激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有**度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源,構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機(jī)或測量儀器的校正工作。英文名稱:laser interferometer(激光干涉儀)它通過多次反射在兩個(gè)平面鏡之間形成干涉。高新區(qū)定制雙頻激光干涉儀性價(jià)比

按照干涉光來源區(qū)分干涉儀可以分成波前分解和幅度分解兩類, 其差異在于是否利用波前上不同位置的子波源形成干涉。 例如楊氏雙縫干涉即屬于波前分解干涉儀(鐘錫華, 陳熙謀, 2002) [3]; 而等傾干涉和等厚干涉即為幅度分解干涉儀。干涉儀的應(yīng)用極為***,主要有如下幾方面:長度測量在雙光束干涉儀中,若介質(zhì)折射率均勻且保持恒定,則干涉條紋的移動(dòng)是由兩相干光幾何路程之差發(fā)生變化所造成,根據(jù)條紋的移動(dòng)數(shù)可進(jìn)行長度的精確比較或***測量。邁克耳孫干涉儀和法布里-珀**涉儀曾被用來以鎘紅譜線的波長表示國際米。虎丘區(qū)安裝雙頻激光干涉儀設(shè)備廠家用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源,由于它的相干長度很大,干涉儀的測量范圍可以擴(kuò)展;

(3)數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動(dòng)補(bǔ)償 現(xiàn)在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動(dòng)測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進(jìn)行全自動(dòng)測量,其精度達(dá)±1。新的國際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項(xiàng)新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測量時(shí)間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細(xì)節(jié),并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。(4)雙軸定位精度的檢測及其自動(dòng)補(bǔ)償 雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動(dòng)式數(shù)控機(jī)床,由雙伺服驅(qū)動(dòng)某一軸向運(yùn)動(dòng)的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動(dòng)對兩軸線性誤差分別進(jìn)行補(bǔ)償。
環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng):雙頻激光干涉儀采用交流放大器對干涉信號進(jìn)行放大,即使光強(qiáng)衰減90%,仍然可以得到有效的干涉信號。因此,它既可在恒溫、恒濕、防震的計(jì)量室內(nèi)使用,也可在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)測速高:現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測速普遍達(dá)到1m/s,有的甚至達(dá)到十幾m/s,適于高速動(dòng)態(tài)測量。三、應(yīng)用領(lǐng)域幾何量精密測量:用于長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何量的高精度測量。同時(shí),既支持幾十米大量程的檢測(如大型機(jī)械),也可對手表零件等微米級運(yùn)動(dòng)進(jìn)行測量。干涉是指兩束或多束波在空間中相遇時(shí)相互疊加,形成新的波形的現(xiàn)象。

邁克爾遜干涉儀的*****應(yīng)用即是它在邁克爾遜-莫雷實(shí)驗(yàn)中對以太風(fēng)觀測中所得到的零結(jié)果,這朵十九世紀(jì)末經(jīng)典物理學(xué)天空中的烏云為狹義相對論的基本假設(shè)提供了實(shí)驗(yàn)依據(jù)。除此之外,由于激光干涉儀能夠非常精確地測量干涉中的光程差,在當(dāng)今的引力波探測中邁克爾遜干涉儀以及其他種類的干涉儀都得到了相當(dāng)廣泛的應(yīng)用。激光干涉引力波天文臺(LIGO)等諸多地面激光干涉引力波探測器的基本原理就是通過邁克爾遜干涉儀來測量由引力波引起的激光的光程變化,而在計(jì)劃中的激光干涉空間天線(LISA)中,應(yīng)用邁克爾遜干涉儀原理的基本構(gòu)想也已經(jīng)被提出。邁克爾遜干涉儀還被應(yīng)用于尋找太陽系外行星的探測中,雖然在這種探測中馬赫-曾特干涉儀的應(yīng)用更加***。邁克爾遜干涉儀還在延遲干涉儀,即光學(xué)差分相移鍵控解調(diào)器(Optical DPSK)的制造中有所應(yīng)用,這種解調(diào)器可以在波分復(fù)用網(wǎng)絡(luò)中將相位調(diào)制轉(zhuǎn)換成振幅調(diào)制。測量精度不受空氣湍流的影響,無需預(yù)熱時(shí)間。高新區(qū)定制雙頻激光干涉儀性價(jià)比
干涉圖樣分析:通過觀察干涉條紋的變化,可以獲取關(guān)于物體形狀、厚度等信息。高新區(qū)定制雙頻激光干涉儀性價(jià)比
激光的出現(xiàn)在世界計(jì)量史上具有重大的意義。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源,由于它的相干長度很大,干涉儀的測量范圍可以**的擴(kuò)展;而且由于它的光束發(fā)散角小,能量集中,因而它產(chǎn)生的干涉條紋可以用光電接收器接收,變?yōu)殡娪嵦枺⒂捎?jì)數(shù)器一個(gè)不漏的記錄下來,從而提高了測量速度和測量精度,比如說我國自行設(shè)計(jì)與制造的以氦氖激光器作為光源的光電光波比長儀,可以在20分鐘之內(nèi)把1米線紋尺上1001條刻線依次自動(dòng)鑒定完畢,精度達(dá)到±0.2μm,這就是激光干涉儀的成功例證。高新區(qū)定制雙頻激光干涉儀性價(jià)比
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