一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機械手，該真空吸附機械手包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺；設置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面，所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度，故利用真空吸附機械手將晶圓傳送至所需位置之后，晶圓的背面中與真空吸附機械手接觸的位置不會形成印記，提高了晶圓的合格率。通用性強，能適應多種作業(yè)；工藝性好，便于維修調(diào)整。手臂就要產(chǎn)生振動，或動作時工件卡死無法工作。江門官方晶圓運送機械吸臂公司

自動化方面，機械吸臂將與其他半導體制造設備和自動化生產(chǎn)線實現(xiàn)更緊密的集成，實現(xiàn)整個生產(chǎn)過程的全自動化運行。通過與工廠的自動化控制系統(tǒng)進行無縫對接，吸臂可以按照預設的生產(chǎn)流程和任務計劃，自動完成晶圓的搬運、上下料等操作，無需人工干預，極大提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量穩(wěn)定性。網(wǎng)絡化方面，借助物聯(lián)網(wǎng)技術，晶圓運送機械吸臂可以實現(xiàn)遠程監(jiān)控和管理。操作人員可以通過網(wǎng)絡在遠程對吸臂的運行狀態(tài)進行實時監(jiān)測、數(shù)據(jù)分析和故障診斷，及時采取相應的措施進行維護和管理。同時，網(wǎng)絡化的吸臂還可以實現(xiàn)遠程升級和優(yōu)化，方便制造商對設備進行技術更新和改進，提高設備的適應性和競爭力。江門官方晶圓運送機械吸臂公司所述鋁合金平板下表面通過金屬箔片密封其真空腔體。

電動式 電力驅(qū)動是目前機械臂使用得**多的一種驅(qū)動方式。其特點是電源方便，響應快，驅(qū)動力較大（關節(jié)型的持重已達400公斤），信號檢測、傳遞、處理方便，并可以采用多種靈活的控制方案。驅(qū)動電機一般采用步進電機，直流伺服電機以及交流伺服電機（其中交流伺服電機為目前主要的驅(qū)動形式）。由于電機速度高，通常采用減速機構（如諧波傳動、RV擺線針輪傳動、齒輪傳動、螺旋行動和多桿式機構等）。目前，有些機械臂已開始采用無減速機構的大轉矩、低轉速的電機進行直接驅(qū)動（DD），這既可以使機構簡化，又可提高控制精度。二、按用途分⒈搬運機械臂 這種機械臂用途很廣，一般只需點位控制。即被搬運零件無嚴格的運動軌跡要求，只要求始點和終點位姿準確。如機床上用的上下料器人，工件堆垛機械臂，注塑機配套用的機械等。

晶圓運送機械吸臂是半導體制造過程中至關重要的設備組件，它專門用于精確、可靠地搬運晶圓。晶圓作為半導體芯片的基礎材料，其制造過程對環(huán)境和操作的精度要求極高，任何微小的污染或損傷都可能導致芯片性能下降甚至報廢。機械吸臂在這個過程中扮演著“晶圓搬運工”的關鍵角色，確保晶圓在不同工序和設備之間安全、準確地傳遞。它通常由高精度的機械結構、先進的傳感系統(tǒng)和智能的控制系統(tǒng)組成。能夠在微觀尺度上實現(xiàn)對晶圓的精確操作，同時要適應半導體制造車間的超凈環(huán)境和嚴格的工藝要求。隨著半導體技術的不斷發(fā)展，晶圓尺寸不斷增大，制造工藝愈發(fā)復雜，對晶圓運送機械吸臂的性能和可靠性也提出了更高的要求。手臂一般有3個運動：伸縮、旋轉和升降.

可用于300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關節(jié)潔凈機械手臂GTCR5000系列。

單臂雙手指結構能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結構同樣的功能。

適用于300mm半導體生產(chǎn)設備內(nèi)部，檢測設備等的晶圓搬運。

機械手臂標準臂長: 210mm, 280mm機械手臂可以單獨對應2個FOUP（210mm臂長）

或者3個FOUP（280mm臂長）雙手指結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式配備動作監(jiān)視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對值編碼器規(guī)格的AC伺服電機通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優(yōu)化

能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 對于粉塵作業(yè)的機械手還要添裝防塵設施。清遠正規(guī)晶圓運送機械吸臂新報價

圖為單軸機械手臂。單軸機械手臂的組件化**降低了工業(yè)設計的成本.江門官方晶圓運送機械吸臂公司

晶圓運送機械吸臂廣泛應用于半導體制造過程中的各個環(huán)節(jié)，如薄膜沉積、光刻、蝕刻、清洗、檢測等。具體應用舉例如下：

薄膜沉積：在薄膜沉積設備中，晶圓運送機械吸臂負責將晶圓從裝載室傳送至沉積室，以及在沉積完成后將晶圓送回裝載室。

光刻：在光刻設備中，吸臂需將晶圓精確傳送至光刻機工作臺，確保晶圓在曝光過程中的穩(wěn)定性和精度。

蝕刻：在蝕刻設備中，晶圓運送機械吸臂需將晶圓傳送至蝕刻室，并在蝕刻完成后將其送回清洗設備。

清洗和干燥：在清洗和干燥設備中，吸臂負責將晶圓傳送至清洗槽，以及在清洗和干燥完成后將其送回下一工藝環(huán)節(jié)。

檢測：在檢測設備中，晶圓運送機械吸臂需將晶圓傳送至檢測臺，確保檢測過程中的穩(wěn)定性和準確性。 江門官方晶圓運送機械吸臂公司

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