內加濕器的安裝應設**支吊架，不得在空調機組壁板上開設固定支架用的安裝孔。加濕器噴管與機組壁板間應做好絕熱、密封處理。指潔凈室(區)在生產操作全部結束,生產操作人員撤離現場并經過20 min自凈后。

12.1.1潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求，應根據電子產品生產工藝及設備要求和現行國家標準《供配電系統設計規范》GB50052的有關規定確定。12.1.2潔凈廠房低壓配電電壓等級應符合生產工藝設備用電要求。帶電導體系統的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統接地型式宜采用TN-S或TN-C-S系統。12.1.3電子產品生產用主要工藝設備，應由變壓器或低壓饋電線路供電。對電源連續性有特殊要求的生產設備、動力設備，宜設置不間斷電源或備用發電裝置等。在潔凈室(區)內宜設置的檢修電源。12.1.4潔凈廠房的凈化空調系統（含制冷機），應由變電所專線供電。塵室通常采用高效的HEPA（高效顆粒空氣）過濾器或ULPA（超高效顆粒空氣）過濾器，可有效過濾微小的灰塵。北京照度無塵室檢測評估

無塵室的設計充分考慮了環境污染的來源。上海生物安全柜無塵室檢測評估

E.1.1風量風速檢測必須首先進行，凈化空調各項效果必須是在設計的風量風速條件下獲得。E.1.2風量檢測前必須檢查風機運行是否正常，系統中各部件安裝是否正確，有無障礙，所有閥門應固定在一定的開啟位置上，且必須實際測量被測風口、風管尺寸。E.1.3測定室內微風速儀器的小刻度或讀數不應大于0.02m/s，一般可用熱球式風速儀，需要測出分速度時，應采用超聲波三維風速計。E.1.4對于單向流潔凈室，可采用室截面平均風速和截面積乘積的方法確定送風量，垂直單向流潔凈室的測定截面取距地面0.8m的無阻隔面(孔板、格柵除外)的水平截面，如有阻隔面，該測定截面應抬高至阻隔面之上0.25m;水平單向流潔凈室取距送風面0.5m的垂直于地面的截面，截面上測點間距不應大于1m，一般取0.3m。測點數應不少于20個，均勻布置。E.1.5對于非單向流潔凈室，內安裝過濾器的風口可采用套管法、風量罩法或風管法測定風量，為測定回風口或新風口風量，也可用風口法。上海生物安全柜無塵室檢測評估