激光平面干涉儀是基于菲索干涉原理設(shè)計(jì)的光學(xué)精密計(jì)量?jī)x器，主要用于檢測(cè)光學(xué)元件表面面形精度和光學(xué)材料的均勻性 [1] [3-4]。該設(shè)備測(cè)量精度可達(dá)到1/10-1/100波長(zhǎng)量級(jí)，采用半導(dǎo)體激光器（635nm）作為光源，具有防塵效果好、結(jié)構(gòu)緊湊等特點(diǎn)，適用于光學(xué)車間、實(shí)驗(yàn)室等場(chǎng)景的批量檢測(cè) [3-4]。上海乾曜光學(xué)科技有限公司與北京海富達(dá)科技有限公司均具備相關(guān)生產(chǎn)能力，其中G150M、G200M及60-LP等型號(hào)產(chǎn)品采用標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)量口徑設(shè)計(jì)，可滿足不同使用場(chǎng)景需求 [2-4]。截至2025年，相關(guān)企業(yè)產(chǎn)品已服務(wù)國(guó)內(nèi)外科研院所及工業(yè)企業(yè) [2]。雙頻激光干涉儀的基本原理是利用激光的相干性和干涉現(xiàn)象。虎丘區(qū)定制雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

另一方面，當(dāng)可動(dòng)棱鏡移動(dòng)時(shí)，前者的干涉信號(hào)是在**亮和**暗之間緩慢變化的信號(hào)，而后者的干涉信號(hào)是使原有的交流信號(hào)頻率增加或減少了△f，結(jié)果依然是一個(gè)交流信號(hào)。因而對(duì)于雙頻激光干涉儀來(lái)說(shuō)，可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大，這樣，即使光強(qiáng)衰減90%，依然可以得到合適的電信號(hào)。精度高雙頻激光干涉儀以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器。即使不做細(xì)分也可達(dá)到μm量級(jí)，細(xì)分后更可達(dá)到nm量級(jí)。應(yīng)用范圍廣雙頻激光干涉儀除了可用于長(zhǎng)度的精密測(cè)量外，配上適當(dāng)?shù)母郊€可測(cè)量角度、直線度、平面度、振動(dòng)距離及速度等等高新區(qū)安裝雙頻激光干涉儀銷售廠干涉儀的應(yīng)用包括測(cè)量微小位移、折射率、波長(zhǎng)、材料的光學(xué)特性等。

干涉圖樣分析：通過(guò)觀察干涉條紋的變化，可以獲取關(guān)于物**移、形狀、厚度等信息。激光干涉儀廣泛應(yīng)用于精密測(cè)量、材料科學(xué)、光學(xué)研究、工程檢測(cè)等領(lǐng)域。常見(jiàn)的類型包括邁克爾遜干涉儀、法布里-佩**涉儀和激光位移傳感器等。由于其高精度和高靈敏度，激光干涉儀在科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用中都具有重要的地位。干涉儀是一種用于測(cè)量光波或其他波動(dòng)現(xiàn)象的儀器，利用干涉原理來(lái)分析波的特性。干涉是指兩束或多束波在空間中相遇時(shí)相互疊加，形成新的波形的現(xiàn)象。干涉儀廣泛應(yīng)用于物理學(xué)、工程學(xué)、光學(xué)等領(lǐng)域。

多普勒效應(yīng)：當(dāng)測(cè)量鏡移動(dòng)時(shí)，測(cè)量光的頻率變?yōu)閒1±Δf，與參考光f2干涉后形成差頻信號(hào)|(f1±Δf)-f2|，該信號(hào)反映出位移引起的頻率變化。信號(hào)檢測(cè)：光電探測(cè)器將光信號(hào)轉(zhuǎn)為電信號(hào)，經(jīng)電路處理提取差頻變化量，然后通過(guò)相位比較或脈沖計(jì)數(shù)來(lái)計(jì)算位移。二、主要特點(diǎn)精度高：雙頻激光干涉儀以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量，即使不做細(xì)分也可達(dá)到微米（μm）量級(jí)，細(xì)分后更可達(dá)到納米（nm）量級(jí)。應(yīng)用范圍廣：雙頻激光干涉儀可用于長(zhǎng)度的精密測(cè)量，配上適當(dāng)?shù)母郊€可測(cè)量角度、直線度、平面度、振動(dòng)距離及速度等。當(dāng)兩束不同頻率的激光光束經(jīng)過(guò)分束器分開(kāi)后，經(jīng)過(guò)被測(cè)物體的反射或透射后再合并，形成干涉條紋。

8、激光干涉儀的光源——激光，具有**度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。9、激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)使用。1、儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無(wú)振動(dòng)的環(huán)境中應(yīng)用。2、在移動(dòng)儀器時(shí)，為防止導(dǎo)軌變形，應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動(dòng)。3、儀器的光學(xué)零件在不用時(shí)，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放，以防止發(fā)霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭，利用科學(xué)的方法進(jìn)行清潔。激光器產(chǎn)生兩束頻率相近的激光（如利用塞曼效應(yīng)或聲光調(diào)制），頻率分別為f1和f2。虎丘區(qū)定制雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測(cè)速普遍達(dá)到1m/s，有的甚至達(dá)到十幾m/s，適于高速動(dòng)態(tài)測(cè)量。虎丘區(qū)定制雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

截止***，激光干涉儀引力波探測(cè)器已經(jīng)發(fā)展了40余年。 目前LIGO激光干涉儀實(shí)驗(yàn)宣稱***直接測(cè)量到了引力波 (LIGO collaboration 2016) [7]。 LIGO可以認(rèn)為是兩路光線的干涉儀， 而另外一類引力波探測(cè)實(shí)驗(yàn)， 脈沖星測(cè)時(shí)陣列則可認(rèn)為是多路光線干涉儀（Hellings 和Downs, 1983） [8]。其他用作高分辨率光譜儀。法布里-珀**涉儀等多光束干涉儀具有很尖銳的干涉極大，因而有極高的光譜分辨率，常用作光譜的精細(xì)結(jié)構(gòu)和超精細(xì)結(jié)構(gòu)分析。歷史上的作用。19世紀(jì)的波動(dòng)論者認(rèn)為光波或電磁波必須在彈性介質(zhì)中才得以傳播，這種假想的彈性介質(zhì)稱為以太。虎丘區(qū)定制雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

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