激光干涉儀是一種高精度的測(cè)量工具,以下是對(duì)其的詳細(xì)介紹:一、定義與原理激光干涉儀是以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度,利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量工具。其工作原理基于干涉原理,即當(dāng)兩束波重疊并結(jié)合時(shí),會(huì)產(chǎn)生新的波形模式。在激光干涉儀中,激光束被分為兩路,一路經(jīng)固定反射鏡反射,另一路經(jīng)可動(dòng)反射鏡反射,兩束光重新匯合時(shí)產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),干涉條紋的光強(qiáng)變化被轉(zhuǎn)換為電信號(hào),進(jìn)而計(jì)算出位移量。雙頻激光干涉儀以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器。吳江區(qū)銷售雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)

環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng):雙頻激光干涉儀采用交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大,即使光強(qiáng)衰減90%,仍然可以得到有效的干涉信號(hào)。因此,它既可在恒溫、恒濕、防震的計(jì)量室內(nèi)使用,也可在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)測(cè)速高:現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測(cè)速普遍達(dá)到1m/s,有的甚至達(dá)到十幾m/s,適于高速動(dòng)態(tài)測(cè)量。三、應(yīng)用領(lǐng)域幾何量精密測(cè)量:用于長(zhǎng)度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何量的高精度測(cè)量。同時(shí),既支持幾十米大量程的檢測(cè)(如大型機(jī)械),也可對(duì)手表零件等微米級(jí)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行測(cè)量。吳江區(qū)銷售雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)即使不做細(xì)分也可達(dá)到μm量級(jí),細(xì)分后更可達(dá)到nm量級(jí)。

激光干涉測(cè)量?jī)x是一種基于激光干涉原理的高精度計(jì)量?jī)x器,廣泛應(yīng)用于工程與技術(shù)科學(xué)領(lǐng)域 [1-2]。該儀器通過(guò)測(cè)量激光波長(zhǎng)變化實(shí)現(xiàn)幾何量的檢測(cè),具備抗干擾能力強(qiáng)、精度高等特點(diǎn)。主要應(yīng)用場(chǎng)景包括數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺(tái)校準(zhǔn)等,通過(guò)與不同光學(xué)組件結(jié)合,可檢測(cè)線性位移、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù) [2]截至2020年11月,激光干涉測(cè)量?jī)x的技術(shù)參數(shù)包括 [1]:標(biāo)準(zhǔn)量程:0-40米測(cè)量精度:±0.5 ppm分辨率:1納米比較大速率:240米/分鐘角度測(cè)量精度:0.2%
雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣,雙頻激光干涉儀也是一種以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等。它既可以對(duì)幾十米的大量程進(jìn)行精密測(cè)量,也可以對(duì)手表零件等微小運(yùn)動(dòng)進(jìn)行精密測(cè)量,既可以對(duì)幾何量如長(zhǎng)度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測(cè)量,也可以用于特殊場(chǎng)合,諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器上記錄槽間距的測(cè)量等等。實(shí)時(shí)測(cè)量:可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和數(shù)據(jù)采集,適合動(dòng)態(tài)測(cè)量。

這種無(wú)規(guī)則的變化較難通過(guò)觸發(fā)電平的自動(dòng)調(diào)整來(lái)補(bǔ)償,因而限制了單頻干涉儀的應(yīng)用范圍,只有設(shè)法用交流測(cè)量系統(tǒng)代替直流測(cè)量系統(tǒng)才能從根本上克服單頻激光干涉儀的這一弱點(diǎn)。而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點(diǎn),它是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣,雙頻激光干涉儀也是一種以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器,所不同者,一方面是當(dāng)可動(dòng)棱鏡不動(dòng)時(shí),前者的干涉信號(hào)是介于**亮和**暗之間的某個(gè)直流光平,而后者的干涉信號(hào)是一個(gè)頻率約為1.5MHz的交流信號(hào);光電探測(cè)器將光信號(hào)轉(zhuǎn)為電信號(hào),經(jīng)電路處理提取差頻變化量,然后通過(guò)相位比較或脈沖計(jì)數(shù)來(lái)計(jì)算位移。昆山安裝雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)
干涉儀是一種用于測(cè)量光波或其他波動(dòng)現(xiàn)象的儀器,利用干涉原理來(lái)分析波的特性。吳江區(qū)銷售雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)
折射率測(cè)定兩光束的幾何路程保持不變,介質(zhì)折射率變化也可導(dǎo)致光程差的改變,從而引起條紋移動(dòng)。瑞利干涉儀就是通過(guò)條紋移動(dòng)來(lái)對(duì)折射率進(jìn)行相對(duì)測(cè)量的典型干涉儀。應(yīng)用于風(fēng)洞的馬赫-秦特干涉儀被用來(lái)對(duì)氣流折射率的變化進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察。波長(zhǎng)的測(cè)量任何一個(gè)以波長(zhǎng)為單位測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)米尺的方法也就是以標(biāo)準(zhǔn)米尺為單位來(lái)測(cè)量波長(zhǎng)的方法。以國(guó)際米為標(biāo)準(zhǔn),利用干涉儀可精確測(cè)定光波波長(zhǎng)。法布里-珀**涉儀(標(biāo)準(zhǔn)具)曾被用來(lái)確定波長(zhǎng)的初級(jí)標(biāo)準(zhǔn)(鎘紅譜線波長(zhǎng))和幾個(gè)次級(jí)波長(zhǎng)標(biāo)準(zhǔn),從而通過(guò)比較法確定其他光譜線的波長(zhǎng)。吳江區(qū)銷售雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)
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