目前可以實現表面微納結構的加工方法主要有以下幾種。 （1）光刻技術，利用電子束或激光光束可以得到加工尺寸在幾十納米的微納結構，該方法優勢在于精度高，得到的微納結構形狀可以得到很好的控制； （2）飛秒激光加工技術，由于飛秒激光具有不受衍射極限限制的特點，可以加工出遠小于光斑直徑的尺寸，研究人員通過試驗發現，采用飛秒激光加工出10nm寬的納米線，在微納加工領域具有獨特優勢。另外飛秒激光雙分子聚合技術可以實現納米尺寸結構的加工； （3）自組裝工藝，光刻與自組裝和刻蝕工藝結合，通過自組裝工藝，可以得到6nm左右的納米孔。 （4）等離子刻蝕技術，等離子刻蝕技術是應用*****的微納米加工手段，加工精度高，是集成電路制造中**關鍵的工藝之一。 （5）沉積法，主要包括物***相沉積和化學氣相沉積，該方法主要是利用氣相發生的物理化學過程，在工件表面形成功能型或裝飾性的金屬，可以用來實現微納米結構涂層的制造。 （6）微納增材制造技術，微納增材制造技術主要指微納尺度電噴增材制造和微激光增材制造技術，由于微納增材技術可以不受形狀限制，可多材料協同制造，具有較大的發展前景。 山西微納代工行業

原位芯片掌握先進的光刻技術，為企業提供光刻代加工服務。電子束曝光技術簡稱“光刻”，是當前**常用的微納加工方案，充當模板的是“光刻膠”。理論上光刻的精度可以達到1納米，但是實際情況下很難，儀器輕微的振動、外界磁場的干擾、操作人員的經驗都會影響**終結果?！澳壳半娮邮毓獾木却蠹s在60-80納米左右，相當于人頭發絲的千分之一。隨著微納器件的小型化、精細化發展，光刻技術步驟繁瑣、光刻膠易殘留難清洗的局限也越發凸顯。”在光刻技術上還有很大的提升以及研究空間。湖北質量微納代工

納米光刻技術是一種精確的圖案化技術，用于生物傳感器和先進材料的功能納米結構的制造，并在太陽能電池、印刷電子、LED和MEMS等領域有廣泛應用。由于大多數光刻圖案具有3D結構，因此表征技術必須提供3D測量的能力。Tosca?400 AFM利用尖銳探針掃描樣品表面以記錄表面形態，不僅獲得高橫向分辨率，而且能得到納米和亞納米級的垂直分辨率。它提供了一種精確表征三維納米光刻結構的可靠方法?，F階段很多科研工作者用微納加工技術研發生產了如仿生撲翼飛行昆蟲、一體化折疊集成微機器人、微流控滑動芯片等樣品，微納加工的前沿科技感躍然紙上。

微納加工制造與測試技術作為我國從制造大國走向制造強國戰略的重要前沿交叉關鍵技術，對制造工業、產業轉型升級以及社會經濟發展都具有重要意義，***高度重視先進傳感器技術的研究。MEMS傳感器研究要站在戰略的高度，重點關注其顛覆性技術和關鍵**技術的突破；微納制造技術是開展MEMS傳感器研究的基礎與保證，一定要加強微納制造技術的基礎研究并長期堅持；探索產學研用新機制；專業學術論壇的舉行將為我國微納制造與測試技術領域提供協同創新的平臺。

超短脈沖激光微細加工技術指的是利用超短脈沖激光對材料的顯微加工、精密裁切以及微觀改性。相對于傳統的激光打標、激光焊接、激光切割等，超短脈沖激光精密微細加工還屬于新興的市場，在太陽能電池、LCD、醫療、精密加工、透明材料及微電子學等領域具有很好的應用前景。隨著超短脈沖激光器件趨向更為成熟的工業應用，超短脈沖激光微納加工技術將開拓更為廣闊的應用領域，成為諸多行業不可或缺的利器，為‘中國制造2025’貢獻力量。河北**微納代工

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由于在重大工程、工業裝備和質量保證、基礎科研中，儀器儀表都是必不可少的基礎技術和裝備重點，除傳統領域的需求外，新興的智能制造、離散自動化、生命科學、新能源、海洋工程、軌道交通等領域也會產生巨大需求。儀器儀表在工業生產過程中扮演著重要的角色，用到各種各樣的儀器儀表，如微納代工，微流控器件，MEMS芯片設計加工，MEMS流片等為工業的檢驗、測量和計量提供技術支撐。在國民經濟運行中，微納米芯片及相關產品的研發、銷售并提供相關技術服務；銷售：電子材料、實驗室耗材、無塵耗材、潔凈設備、實驗室設備和儀表；提供上述產品的技術轉讓和服務，從事上述產品及技術的進出口服務。（依法須經批準的項目，經相關部門批準后方可開展經營活動）等設備是提高勞動生產率的倍增器，對國民經濟有著巨大的作用和影響力。美國商業部地區技術和標準研究院（NIST）提出的報告稱：美國90年代儀器儀表工業產值只占工業總產值的4%，但它對國民經濟（GNP）的影響面卻達到66%。從加工廣義角度來說，儀器儀表也可具有自動操控、報警、信號傳遞和數據處理等功能，例如用于工業生產過程自動操控中的氣動調節儀表，和電動調節儀表，以及集散型儀表操控系統也皆屬于儀器儀表。山西微納代工行業

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