電動式 電力驅動是目前機械臂使用得**多的一種驅動方式。其特點是電源方便，響應快，驅動力較大（關節型的持重已達400公斤），信號檢測、傳遞、處理方便，并可以采用多種靈活的控制方案。驅動電機一般采用步進電機，直流伺服電機以及交流伺服電機（其中交流伺服電機為目前主要的驅動形式）。由于電機速度高，通常采用減速機構（如諧波傳動、RV擺線針輪傳動、齒輪傳動、螺旋行動和多桿式機構等）。目前，有些機械臂已開始采用無減速機構的大轉矩、低轉速的電機進行直接驅動（DD），這既可以使機構簡化，又可提高控制精度。二、按用途分⒈搬運機械臂 這種機械臂用途很廣，一般只需點位控制。即被搬運零件無嚴格的運動軌跡要求，只要求始點和終點位姿準確。如機床上用的上下料器人，工件堆垛機械臂，注塑機配套用的機械等。吸臂具有高度可調節功能，適應不同尺寸的晶圓。江門進口晶圓運送機械吸臂工廠

晶圓運送機械吸臂是半導體制造過程中至關重要的設備組件，它專門用于精確、可靠地搬運晶圓。晶圓作為半導體芯片的基礎材料，其制造過程對環境和操作的精度要求極高，任何微小的污染或損傷都可能導致芯片性能下降甚至報廢。機械吸臂在這個過程中扮演著“晶圓搬運工”的關鍵角色，確保晶圓在不同工序和設備之間安全、準確地傳遞。它通常由高精度的機械結構、先進的傳感系統和智能的控制系統組成。能夠在微觀尺度上實現對晶圓的精確操作，同時要適應半導體制造車間的超凈環境和嚴格的工藝要求。隨著半導體技術的不斷發展，晶圓尺寸不斷增大，制造工藝愈發復雜，對晶圓運送機械吸臂的性能和可靠性也提出了更高的要求。梅州新款晶圓運送機械吸臂推廣因此，在設計手臂時，須根據機械手抓取重量、自由度數、工作范圍、運動速度及機械手的整體布局。

本發明針對現有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發明結構合理性能穩定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。

為了解決上述技術問題，本發明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節，所述的伸展電機、所述的一級關節、所述的二級關節和所述的三級關節依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。

可用于300mm半導體晶圓搬送的5軸水平多關節潔凈機械手臂GTCR5000系列。

單臂雙手指結構能夠實現和雙臂結構同樣的功能。

適用于300mm半導體生產設備內部，檢測設備等的晶圓搬運。

機械手臂標準臂長: 210mm, 280mm機械手臂可以單獨對應2個FOUP（210mm臂長）

或者3個FOUP（280mm臂長）雙手指結構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式配備動作監視器控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對值編碼器規格的AC伺服電機通過S曲線加減速控制方式以及對運動軌跡的優化

能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質 柔性機械臂作為簡單的非平凡多柔體系統，被用作多柔體系統的研究模型。

使用匯編語言編寫計算機程序，程序員仍然需要十分熟悉計算機系統的硬件結構，所以從程序設計本身上來看仍然是低效率的、煩瑣的。但正是由于匯編語言與計算機硬件系統關系密切，在某些特定的場合，如對時空效率要求很高的系統**程序以及實時控制程序等，迄今為止匯編語言仍然是十分有效的程序設計工具。工業機械臂目前還沒有統一的分類標準。根據不同的要求可進行不同的分類。一、按驅動方式分1．液壓式 液壓驅動機械臂通常由液動機（各種油缸、油馬達）、伺服閥、油泵、油箱等組成驅動系統，由驅動機械臂的執行機構進行工作。通常它具有很大的抓舉能力（高達幾百公斤以上），其特點是結構緊湊，動 作平穩，耐沖擊，耐振動，防爆性好，但液壓元件要求有較高的制造精度和密封性能，否則漏油將污染環境。2．氣動式 其驅動系統通常由氣缸、氣閥、氣罐和空壓機組成，其特點是氣源方便，動作迅速、結構簡單、造價較低、維修方便。但難以進行速度控制，氣壓不可太高，故抓舉能力較低。隨著機器人技術的發展，應用高速度、高精度、高負載自重比的機器人結構受到工業和航空航天領域的關注。徐州晶圓運送機械吸臂價位

手臂就要產生振動，或動作時工件卡死無法工作。江門進口晶圓運送機械吸臂工廠

對于晶圓狀態的檢測，主要包括晶圓的存在檢測、位置偏差檢測和表面質量檢測等。通過光電傳感器或電容傳感器可以快速檢測晶圓是否正確放置在吸臂上，以及在搬運過程中是否發生位移。表面質量檢測傳感器則可以實時監測晶圓表面是否有劃痕、顆粒污染等缺陷，一旦發現異常情況，及時發出警報并采取相應措施，以保證晶圓的質量不受影響。基于這些豐富的傳感器數據，控制系統可以對機械吸臂進行精確的控制。控制系統采用先進的算法和控制器，如PID控制算法、模糊控制算法等，根據傳感器反饋的信息實時調整吸臂的運動速度、加速度和力量，確保晶圓在搬運過程中的平穩性和準確性。同時，控制系統還具備與其他半導體制造設備的通信接口，能夠實現協同工作和自動化生產流程的無縫對接。例如，在晶圓送入光刻機進行曝光工藝時，機械吸臂可以與光刻機的控制系統進行通信，按照預定的程序和時間節點將晶圓準確地放置在光刻機的工作臺上，并在曝光完成后將晶圓安全取出，整個過程高度自動化且精確無誤。江門進口晶圓運送機械吸臂工廠

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