種微孔真空吸盤工作臺的制作方法

【技術領域】

[0001]本實用新型涉及一種微孔真空吸盤工作臺，屬于機械設備領域。

【背景技術】

[0002]劃片刀用于精密加工，由于它的損耗速度非常快，因此需求量非常大。生產(chǎn)劃片刀需要使用晶圓劃片機，目前我國*有少數(shù)的幾家工廠擁有這種設備，在生產(chǎn)過程中發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有技術的晶圓劃片機的工作臺壽命較短，由于其結構的不合理通常I?6個月即會變形，在生產(chǎn)過程中，隨溫度變化也會變形加快。

【實用新型內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的在于，提供一種微孔真空吸盤工作臺，它能夠解決現(xiàn)有技術的不足，提供一種結構更合理，使用壽命更長的工作臺。 是各種半導體片生產(chǎn)過程中用于吸附及承載的**工具.南京正規(guī)微孔陶瓷真空吸盤聯(lián)系人

    泡工藝發(fā)泡工藝是陶瓷組分添加有機或無機化學物質(zhì),通過化學反應等產(chǎn)生揮發(fā)氣體,經(jīng)干燥和燒成制成多孔陶瓷。發(fā)泡工藝與泡沫浸漬工藝相比,更容易控制制品的形狀、成分和密度,并可制備各種氣孔形狀和大小的多孔陶瓷,特別適用于制備閉氣孔的陶瓷材料。用來做發(fā)泡劑的化學物質(zhì)有很多種類,例如,用碳化鈣、氫氧化鈣、鋁粉***鋁和雙氧水作發(fā)泡劑;由親水性聚氨脂塑料和陶瓷泥漿同時發(fā)泡制備多孔陶瓷;用硫化物和***鹽混合作發(fā)泡劑等。添加成孔劑工藝此工藝是通過在陶瓷配料中添加造孔劑,利用造孔劑在坯體中占據(jù)一定的空間,然后經(jīng)過燒結,造孔劑離開而形成氣孔來制備多孔陶瓷。添加造孔劑制備多孔陶瓷的工藝流程與普通的陶瓷工藝流程相似。造孔劑的種類有無機和有機兩類,無機造孔劑有碳酸銨、碳酸氫銨、氯化銨等高溫可分解的鹽類,以及煤粉、碳粉等。有機造孔劑主要是天然纖維、高分子聚合物和有機酸等。造孔劑顆粒的形狀和大小決定了多孔陶瓷材料氣孔的形狀和大小。多孔陶瓷材料的成型方法與普通陶瓷的成型方法類似,主要有模壓、擠壓、等靜壓、扎制、注射和粉漿澆注等。 南京進口微孔陶瓷真空吸盤聯(lián)系人真空吸盤要求高孔隙率，超微細孔徑的場合.

2、濕氫法

濕氫法是將Al 粉置于Al2O3中，在適當?shù)奈恢梅湃雴尉l2O3以誘導陶瓷生長，放入管式爐內(nèi)，在濕氫氣氛下加熱至1400℃，保持2h，濕氫**控制為-30℃。通過控制氫氣**起到對其中水蒸氣含量的控制，制備得到的氧化鋁陶瓷。

濕氫法優(yōu)點是氧化鋁陶瓷以螺旋位錯機理生長，產(chǎn)品品質(zhì)較好。缺點是**不易控制，受環(huán)境濕度因素干擾大，且對實驗設備影響很大。

3、模板法

目前，研究報道模板法主要是采用棉花纖維和碳納米管為模板，制備氧化鋁陶瓷。主要工藝過程是首先將棉花纖維浸入5%的AlCl3溶液中2min，80℃下干燥24 h，放入剛玉坩鍋置于烘箱中分別在 800℃、1000℃和1200℃下燒制2h，即得到多晶的氧化鋁陶瓷陶瓷。

2、干壓成型

對形狀簡單、適于干壓成型的中小型氧化鋯陶瓷產(chǎn)品常采用干壓方法成型。氧化鋯 陶瓷干壓時出現(xiàn)的常見問題是產(chǎn)品分層，這是因為氧化鋯超細粉造粒料的顆粒很細，因而顆粒輕、流動性差，干壓成型時容易出現(xiàn)分層現(xiàn)象。從生產(chǎn)實踐中得知，產(chǎn)品分層與成型模具的光潔度和配合情況、成型壓力、加壓方式、加壓速度和保壓時間、脫模方式、脫模速度均有關系，下面就上述幾方面因素對干壓成型的影響分述如下：

A、模具的光潔度和配合情況

干壓成型對模具質(zhì)量要求較高，首先要求模具硬度達到一定的要求。由于氧化鋯穩(wěn)定料的顆粒很細，流動性差，因而對模具的光潔度要求很高，若光潔度達不到要求，則干壓時影響料的流動，從而導致分層的出現(xiàn)。同時，若模具配合不好，間隙大，則由于氧化鋯 粉料顆粒細，壓制時粉料會從模具間隙中流出，從而造成模具四周的粉料少，這樣壓制時四周就不能壓實，從而會因壓力傳遞不一致而出現(xiàn)分層，故對模具的配合要求較高。 微孔陶瓷真空吸盤的微小孔隙結構可以有效地防止漏氣，確保真空吸附的穩(wěn)定性。

有機泡沫浸漬工藝

有機泡沫浸漬法是用有機泡沫浸漬陶瓷漿料，干燥后燒掉有機泡沫，獲得多孔陶瓷的一種方發(fā)泡工藝法。該法適于制備高氣孔率、開口氣孔的多孔陶瓷。這種方法制備的泡沫陶瓷是目前**主要的多孔陶瓷之一。

溶膠－凝膠工藝

溶膠- 凝膠工藝主要利用凝膠化過程中膠體粒子的堆積以及凝膠處理、熱處理等過程中留下小氣孔,形成可控多孔結構。這種方法大多數(shù)產(chǎn)生納米級氣孔,多用來生產(chǎn)微孔陶瓷。溶膠－凝膠工藝是一種新的制備多孔陶瓷的工藝,與其它工藝相比有其獨特之處。例如,用溶膠－凝膠法制備氧化鋁多孔陶瓷,與顆粒混合、泡沫浸漬、噴霧干燥顆粒等方法相比較,溶膠－凝膠法可進一步改善氧化鋁多孔陶瓷孔徑分布的控制、相變、純度及顯微結構。 我們開發(fā)了新型多孔陶瓷，它的孔徑可以制作在小于1微米大到幾百個微米的范圍內(nèi)。南京進口微孔陶瓷真空吸盤聯(lián)系人

這種微孔陶瓷真空吸盤廣泛應用于自動化生產(chǎn)線、機械加工和電子制造等領域。南京正規(guī)微孔陶瓷真空吸盤聯(lián)系人

微孔陶瓷真空吸盤具有出色的吸附性能。其獨特的微孔結構能夠產(chǎn)生均勻而強大的吸附力，無論是對平面物體還是不規(guī)則形狀的物品，都能實現(xiàn)牢固的吸附。例如，在電子元件制造過程中，各種微小的芯片和電路板等，由于尺寸小且形狀各異，傳統(tǒng)的吸盤很難實現(xiàn)穩(wěn)定的抓取。而微孔陶瓷真空吸盤卻能憑借其細密的微孔，與物體表面充分接觸，通過真空作用產(chǎn)生強大的吸附力，確保這些精密的電子元件在搬運和加工過程中不會掉落或移位。這種強大的吸附性能為眾多高精度生產(chǎn)領域提供了可靠的解決方案。南京正規(guī)微孔陶瓷真空吸盤聯(lián)系人

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