當真空泵中的葉輪順時針方向旋轉時，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環。水環的下部分內表面恰好與葉輪輪轂相切，水環的上部內表面剛好與葉片頂端接觸(實際上葉片在水環內有一定的插入深度)。此時葉輪輪轂與水環之間形成一個月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部0°為起點，那么葉輪在旋轉前180°時小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時氣體被吸入，當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕；當葉輪繼續旋轉時，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當小腔與排氣口相通時，氣體便被排出泵外。對于微型真空泵抽氣端阻力的大小可以用儀器測定。深圳微型真空泵

真空泵的轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可降低驅動功率，從而可實現較高轉速；泵腔內無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統的污染；泵腔內無壓縮，無排氣閥。結構簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；轉子表面為形狀較為復雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。結構，泵總體結構型式。真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。立式結構的進、排氣口水平設置，裝配和連接管路都比較方便。上海VP0645真空泵干式螺桿真空泵由于其優越的性能，在歐美目前已經成為微電子、半導體等行業選擇真空獲得設備。

歐美半導體行業45％以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。據統計，目前國產干泵的應用還不足1％，國內半導體工業用的干泵全部從國外進口，其價格十分昂貴。所以，我國應大力研究開發干泵，使干泵成為我國真空工業新的經濟增長點。

水環泵是靠泵腔容積的變化來實現吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變容式真空泵。水環真空泵由于用水或其它液體做工作液，所以其抽氣性能及真空度受工作液的溫度影響較大，如果工作液的溫度較高，真空泵的入口真空度達到液體的飽和蒸汽壓，水（液）環真空泵便會產生氣蝕現象，氣蝕的存在對泵的壽命損害比較大，主要表現為葉輪葉片的根部及排氣圓盤的排氣口附近，有規則的氣蝕沖擊孔。為了避免氣蝕的產生，可以降低工作液的溫度，或者降低真空泵的使用真空度，極限壓力為3300~5000Pa之間。真空泵整體結構不勻稱，泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側。

真空泵中的折疊羅茨泵，從國外羅茨泵生產情況來看，國外幾家大公司他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%，這5家總計才20%，羅茨泵產量不大，但國外羅茨泵羅茨泵工作原理的價格遠比國產泵要高得多。國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統，為了縮短抽氣時間、提高生產效率都配有羅茨泵，所以國產羅茨泵一定要在占領國內市場基礎上設法進入國際市場，這樣就必須進一步降低國產羅茨泵的振動噪聲，徹底解決軸封漏油問題，改進泵的外觀質量，提高泵內的光潔度和清潔度。如果真空泵中的如果物料含水或者是有機溶劑，需要加液態水過濾器和冷凝器，起到一個過濾的作用。防爆真空泵供貨費用

折疊液環泵屬于粗真空泵的一種類型。深圳微型真空泵

通常總是不加區分地把微型泵中的氣體采樣泵和微型真空泵簡單統稱為微型真空泵，但從技術角度二者是有區別的，選型時更要特別注意。簡而言之，氣體采樣泵只能帶小負載（即：泵抽氣端阻力不能太大），但價格便宜；嚴格意義上的微型真空泵可以帶大負載（抽氣端允許大阻力，甚至完全堵塞），但價格稍貴。氣體采樣泵有：PM系列（具體型號如：PM950.2、PM850.5、PM8001、PM7002、PM6503）；微型真空泵有：VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列、FM系列、FAA系列、PCF系列，這些系列下的所有規格都是真正的微型真空泵，如VM7002、VAA6005、PC3025等。深圳微型真空泵

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