機床與加工設(shè)備:應(yīng)用于數(shù)控機床、磨床、鏜床、加工中心等設(shè)備的定位系統(tǒng)校準(zhǔn)及誤差修正,以提升加工精度。集成電路制造:支持半導(dǎo)體光刻技術(shù)的工件臺的精密定位。物理實驗:測量位移、速度、加速度等動力學(xué)參數(shù)。在線監(jiān)測控制:在大規(guī)模集成電路加工設(shè)備、精密機床中實現(xiàn)誤差的在線測量,以提升生產(chǎn)穩(wěn)定性。檢測儀器校準(zhǔn):用于線性位移傳感器、角度傳感器、直線度檢測儀等幾何檢測儀器的標(biāo)定。雙頻激光干涉儀憑借其高精度、強環(huán)境適應(yīng)力、高實時動態(tài)測速以及廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,在精密制造、科研創(chuàng)新以及標(biāo)準(zhǔn)化檢測等方面發(fā)揮著關(guān)鍵作用。它通過將光束分成兩部分,分別經(jīng)過不同的路徑后再合并,形成干涉圖樣。姑蘇區(qū)銷售雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹

這路光束和由固定反射鏡反射回來*含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf)的測量光束。測量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉(zhuǎn)換元件、放大器、整形器后進入減法器相減,輸出成為*含有±Δf的電脈沖信號。經(jīng)可逆計數(shù)器計數(shù)后,由電子計算機進行當(dāng)量換算(乘 1/2激光波長)后即可得出可動反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來測量位移的,這種位移信息載于f1和f2的頻差上,對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,所以抗干擾能力強。它常用于檢定測長機、三坐標(biāo)測量機、光刻機和加工中心等的坐標(biāo)精度,也可用作測長機、高精度三坐標(biāo)測量機等的測量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件,還可進行高精度直線度測量、平面度測量和小角度測量。吳中區(qū)附近雙頻激光干涉儀維保干涉儀是一種用于測量光波或其他波動現(xiàn)象的儀器,利用干涉原理來分析波的特性。

干涉儀是很***的一類實驗技術(shù)的總稱, 其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息, 從而獲得實驗所關(guān)心的物理量。干涉儀并不僅*局限于光干涉儀。 干涉儀在天文學(xué) (Thompson et al, 2001) [1], 光學(xué), 工程測量, 海洋學(xué), 地震學(xué), 波譜分析, 量子物理實驗, 遙感, 雷達等等精密測量領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用(Hariharan, 2007) [2]。具有固定相位差的兩列準(zhǔn)單色波的疊加將導(dǎo)致振幅發(fā)生變化, 從而可以通過測量較容易測量的振幅來獲取波的相位信息。兩列具有同頻率波之振動在一點處可以用如下公式描述那么這兩列波疊加以后的波的振動為
邁克爾遜干涉儀,是1881年美國物理學(xué)家邁克爾遜和莫雷合作,為研究“以太”漂移而設(shè)計制造出來的精密光學(xué)儀器。它是利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實現(xiàn)干涉。通過調(diào)整該干涉儀,可以產(chǎn)生等厚干涉條紋,也可以產(chǎn)生等傾干涉條紋。主要用于長度和折射率的測量,若觀察到干涉條紋移動一條,便是M2的動臂移動量為λ/2,等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變λ/2。在近代物理和近代計量技術(shù)中,如在光譜線精細(xì)結(jié)構(gòu)的研究和用光波標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)米尺等實驗中都有著重要的應(yīng)用。利用該儀器的原理,研制出多種**干涉儀。 [1]激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進行測量的精密儀器。

干涉儀是一種使用干涉測量技術(shù)的光學(xué)計量儀器,其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息,從而獲得實驗所關(guān)心的物理量。以下是對干涉儀的詳細(xì)介紹:一、基本原理具有固定相位差的兩列準(zhǔn)單色波的疊加將導(dǎo)致振幅發(fā)生變化,從而可以通過測量較容易測量的振幅來獲取波的相位信息。由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數(shù),這種幅度的變化有時候在空間表現(xiàn)為周期性的條紋,即干涉條紋。基本構(gòu)成干涉儀一般由光源、分束器、反射鏡、干涉屏(或檢測器)等組成。光源發(fā)出的光經(jīng)過分束器被分成兩束,分別經(jīng)由反射鏡反射回來,并在干涉屏(或檢測器)上產(chǎn)生干涉圖樣。其中,各元件的功能如下:測量精度不受空氣湍流的影響,無需預(yù)熱時間。姑蘇區(qū)銷售雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹
當(dāng)兩束不同頻率的激光光束經(jīng)過分束器分開后,經(jīng)過被測物體的反射或透射后再合并,形成干涉條紋。姑蘇區(qū)銷售雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹
激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有**度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源,構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。英文名稱:laser interferometer(激光干涉儀)姑蘇區(qū)銷售雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹
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