激光干涉儀是一種高精度的測量工具，以下是對其的詳細介紹：一、定義與原理激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量工具。其工作原理基于干涉原理，即當兩束波重疊并結合時，會產生新的波形模式。在激光干涉儀中，激光束被分為兩路，一路經固定反射鏡反射，另一路經可動反射鏡反射，兩束光重新匯合時產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化被轉換為電信號，進而計算出位移量。實時測量：可以實現實時監測和數據采集，適合動態測量。高新區銷售雙頻激光干涉儀維保

雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發展而來的一種外差式干涉儀，以下是對其的詳細介紹：一、基本原理雙頻激光干涉儀利用兩束頻率相近的激光，通過分束后分別作為參考光和測量光。測量光經移動目標反射后與參考光疊加產生多普勒頻移差頻信號，通過檢測差頻的變化來計算位移量。具體來說：雙頻生成：激光器產生兩束頻率相近的激光（如利用塞曼效應或聲光調制），頻率分別為f1和f2。分束干涉：光束經分光鏡分為兩路，一路為參考光（頻率穩定），另一路為測量光（頻率經被測物**移產生多普勒頻移Δf）。高新區銷售雙頻激光干涉儀維保雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎上發展的一種外差式干涉儀。

分類激光干涉儀主要分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種：單頻激光干涉儀：在20世紀60年代中期出現，**初用于檢定基準線紋尺，后用于在計量室中精密測長。它對環境要求較高，周圍大氣需處于穩定狀態，以避免空氣湍流對測量結果的影響。雙頻激光干涉儀：出現于1970年，適宜在車間中使用。它應用頻率變化來測量位移，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，因此抗干擾能力強。雙頻激光干涉儀常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度，也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統。三、應用

檢驗光學元件泰曼干涉儀被普遍用來檢驗平板、棱鏡和透鏡等光學元件的質量。在泰曼干涉儀的一個光路中放置待檢查的平板或棱鏡，平板或棱鏡的折射率或幾何尺寸的任何不均勻性必將反映到干涉圖樣上。若在光路中放置透鏡，可根據干涉圖樣了解由透鏡造成的波面畸變，從而評估透鏡的波像差。引力波測量干涉儀也可以用于引力波探測(Saulson, 1994) [4]。 激光干涉儀引力波探測器的概念是前蘇聯科學家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的（Gertsenshtein和Pustovoit 1962） [5]。 1969年美國科學家Weiss和Forward則分別在1969年即于麻省理工和休斯實驗室建造初步的試驗系統（Weiss 1972） [6]雙頻激光干涉儀是一種高精度、高靈敏度的測量工具，適用于各種科學研究和工業應用。

按照干涉光來源區分干涉儀可以分成波前分解和幅度分解兩類， 其差異在于是否利用波前上不同位置的子波源形成干涉。 例如楊氏雙縫干涉即屬于波前分解干涉儀（鐘錫華， 陳熙謀， 2002） [3]； 而等傾干涉和等厚干涉即為幅度分解干涉儀。干涉儀的應用極為***，主要有如下幾方面：長度測量在雙光束干涉儀中，若介質折射率均勻且保持恒定，則干涉條紋的移動是由兩相干光幾何路程之差發生變化所造成，根據條紋的移動數可進行長度的精確比較或***測量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀**涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長表示國際米。雙頻激光干涉儀的基本原理是利用激光的相干性和干涉現象。高新區銷售雙頻激光干涉儀維保

即使光強衰減90%，仍然可以得到有效的干涉信號。高新區銷售雙頻激光干涉儀維保

但是這種單頻的激光儀并非完美，它的一個根本弱點就是受環境影響嚴重，在測試環境惡劣，測量距離較長時，這一缺點十分突出。其原因在于它是一種直流測量系統，必然具有直流光平和電平零漂的弊端。激光干涉儀可動反光鏡移動時，光電接收器會輸出信號，如果信號超過了計數器的觸發電平則就會被記錄下來，而如果激光束強度發生變化，就有可能使光電信號低于計數器的觸發電平而使計數器停止計數，使激光器強度或干涉信號強度變化的主要原因是空氣湍流，機床油霧，切削屑對光束的影響，結果光束發生偏移或波面扭曲。高新區銷售雙頻激光干涉儀維保

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