激光干涉儀作為數控機床精度常用的檢測工具，能對數控機床進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉軸分度精度等進行測量。其中線性測量功能通過機床運行一段直線插補程序，能檢測線性坐標軸的定位精度、重復定位精度，反向間隙等其線性測長精度可達到±0.5ppm(0~40℃)，線性測量長可以達到80m，較高線性測長分辨率0.001μm，較高測量速度240m/min。對于不同的數控機床，檢測的曲線各不相同，其完善的軟件功能通過對不同的曲線進行分析，能夠將影響機床精度的原因列出來，數控機床維修人員能夠很直觀通過分析圖形和數據，了解到機床在哪些方面存在誤差，這樣就為調整和數控機床維修提供了充分的數據支持和指導，縮短數控機床維修時間，提高數控機床維修的效率。激光干涉儀可以進導軌的動態特性分析等。數控軸直線度激光干涉儀加工生產

Z軸激光光路快速準直方法具體調整方法如下：Z軸置于低處，利用激光器外殼中部的瞄準槽，正對Z軸放置分光鏡，左右移開Z軸，觀察激光光路，保證激光轉向后大致平行于Z軸，左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準及控制光路的靶)，激光打在反射鏡光靶上。激光干涉儀初步調整后，固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶，通過“整體”調整精確瞄準光靶后，取下分光鏡光靶，將Z軸升高，觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度，同時透過“尾部”調整使激光對準反光鏡光靶，若在此過程中因“尾部”的調整導致分光鏡遮擋了部分激光，則將Z軸停止上升回到起始處，重新調整“整體”，再次對準反射鏡光靶。蘇州數控設備幾何精度激光干涉儀品牌激光干涉儀使用注意事項：避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿，保持其不失油。

激光干涉儀組件：要測量線性軸的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數據，需要使用激光測量系統的以下組件，主要有：XL激光頭、三腳架和云臺、XC環境補償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測量光學鏡組、光學鏡安裝組件及安裝激光測量軟件的計算機。激光干涉儀工作原理多普勒效應（DopplerEffect）:任何形式的波傳播，都是由于波源、傳播介質或中間反射器的運動，會使頻率發生變化的現象。這種因多普勒效應所引起的頻率變化稱為多普勒偏移或頻移（DopplerShift）,其頻移大小與介質、波源和觀察物的運動有關。

激光干涉儀laserinterferometer以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量.工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光具有高的強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩頻氦氖激光為光源，構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平。常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度，也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統。利用相應附件，還可進行高精度直線度測量、平面度測量、回轉精度測量、平行度測量和小角度測量。激光干涉儀為數控機床的誤差修正提供可靠依據，現場使用尤為方便。

雙頻激光干涉儀：在氦氖激光器上，加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應和頻率牽引效應,激光器產生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經分光鏡分為兩路。一路經偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為只含有f1的光束,另一路成為只含有f2的光束。當可動反射鏡移動時,含有f2的光束經可動反射鏡反射后成為含有f2±Δf的光束，Δf是可動反射鏡移動時因多普勒效應產生的附加頻率,正負號表示移動方向(多普勒效應是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運動時會產生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來只含有f1的光的光束經偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf）的測量光束。激光干涉儀可按照規定標準處理測量數據并輸出誤差曲線。北京儀器校準激光干涉儀安裝

雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全，但在實際使用過程中還是需要另外配置一些輔助工具。數控軸直線度激光干涉儀加工生產

激光干涉儀的使用方法：透鏡面形檢測：調節沉座到被檢透鏡的適合尺寸，（建議大批量固定透鏡的檢測，自己加工固定的沉座）放上透鏡調節高度和透鏡調節鈕使透鏡的星點與標準鏡頭的星點重合，觀測顯示器是否出現干涉條紋，條紋越少精度越高。此外，干涉圖像與對準系統同步，無需切換，任何人都能簡單操作。高度調節結構選擇加長的測試軌道來配合測量尺寸，可簡便的測量出曲率半徑。透鏡曲率半徑檢測：開啟標尺電源開關（清零），調整圖像到看清直線干涉條紋(3條到5條），凸透鏡向上調節高度（凹透鏡向下調節高度）到第2個星點出現的時候調節標準鏡頭調節旋鈕，使圖像出現貓眼像，標尺移動的數值就為被測透鏡的曲率半徑。數控軸直線度激光干涉儀加工生產