激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、比較高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等，具有極高的精度和效率，為機床誤差修正提供依據。激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是公認的高精度、高靈敏度的檢測手段，在制造領域應用普遍。可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析。四川顯微式激光干涉儀

影響激光干涉儀測量精度的因素包括：①激光器頻率(波長)及頻率穩定性;②測量讀數軟件系統帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當然，在具體測量任務中的測量精度還與測量人員、現場環境條件等因素有關。激光干涉儀在實際使用中，需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數據準確可靠。激光干涉儀的測量讀數Z終均與激光波長有關，因此激光器頻率的準確性和穩定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外，激光干涉儀的環境條件補償系統(壓力、溫濕度傳感器)的讀數準確性對Z終的測量精度有著重要的影響。江蘇精密儀器校準激光干涉儀品牌激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平 行度、垂直度等形位誤差。

激光干涉儀的應用：1、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2、器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差，同時可蕞大限度地選用被測軸上的補償點數，使機床達到蕞佳精度，另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。3、數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償現在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。比傳統用自準直儀和多面體的方法不只節約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉軸精度曲線，知曉其精度的每一細節，并給出按相關標準處理的統計結果。

激光干涉儀應避免在溫度變化大、有風、潮濕環境下測量，此時檢測結果將收到很大的影響。對激光干涉儀要小心輕放，避免強烈的沖擊震動，安置儀器前應檢查三腳架的牢固性，整個作業過程中工作人員不得離開儀器，防止意外發生。激光干涉儀要設置專庫存放，環境要求干燥、通風、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。激光干涉儀具有快速、高準確測量的優點，是校準數字機床、坐標測量機及其它定位裝置精度及線性指標Z常用的標準儀器，掌握一些激光干涉儀的使用技巧會使測量互作事半功倍。激光干涉儀可按照規定標準處理測量數據并輸出誤差曲線。

雙頻激光干涉儀：在氦氖激光器上，加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應和頻率牽引效應,激光器產生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經分光鏡分為兩路。一路經偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為只含有f1的光束,另一路成為只含有f2的光束。當可動反射鏡移動時,含有f2的光束經可動反射鏡反射后成為含有f2±Δf的光束，Δf是可動反射鏡移動時因多普勒效應產生的附加頻率,正負號表示移動方向(多普勒效應是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運動時會產生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來只含有f1的光的光束經偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf）的測量光束。激光干涉儀有數控機床動態性能檢測的應用。江蘇數控機床激光干涉儀設備廠家

激光干涉儀的應用：幾何精度檢測。四川顯微式激光干涉儀

激光干涉儀組件：要測量線性軸的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數據，需要使用激光測量系統的以下組件，主要有：XL激光頭、三腳架和云臺、XC環境補償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測量光學鏡組、光學鏡安裝組件及安裝激光測量軟件的計算機。激光干涉儀工作原理多普勒效應（DopplerEffect）:任何形式的波傳播，都是由于波源、傳播介質或中間反射器的運動，會使頻率發生變化的現象。這種因多普勒效應所引起的頻率變化稱為多普勒偏移或頻移（DopplerShift）,其頻移大小與介質、波源和觀察物的運動有關。四川顯微式激光干涉儀