皮拉尼真空計主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件。控制頭則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負責(zé)信號放大和信號數(shù)字化的工作。根據(jù)測量方式的不同,皮拉尼真空計可以分為定電流式和定電壓式兩種:定電流式:在這種方式中,通過加熱燈絲的電流保持恒定。當(dāng)真空壓力改變時,燈絲的溫度會發(fā)生變化,從而導(dǎo)致燈絲的電阻值發(fā)生變化。這種電阻變化可以通過惠斯通電橋來測量,并轉(zhuǎn)換為真空壓力值。定電壓式:在這種方式中,加熱燈絲上的電壓保持恒定。當(dāng)真空壓力變化時,燈絲的溫度和電阻值也會相應(yīng)變化。通過測量通過燈絲的電流變化,可以間接測量真空壓力。真空計使用過程中常見的問題有哪些?河北皮拉尼真空計生產(chǎn)企業(yè)

真空泵的工作原理真空泵通過機械或物理方式移除氣體分子。旋片泵通過旋轉(zhuǎn)葉片壓縮氣體排出;渦輪分子泵利用高速葉片撞擊氣體分子;低溫泵則通過冷卻表面吸附氣體。干泵無油污染,適合潔凈環(huán)境;擴散泵通過油蒸氣噴射帶走氣體,需配合冷阱使用。選擇泵需考慮極限真空、抽速和氣體類型。4. 真空在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用芯片制造需10?? Pa超高真空環(huán)境。光刻機通過真空避免空氣散射紫外線;離子注入在真空中加速摻雜原子;分子束外延(MBE)逐層生長晶體。真空減少雜質(zhì)污染,確保納米級精度。一臺EUV光刻機包含數(shù)十個真空腔室,真空穩(wěn)定性直接影響5nm以下制程良率。河北皮拉尼真空計生產(chǎn)企業(yè)電離真空計的校準(zhǔn)的注意事項有哪些?

選擇適合的真空計對確保測量精度和系統(tǒng)穩(wěn)定運行至關(guān)重要。以下是選擇真空計時需要考慮的關(guān)鍵因素:1. 測量范圍真空度需求:根據(jù)應(yīng)用需求選擇適合的測量范圍,如低真空、中真空、高真空或超高真空。量程匹配:確保真空計的量程覆蓋所需測量范圍。2. 精度與分辨率精度要求:選擇滿足精度要求的真空計,高精度應(yīng)用需選擇高精度型號。分辨率:確保分辨率足夠高,能檢測到微小壓力變化。3. 響應(yīng)時間快速響應(yīng):對壓力變化敏感的應(yīng)用需選擇響應(yīng)時間短的真空計。穩(wěn)定性:在快速變化環(huán)境中,選擇穩(wěn)定性好的真空計。4. 環(huán)境適應(yīng)性溫度范圍:確保真空計能在工作溫度范圍內(nèi)正常運行。耐腐蝕性:在腐蝕性氣體環(huán)境中,選擇耐腐蝕材料制成的真空計。5. 氣體類型氣體種類:不同氣體對真空計測量有影響,選擇適合測量特定氣體的真空計。氣體清潔度:在污染氣體環(huán)境中,選擇不易受污染的真空計。
1. 機械式真空計機械式真空計通過物理形變或液柱高度差來測量壓力,適用于粗真空和低真空范圍。(1)U型管壓力計原理:利用液柱(如水或汞)的高度差測量壓力。測量范圍:通常為大氣壓到約 1 Torr(133 Pa)。優(yōu)點:結(jié)構(gòu)簡單、成本低。缺點:精度較低,不適用于高真空。應(yīng)用:實驗室粗真空測量。(2)布爾登壓力計原理:利用金屬管(布爾登管)在壓力作用下的形變來測量壓力。測量范圍:大氣壓到約 10?3 Torr。優(yōu)點:結(jié)構(gòu)簡單、耐用。缺點:精度有限,不適用于高真空。應(yīng)用:工業(yè)粗真空和低真空測量。真空計的讀數(shù)可能會受到外部環(huán)境因素的影響。

應(yīng)用領(lǐng)域工業(yè)真空系統(tǒng):用于監(jiān)測真空泵和真空腔室的壓力。實驗室研究:用于各種真空實驗。真空鍍膜:確保鍍膜過程在所需真空度下進行。食品包裝:用于真空包裝機的壓力監(jiān)測。選型與使用量程選擇:根據(jù)測量需求選擇合適的量程。環(huán)境適應(yīng)性:考慮溫度、氣體種類等因素。安裝與維護:正確安裝并定期校準(zhǔn)和維護。常見問題零點漂移:定期校準(zhǔn)以減少誤差。污染影響:保持傳感器清潔,避免污染。溫度影響:注意環(huán)境溫度變化對測量的影響。總結(jié)皮拉尼真空計以其寬量程、快速響應(yīng)和低成本等優(yōu)點,在多個領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。正確選型和使用能確保其長期穩(wěn)定運行。溫度對皮拉尼真空計測量結(jié)果有何影響?無錫高質(zhì)量真空計公司
真空計使用時應(yīng)該注意什么?河北皮拉尼真空計生產(chǎn)企業(yè)
皮拉尼真空計,又有翻譯為“派藍尼真空計”,屬于熱傳導(dǎo)式真空計的一種。以下是對皮拉尼真空計的詳細介紹:一、歷史背景皮拉尼真空計由馬塞洛·皮拉尼(Marcello Stefano Pirani)于1906年發(fā)明。皮拉尼曾在從事真空燈行業(yè)的西門子和哈爾斯克公司工作,當(dāng)時需要高真空環(huán)境來制造燈絲,而生產(chǎn)環(huán)境中使用的計量器較為笨重且不便,這促使他發(fā)明了更為便捷的真空計。二、工作原理皮拉尼真空計通過加熱電阻絲至一定的工作溫度,然后監(jiān)測由于氣體粒子與電阻絲碰撞而帶走的能量,這種能量損失與電阻絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系。當(dāng)氣體分子與加熱的金屬絲碰撞時,熱量從金屬絲中傳遞出來。熱損失是氣體壓力的函數(shù),在低壓下,低氣體密度提供了低的熱導(dǎo)率。因此,提供給元件的電流變得依賴于真空壓力,從而可以通過測量的電流間接測量真空值。河北皮拉尼真空計生產(chǎn)企業(yè)