激光干涉儀使用技巧；Z軸激光光路快速準直方法：用激光干涉儀進行線性測量時，Z軸測量時激光光路的準直相對X、Y軸準直來說，要困難的多。尤其是在Z軸距離較長的情況下，要保證激光光束經反射鏡反射后回到激先探測器的強度滿足測量對對光強的要求，準直激光光路往往需要很長時間。Z軸激光光路快速準直方法具體調整方法如下：Z軸置于低處，利用激光器外殼中部的瞄準槽，正對Z軸放置分光鏡，左右移開Z軸，觀察激光光路，保證激光轉向后大致平行于Z軸，左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準及控制光路的靶)，激光打在反射鏡光靶上。激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度進行測量。河南數控軸平行度激光干涉儀

數控機床維修是一項集計算機、自動控制、自動檢測和電機拖動等于一體的技術，需要數控機床維修人員掌握大量的專業知識和豐富的數控機床維修經驗。因此，在日常數控機床維修中，如何盡快的找到故障原因并排除故障，提高設備完好率，是數控機床維修人員的首要任務。當出現機床精度異常、零件表面質量變差等問題時，就需要借助一些先進的精度檢測儀器。激光干涉儀作為數控機床精度常用的檢測工具，能對數控機床進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉軸分度精度等進行測量。東莞激光干涉儀加工生產激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應用已成為一大發展趨勢。

激光干涉儀是以激光波長為長度計量基準的高精度測量儀器，隨著激光干涉儀的出現，因其具有性能穩定、檢測精度高及數據可靠性好等優點，已成為高精密機械生產中校準及補償的標準儀器，在機械制造、金屬切削加工及航空航天等領域得到了普遍的應用。激光干涉儀有單頻和之分，單頻激光干涉儀受環境因素影響較大，一般用于特定環境的實驗室。激光干涉儀應用頻率變化來測量位移，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，抗干擾能力強，普遍應用于各種工況下。

激光干涉儀組件：要測量線性軸的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數據，需要使用激光測量系統的以下組件，主要有：XL激光頭、三腳架和云臺、XC環境補償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測量光學鏡組、光學鏡安裝組件及安裝激光測量軟件的計算機。激光干涉儀工作原理多普勒效應（DopplerEffect）:任何形式的波傳播，都是由于波源、傳播介質或中間反射器的運動，會使頻率發生變化的現象。這種因多普勒效應所引起的頻率變化稱為多普勒偏移或頻移（DopplerShift）,其頻移大小與介質、波源和觀察物的運動有關。影響激光干涉儀測量精度的因素包括：溫濕度、壓力傳感器誤差。

雙頻激光干涉儀：在氦氖激光器上，加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應和頻率牽引效應,激光器產生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經分光鏡分為兩路。一路經偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為只含有f1的光束,另一路成為只含有f2的光束。當可動反射鏡移動時,含有f2的光束經可動反射鏡反射后成為含有f2±Δf的光束，Δf是可動反射鏡移動時因多普勒效應產生的附加頻率,正負號表示移動方向(多普勒效應是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運動時會產生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來只含有f1的光的光束經偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf）的測量光束。激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平 行度、垂直度等形位誤差。河北大規模激光干涉儀

激光干涉儀的應用：數控機床動態性能檢測。河南數控軸平行度激光干涉儀

數控機床的傳動機構一般是滾珠絲桿副，滾珠絲桿副在生產制造和裝配過程中都存在一定誤差，且長期使用造成的磨損等因素都會使其精度下降，當前為有效且普遍應用的方法是利用激光干涉儀對數控機床進行螺距誤差補償。數控機床機械誤差補償包含記憶式相對位置補償（值）與記憶式螺距誤差補償（增量值）兩種，三菱和法那科系統就是增量值補償的表示之一。當采用激光干涉儀進行增量值補償時，會遇到數據怎么對應補償點位置的問題。機床系統種類繁多，正逐步向自動補償邁進。河南數控軸平行度激光干涉儀