本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié)，所述的伸展電機、所述的一級關(guān)節(jié)、所述的二級關(guān)節(jié)和所述的三級關(guān)節(jié)依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。

對于半導(dǎo)體制造應(yīng)用來說，常用的機械手臂是用來搬送晶片.山東進(jìn)口晶圓運送機械吸臂價格多少

    6)自適應(yīng)控制。采用組合自適應(yīng)控制將系統(tǒng)劃分成關(guān)節(jié)子系統(tǒng)和柔性子系統(tǒng)。利用參數(shù)線性化的方法設(shè)計自適應(yīng)控制規(guī)則來辨識柔性機械臂的不確定性參數(shù)。對具有非線性和參數(shù)不確定性的柔性機械臂進(jìn)行了**控制器的設(shè)計。控制器的設(shè)計是依據(jù)Lyapunov方法的魯棒和自適應(yīng)控制設(shè)計。通過狀態(tài)轉(zhuǎn)換將系統(tǒng)分成兩個子系統(tǒng)。用自適應(yīng)控制和魯棒控制分別對兩個子系統(tǒng)進(jìn)行控制。7)PID控制。PID控制器作為很受歡迎和**廣泛應(yīng)用的控制器,由于其簡單、有效、實用,被普遍地用于剛性機械臂控制,常通過調(diào)整控制器增益構(gòu)成自校正PID控制器或與其它控制方法結(jié)合構(gòu)成復(fù)合控制系統(tǒng)以改善PID控制器性能。8)變結(jié)構(gòu)控制。變結(jié)構(gòu)控制系統(tǒng)是一種不連續(xù)的反饋控制系統(tǒng),其中滑模控制是**普遍的變結(jié)構(gòu)控制。其特點;在切換面上,具有所謂的滑動方式,在滑動方式中系統(tǒng)對參數(shù)變化和擾動保持不敏感,同時,它的軌跡位于切換面上,滑動現(xiàn)象并不依賴于系統(tǒng)參數(shù),具有穩(wěn)定的性質(zhì)。變結(jié)構(gòu)控制器的設(shè)計,不需要機械臂精確的動態(tài)模型,模型參數(shù)的邊界就足以構(gòu)造一個控制器。 揭陽新款晶圓運送機械吸臂賣價機械手的運動速度一般是根據(jù)產(chǎn)品的生產(chǎn)節(jié)拍要求來決定的，但不宜盲目追求高速度。

電動式 電力驅(qū)動是目前機械臂使用得**多的一種驅(qū)動方式。其特點是電源方便，響應(yīng)快，驅(qū)動力較大（關(guān)節(jié)型的持重已達(dá)400公斤），信號檢測、傳遞、處理方便，并可以采用多種靈活的控制方案。驅(qū)動電機一般采用步進(jìn)電機，直流伺服電機以及交流伺服電機（其中交流伺服電機為目前主要的驅(qū)動形式）。由于電機速度高，通常采用減速機構(gòu)（如諧波傳動、RV擺線針輪傳動、齒輪傳動、螺旋行動和多桿式機構(gòu)等）。目前，有些機械臂已開始采用無減速機構(gòu)的大轉(zhuǎn)矩、低轉(zhuǎn)速的電機進(jìn)行直接驅(qū)動（DD），這既可以使機構(gòu)簡化，又可提高控制精度。二、按用途分⒈搬運機械臂 這種機械臂用途很廣，一般只需點位控制。即被搬運零件無嚴(yán)格的運動軌跡要求，只要求始點和終點位姿準(zhǔn)確。如機床上用的上下料器人，工件堆垛機械臂，注塑機配套用的機械等。

晶圓運送機械吸臂在半導(dǎo)體制造中具有不可替代的重要性。首先，它是保證半導(dǎo)體生產(chǎn)線高效運行的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。在半導(dǎo)體制造過程中，晶圓需要經(jīng)過多個工序的加工，如光刻、刻蝕、沉積、摻雜等，每個工序都在不同的設(shè)備上進(jìn)行。機械吸臂能夠快速、準(zhǔn)確地將晶圓在各個設(shè)備之間進(jìn)行搬運，減少了晶圓在生產(chǎn)線上的停留時間，提高了生產(chǎn)效率。如果吸臂的性能不穩(wěn)定或出現(xiàn)故障，將會導(dǎo)致生產(chǎn)線的停頓，嚴(yán)重影響生產(chǎn)進(jìn)度和產(chǎn)量。晶圓運送機械吸臂的不斷發(fā)展和創(chuàng)新是推動半導(dǎo)體制造技術(shù)進(jìn)步的重要動力之一。柔性機械臂是一個非常復(fù)雜的動力學(xué)系統(tǒng)，其動力學(xué)方程具有非線性、強耦合、實變等特點。

一種用于傳送晶圓的真空吸附機械手，其特征在于，包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道；所述吸附絕緣凸臺呈環(huán)形，所述吸附絕緣凸臺所圍成的空間構(gòu)成所述真空氣道的其中一段；位于所述吸附絕緣凸臺內(nèi)的偽絕緣凸臺，所述偽絕緣凸臺與手臂一體成型，所述真空氣道的其中一段位于所述偽絕緣凸臺內(nèi)；在垂直于所述手臂的方向上，所述吸附絕緣凸臺比所述偽絕緣凸臺突出；所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面，所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。加設(shè)定位裝置和行程檢測機構(gòu)。上海晶圓運送機械吸臂價格

一般也都裝在手臂上。所以手臂的結(jié)構(gòu)、工作范圍、承載能力和動作精度都直接影響機械手的工作性能。山東進(jìn)口晶圓運送機械吸臂價格多少

與傳統(tǒng)的SCARA型搬運機械手相比，蛙腿型機械手的傳動機構(gòu)更簡單，剛性更高，且工作效率更高。如上圖所示，蛙腿型機械手手臂為對稱雙連桿的并聯(lián)結(jié)構(gòu)，包括1對大臂和2對小臂。2個直驅(qū)電機分別通過2個同軸的旋轉(zhuǎn)軸連接大臂，大臂末端通過4個旋轉(zhuǎn)軸連接尺寸相同的2對小臂，2對小臂的末端又通過2個旋轉(zhuǎn)軸連接晶圓托盤。 該機械手雖然只有3個電機，但水平連桿卻有10個旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)，因此對整個真空機械手建立旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)坐標(biāo)與末端晶圓托盤坐標(biāo)之間的函數(shù)關(guān)系是一個復(fù)雜的過程山東進(jìn)口晶圓運送機械吸臂價格多少

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