激光干涉測量儀通過雙頻激光技術(shù)實現(xiàn)高精度線性位移測量，適用于車間生產(chǎn)環(huán)境下的數(shù)控機床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機校準(zhǔn)及光學(xué)平臺校準(zhǔn)。其測量鏡組可擴(kuò)展功能，支持直線度、垂直度等幾何量檢測 [2]。該儀器的系統(tǒng)包括 [2]：1.雙頻激光頭及附件2.環(huán)境補償單元3.測量軟件、分析軟件4.各類測量鏡組激光干涉測量儀的優(yōu)勢包括緊湊設(shè)計、自動環(huán)境補償及符合測校國家標(biāo)準(zhǔn)的測量分析軟件。截至2023年8月，典型型號LH3000的測量速度可達(dá)2米/秒，頻差為7±0.5MHz [2]。雙頻激光干涉儀的基本原理是利用激光的相干性和干涉現(xiàn)象。太倉銷售雙頻激光干涉儀五星服務(wù)

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來的一種外差式干涉儀，以下是對其的詳細(xì)介紹：一、基本原理雙頻激光干涉儀利用兩束頻率相近的激光，通過分束后分別作為參考光和測量光。測量光經(jīng)移動目標(biāo)反射后與參考光疊加產(chǎn)生多普勒頻移差頻信號，通過檢測差頻的變化來計算位移量。具體來說：雙頻生成：激光器產(chǎn)生兩束頻率相近的激光（如利用塞曼效應(yīng)或聲光調(diào)制），頻率分別為f1和f2。分束干涉：光束經(jīng)分光鏡分為兩路，一路為參考光（頻率穩(wěn)定），另一路為測量光（頻率經(jīng)被測物**移產(chǎn)生多普勒頻移Δf）。虎丘區(qū)銷售雙頻激光干涉儀五星服務(wù)測量精度不受空氣湍流的影響，無需預(yù)熱時間。

基于菲索干涉儀的等厚干涉原理設(shè)計，通過對比被測平面與標(biāo)準(zhǔn)參照鏡的干涉條紋變化，實現(xiàn)光學(xué)元件表面形狀誤差和材料均勻性的非接觸式測量 [1] [3-4]。標(biāo)準(zhǔn)參照鏡面形精度通常達(dá)到p-v:λ/20 [3-4]。測量口徑：Φ60mm（典型型號） [3-4]對準(zhǔn)方式：兩點對準(zhǔn)系統(tǒng) [3-4]結(jié)構(gòu)特性：小型化設(shè)計、防塵性能優(yōu)異 [3-4]精度范圍：根據(jù)型號不同覆蓋1/10-1/100波長梯度 [11.光學(xué)制造：檢測平面鏡、棱鏡等光學(xué)元件表面面型2.質(zhì)量檢測：評估光學(xué)材料均勻性與透鏡波前像差 [1]3.科研實驗：實驗室環(huán)境下進(jìn)行精密光學(xué)計量分析

激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進(jìn)行測量的精密儀器。它通過將激光束分成兩部分，分別經(jīng)過不同的路徑后再合并，形成干涉圖樣，從而可以精確測量光程差、位移、厚度等物理量。激光干涉儀的基本原理可以概括為以下幾個步驟：激光發(fā)射：激光器發(fā)出單色光束。光束分割：通過分束器將激光束分成兩部分，通常稱為參考光束和測量光束。光程傳播：參考光束和測量光束分別經(jīng)過不同的路徑，可能會經(jīng)過被測物體或介質(zhì)。光束合并：兩束光在分束器后重新合并，形成干涉圖樣。當(dāng)兩束不同頻率的激光光束經(jīng)過分束器分開后，經(jīng)過被測物體的反射或透射后再合并，形成干涉條紋。

若干涉條紋發(fā)生移動，一定是場點對應(yīng)的光程差發(fā)生了變化，引起光程差變化的原因，可能是光線長度L發(fā)生變化，或是光路中某段介質(zhì)的折射率n發(fā)生了變化，或是薄膜的厚度e發(fā)生了變化。S為點光源，M1（上邊）、M2（右邊）為平面全反射鏡，其中M1是定鏡；M2為動鏡，它和精密螺絲相連，轉(zhuǎn)動鼓輪可以使其向前后方向移動，最小讀數(shù)為10mm，可估計到10mm,。M1和M2后各有3個小螺絲可調(diào)節(jié)其方位。G1（左）為分光鏡，其右表面鍍有半透半反膜，使入射光分成強度相等的兩束（反射光和透射光）。即使光強衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號。太倉直銷雙頻激光干涉儀性價比

高精度：雙頻激光干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級別的測量精度，適用于微小位移的檢測。太倉銷售雙頻激光干涉儀五星服務(wù)

另一方面，當(dāng)可動棱鏡移動時，前者的干涉信號是在**亮和**暗之間緩慢變化的信號，而后者的干涉信號是使原有的交流信號頻率增加或減少了△f，結(jié)果依然是一個交流信號。因而對于雙頻激光干涉儀來說，可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進(jìn)行放大，這樣，即使光強衰減90%，依然可以得到合適的電信號。精度高雙頻激光干涉儀以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量的儀器。即使不做細(xì)分也可達(dá)到μm量級，細(xì)分后更可達(dá)到nm量級。應(yīng)用范圍廣雙頻激光干涉儀除了可用于長度的精密測量外，配上適當(dāng)?shù)母郊€可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等等太倉銷售雙頻激光干涉儀五星服務(wù)

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