科睿設備有限公司所推出的納米顆粒沉積系統，其主要優勢在于實現了在超高真空環境下，將超純、非團聚的納米顆粒直接沉積到最大直徑50毫米的各類基底上。這一技術突解決了傳統納米材料制備中常見的顆粒團聚、污染等問題，為高質量納米結構制備奠定了堅實基礎。系統采用的特高壓設計，能夠將腔體內的本底真空度維持在極高水平，有效避免了水汽、氧氣等殘余氣體對沉積過程的干擾，確保了納米顆粒的化學純度和結構完整性，這對于對材料性能極為敏感的高科技研究至關重要。

涂層均勻性不佳時，可通過調整基板旋轉速率或優化粒子束流聚焦解決。納米團簇沉積系統控制

光子學領域應用：精細沉積賦能高性能光子器件研發。

光子學作為研究光與物質相互作用的前沿學科，其發展高度依賴于高性能光子材料和器件的制備，而納米顆粒和薄膜的沉積質量直接影響光子器件的光學性能。科睿設備的納米顆粒沉積系統、超高真空PVD系統等產品，憑借精細的工藝控制和高純度的沉積效果，成為光子學領域研發的主要設備。在光子材料制備方面，系統可通過調控納米顆粒的尺寸、形狀和組成，制備出具有特定光學特性的納米材料，例如通過沉積貴金屬納米顆粒實現表面等離激元共振效應，用于增強光吸收或光發射；通過沉積半導體納米顆粒制備量子點材料，用于熒光傳感或量子光學器件。 納米團簇沉積系統控制迷你電子束蒸發器、磁控濺射源等多模塊集成，滿足復雜沉積工藝需求。

納米顆粒和薄膜超高真空（UHV）沉積系統的工作原理，是在超高真空環境中，通過特定物理 / 化學機制產生超純納米顆粒或薄膜材料，再將其準確、均勻地沉積到目標基材表面，整個過程需實現 “真空環境控制、材料源激發、粒子傳輸與篩選、基材相互作用” 四大關鍵環節的協同，獲得高純度、低缺陷、結構可控的納米級沉積層。

納米顆粒和薄膜 UHV 沉積系統的應用場景，本質是通過 “超純、準確、可控” 的納米制備技術，解決不同領域中 “材料結構調控” 的主要需求 —— 無論是工業研發中提升產品性能（如催化劑活性、電池壽命），還是學術研究中探索材料新機理，其多技術集成、多基材適配的特性，使其成為連接基礎研究與實際應用的關鍵橋梁，服務于高校、科研院所、高科技術企業的創新需求。

科睿設備：深耕科研儀器領域，賦能多學科創新突破。

科睿設備有限公司作為專注于微電子、半導體、過濾設備、生命科學及材料科學研發的進口科研儀器供應商，始終以技術創新為原則，聚焦納米科技相關設備的引進與推廣，為全球科研機構和企業提供高性能解決方案。公司主營的納米顆粒沉積系統、超高真空PVD系統、粉體鍍膜涂覆系統等系列產品，憑借精洗的工藝控制、廣泛的應用適配性和穩定的運行表現，成為工業研發與學術研究的主要支撐設備。多年來，科睿設備深耕細分領域，不僅注重產品本身的技術先進性，更致力于為用戶提供從設備選型、安裝調試到后期運維的全周期服務，助力科研工作者打破技術瓶頸，在催化、光子學、儲能、傳感器及生命科學等多個前沿領域實現創新突破。無論是共享研究實驗室的多用戶并行使用需求，還是工業場景下的高精度批量生產要求，科睿設備都能通過定制化的產品配置和專業的技術支持，滿足不同用戶的訴求，成為科研創新道路上的可靠合作伙伴。 利用QMS質量過濾器可實現納米顆粒按尺寸的實時篩選。

新南威爾士大學AronMichael團隊利用超高真空電子束蒸發硅系統，攻克了CMOS上集成MEMS時的低熱預算難題。該系統可在≤500℃的低熱預算下，制備出厚度達60μm、表面光滑且低應力的原位磷摻雜硅薄膜，沉積速率達1μm/min，且不會損害CMOS的完整性。團隊還基于這種厚多晶硅膜設計制造了20μm厚的梳狀驅動結構，成功實現了加速度計的功能。該案例為MEMS器件提供了新型低成本厚多晶硅技術，助力汽車、可穿戴設備等領域智能傳感器的低成本集成。設備維護需定期清潔沉積源與真空室，更換老化密封圈與過濾部件。納米團簇沉積系統控制

迷你電子束蒸發器適于高熔點材料的快速蒸發與沉積。納米團簇沉積系統控制

在醫用器械領域，通過超高真空 PVD 系統在植入式醫療器械（如人工關節、心臟支架、骨科螺釘等）表面沉積生物相容性納米涂層（如鈦基納米涂層、羥基磷灰石納米涂層），可改善器械表面的生物相容性，促進器械與人體組織的整合，減少排異反應，同時提升器械的耐磨性和耐腐蝕性，延長其使用壽命。在生物檢測領域，通過沉積特異性識別納米顆粒（如抗體修飾的納米顆粒、核酸功能化的納米顆粒），可制備高靈敏度的生物傳感器，用于疾病標志物的快速檢測和診斷。此外，系統采用的無化學物質工藝確保了納米涂層的高純度和安全性，避免了化學殘留對生物體系的影響，符合生命科學領域的嚴格要求。科睿設備的相關系統為生命科學領域的基礎研究、藥物研發和醫療器械創新提供了可靠的技術支撐，助力醫療健康產業的高質量發展。納米團簇沉積系統控制

科睿設備有限公司匯集了大量的優秀人才，集企業奇思，創經濟奇跡，一群有夢想有朝氣的團隊不斷在前進的道路上開創新天地，繪畫新藍圖，在上海市等地區的化工中始終保持良好的信譽，信奉著“爭取每一個客戶不容易，失去每一個用戶很簡單”的理念，市場是企業的方向，質量是企業的生命，在公司有效方針的領導下，全體上下，團結一致，共同進退，**協力把各方面工作做得更好，努力開創工作的新局面，公司的新高度，未來科睿設備供應和您一起奔向更美好的未來，即使現在有一點小小的成績，也不足以驕傲，過去的種種都已成為昨日我們只有總結經驗，才能繼續上路，讓我們一起點燃新的希望，放飛新的夢想！