整個蛙腿型晶圓搬運機械手共由3個電機實現運動控制。2臺直驅電機負責連接晶圓托盤連桿的同步控制，1臺直流電機負責整個機械手的上升與下降控制。雖然軸數較少，但對控制的精度、平穩性和可靠性要求極高。整個控制架構基于CANopen或者EtherCAT。 針對客戶的需求，Copley給出了性價比比較好的解決方案-- Accelnet Plus Module驅動器。Dual axis module同時驅動2臺直驅電機，Single axis module驅動1臺升降直流電機。雙軸模塊式驅動器使系統成本比較好化高精度時間戳保證PVT控制的比較好性能多通道**I/O高精度位置觸發且多點位置數據存儲客制化編碼器接口協議-Gurley Virtual Absolute多點增益切換小體積可直接安裝于機械手底座內部專業的技術支持機械手臂是機械人技術領域中得到*****實際應用的自動化機械裝置.珠海晶圓運送機械吸臂供應商家

3) 加速度反饋控制。Khorrami FarShad 和Jain Sandeep研究了利用末端加速度反饋控制柔性機械臂的末端軌跡控制問題。4) 被動阻尼控制。為降低柔性體相對彈性變形的影響 選用各種耗能或儲能材料設計臂的結構以控制振動。 或者在柔性梁上采用阻尼減振器、阻尼材料、復合型阻尼金屬板、、阻尼合金或用粘彈性大阻尼材料形成附加阻尼結構均屬于被動阻尼控制。 近年來 粘彈性大阻尼材料用于柔性機械臂的振動控制已引起高度重視。RoSSi Mauro 和Wang David研究了柔性機器人的被動控制問題。5) 力反饋控制法。柔性機械臂振動的力反饋控制實際上是基于逆動力學分析的控制方法 即根據逆動力學分析 通過臂末端的給定運動求得施加于驅動端的力矩 并通過運動或力檢測對驅動力矩進行反饋補償。珠海晶圓運送機械吸臂供應商家手臂的剛性直接影響到手臂抓取工件時動作的平穩性、運動的速度和定位精度。

與剛性機械臂相比較，柔性機械臂具有結構輕、載重/自重比高等特性，因而具有較低的能耗、較大的操作空間和很高的效率，其響應快速而準確，有著很多潛在的優點，在工業、**等應用領域中占有十分重要的地位。隨著宇航業及機器人業的飛速發展，越來越多地采用由若干個柔性構件組成的多柔體系統。傳統的多剛體動力學的分析方法及控制方法已不能滿足多柔體系統的動力分析及控制的要求。柔性機械臂作為簡單的非平凡多柔體系統，被用作多柔體系統的研究模型。

與傳統的SCARA型搬運機械手相比，蛙腿型機械手的傳動機構更簡單，剛性更高，且工作效率更高。如上圖所示，蛙腿型機械手手臂為對稱雙連桿的并聯結構，包括1對大臂和2對小臂。2個直驅電機分別通過2個同軸的旋轉軸連接大臂，大臂末端通過4個旋轉軸連接尺寸相同的2對小臂，2對小臂的末端又通過2個旋轉軸連接晶圓托盤。 該機械手雖然只有3個電機，但水平連桿卻有10個旋轉關節，因此對整個真空機械手建立旋轉關節坐標與末端晶圓托盤坐標之間的函數關系是一個復雜的過程合理選擇機械手的坐標形式。直角坐標式機械手的位置精度較高，其結構和運動都比較簡單、誤差也小。

本發明針對現有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。

為了解決上述技術問題，本發明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節，所述的伸展電機、所述的一級關節、所述的二級關節和所述的三級關節依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。 直角坐標系機械手臂，球坐標系機械手臂，極坐標機械手臂.汕頭直銷晶圓運送機械吸臂市場價

柔性機械臂在工業、**等應用領域中占有十分重要的地位。珠海晶圓運送機械吸臂供應商家

可選地，所述托板包括：

主板；

排列成八字形的***支板和第二支板，在所述主板的同一側與所述主板固定連接；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠離所述主板的一端、所述第二支板遠離所述主板的一端均設置有所述絨毛墊。

可選地，所述表面為平面。

另外，本實用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置，其包括上述任一所述的機械手臂。

在本實用新型的技術方案中，機械手臂傳送晶圓時，晶圓放置在托板的表面，并與絨毛墊接觸，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力，晶圓被穩穩地附著在機械手臂上，不易發生平移，這樣不僅可以避免發生機械手臂碰傷，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產效率。

通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細描述，本實用新型的其它特征、方面及其優點將會變得清楚。 珠海晶圓運送機械吸臂供應商家

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