簡(jiǎn)化高真空機(jī)組，取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個(gè)優(yōu)勢(shì)。對(duì)于較大型的高真空應(yīng)用設(shè)備，也可適當(dāng)加強(qiáng)前級(jí)泵的預(yù)抽能力，進(jìn)一步縮短抽氣時(shí)間，由于預(yù)抽時(shí)間與整個(gè)排氣過(guò)程相比很短，所以前級(jí)泵的使用時(shí)間也很短，因此可以兼作多套設(shè)備的預(yù)抽作用，而這往往是非常現(xiàn)實(shí)的。這就使規(guī)模化應(yīng)用的真空機(jī)組得到的簡(jiǎn)化。在某些中真空應(yīng)用中，需要進(jìn)入10-1Pa范圍，這對(duì)羅茨泵的二級(jí)機(jī)組往往難于實(shí)現(xiàn)，而使用二級(jí)羅茨泵串接的三級(jí)機(jī)組可使真空度提高一個(gè)數(shù)量級(jí)而進(jìn)入10-1Pa，所以中真空應(yīng)用也常用三級(jí)機(jī)組。真空泵市場(chǎng)增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)力來(lái)自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。VP0435A真空泵訂做費(fèi)用

水環(huán)真空泵用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過(guò)程溫度變化很小。由于泵腔內(nèi)沒有金屬磨擦表面，無(wú)須對(duì)泵內(nèi)進(jìn)行潤(rùn)滑，而且磨損很小。轉(zhuǎn)動(dòng)件和固定件之間的密封可直接由水封來(lái)完成。吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，操作簡(jiǎn)單，維修方便。水環(huán)式真空泵的缺點(diǎn)，效率低，一般在30%左右，較好的可達(dá)50%。真空度低，這不只是因?yàn)槭艿浇Y(jié)構(gòu)上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的，故可以抽除易燃、易爆的氣體。由于沒有排氣閥及摩擦表面，故可以抽除帶塵埃的氣體、可凝性氣體和氣水混合物。有了這些突出的特點(diǎn)，盡管它效率低，仍然得到了普遍的應(yīng)用。工業(yè)水環(huán)真空泵供應(yīng)費(fèi)用真空干燥箱對(duì)于所烘的物料是有要求的，其一是不能含有大量的水，其二是不能含有有機(jī)化合物。

關(guān)于真空泵的發(fā)展，國(guó)內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快，技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過(guò)管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺(tái)氣冷式直排大氣羅茨泵，所達(dá)到的極限真空要比前級(jí)泵高一個(gè)數(shù)量級(jí)。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì)，實(shí)際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長(zhǎng)期運(yùn)行的考驗(yàn)，所以應(yīng)該在國(guó)內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。

羅茨真空泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì)，實(shí)際上也是屬于干泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡。分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。如果真空泵中的如果物料含水或者是有機(jī)溶劑，需要加液態(tài)水過(guò)濾器和冷凝器，起到一個(gè)過(guò)濾的作用。

擴(kuò)散真空泵抽速在很寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)保持不變，但在壓強(qiáng)較高或很低時(shí)，抽速下降很快。當(dāng)泵入口壓強(qiáng)很低時(shí)，氣體從前級(jí)通過(guò)射流的反擴(kuò)散會(huì)增加，同時(shí)工作油蒸汽的含氣量和泵壁放氣影響變得明顯。入口壓強(qiáng)較高時(shí)，大量氣體分子進(jìn)入射流與蒸汽分子碰撞，射流的定向速度衰減較大，增大了前級(jí)的反流，抽速降低；油擴(kuò)散泵的極限壓強(qiáng)與前級(jí)側(cè)氣體的反擴(kuò)散、泵壁溫度下泵油的飽和蒸汽壓、泵油的裂化程度、蒸汽射流的放氣量以及泵壁的放氣量等因素密切相關(guān)，當(dāng)泵的出口壓強(qiáng)小于某一出口壓強(qiáng)p2max時(shí)，泵的入口壓強(qiáng)不受出口壓強(qiáng)的影響，氣體的反擴(kuò)散對(duì)泵的極限壓強(qiáng)影響不大。油擴(kuò)散泵的較大出口壓強(qiáng)取決于一級(jí)噴嘴的工作狀態(tài)，與蒸汽射流密度、噴嘴蒸汽流量以及一級(jí)噴嘴的結(jié)構(gòu)有關(guān)。真空泵整體結(jié)構(gòu)不勻稱，泵的重心偏向電動(dòng)機(jī)和齒輪箱一側(cè)。吸氣真空泵制作報(bào)價(jià)

水環(huán)真空泵是靠泵腔容積的變化來(lái)實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的。VP0435A真空泵訂做費(fèi)用

由于真空泵的重心較高，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí)，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種泵結(jié)構(gòu)重心低，高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤(rùn)滑機(jī)構(gòu)也相對(duì)復(fù)雜。VP0435A真空泵訂做費(fèi)用

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