干式螺桿真空泵由于其優越的性能，在歐美和日本目前已經成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業選擇獲得設備。傳動軸連接主動轉子，通過同步齒輪帶動從動轉子旋轉，在殼體上開有冷卻水通道，用來冷卻轉子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤滑，軸承和殼體內部通過密封件來密封以達到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結構類似，一般真空泵的排氣端用機械式密封件，進氣側通常用雙唇形密封件。在傳動方式上，目前通用的是直連電機，用聯軸器與轉子連接，極少數用皮帶或者傳動鏈傳動。微型真空泵的介質溫度問題。根據通過泵的介質氣體的溫度，選擇要普通型的還是要高溫型的。VP0925A真空泵供應公司

爪形真空泵為多級串聯結構，每級泵均應嚴格控制端面間隙，即四級泵需嚴格控制8個端面間隙，泵在運行時的熱膨脹及抽除粉未等時容易造成泵的故障，另外爪式泵的多級串聯的結構特性決定了其裝配的復雜性，一般人員很難達到裝配要求；因爪形真空泵為多級串聯結構，排氣通道復雜，在抽除可凝性氣體時（例如：水蒸汽，有機溶劑氣體等），在泵腔內壓縮時會產生較多的液體，這部分液體進入泵的端面造成泵的負載明顯變大，四級爪形真空泵有8個端面，不宜抽除大量可凝性氣體?；ふ婵毡枚ㄖ茝S家水環真空泵用小的結構尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。

擴散真空泵抽速在很寬的壓強范圍內保持不變，但在壓強較高或很低時，抽速下降很快。當泵入口壓強很低時，氣體從前級通過射流的反擴散會增加，同時工作油蒸汽的含氣量和泵壁放氣影響變得明顯。入口壓強較高時，大量氣體分子進入射流與蒸汽分子碰撞，射流的定向速度衰減較大，增大了前級的反流，抽速降低；油擴散泵的極限壓強與前級側氣體的反擴散、泵壁溫度下泵油的飽和蒸汽壓、泵油的裂化程度、蒸汽射流的放氣量以及泵壁的放氣量等因素密切相關，當泵的出口壓強小于某一出口壓強p2max時，泵的入口壓強不受出口壓強的影響，氣體的反擴散對泵的極限壓強影響不大。油擴散泵的較大出口壓強取決于一級噴嘴的工作狀態，與蒸汽射流密度、噴嘴蒸汽流量以及一級噴嘴的結構有關。

便攜式真空泵其工作原理同微型真空泵工作原理相同，都是電機的圓周運動，通過機械裝置使泵內部的隔膜做往復式運動，從而對固定容積的泵腔內的空氣進行壓縮、拉伸形成真空（負壓），在泵抽氣口處與外界大氣壓產生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體壓（吸）入泵腔，再從排氣口排出。正因為抽氣口處或者抽排氣口可以與外界大氣形成壓力差，同時不像大型真空泵需要潤滑油和真空泵油，不會污染工作介質，而且具有體積小巧、噪音低、免維護，可以連續24小時運轉等優點，冷凝水在多級真空泵中具有舉足輕重的作用。

羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內，再經排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態，所以，在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。 但當轉子頂部轉過排氣口邊緣，v0空間與排氣側相通時，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動時，氣體排出泵外。羅茨真空泵分為常規羅茨泵及氣冷直排大氣羅茨泵，常規羅茨泵承受的壓差小大約為3000~6000Pa，所以常規羅茨泵必須帶前級泵預抽，不能直接排大氣。氣冷羅茨泵因為增加了熱量平衡裝置可以直接排大氣，氣冷羅茨真空泵的極限壓力為13000Pa。高真空一側的真空泵能達到系統要求的真空度，而低真空一側的真空泵是直排大氣的。小型真空泵制造商

真空泵的轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可降低驅動功率。VP0925A真空泵供應公司

在真空泵選型前，我們必須弄清楚幾個基礎概念：真空，理論上是指容積里面不含有任何的物質。（現實中是不存在真正的真空的）通常把容器內氣壓低于正常大氣壓（101325 Pa）的都稱之為真空狀態。真空度表示處于真空狀態下的氣體稀簿程度，通常用壓力值來表示。實際應用中，真空度，通常有真空和相對真空兩種說法。從真空表所讀得的數值稱真空度。真空度數值是表示出系統壓強實際數值低于大氣壓強的數值，從表上表示出來的數值又稱為表壓強，業界也稱為極限相對壓強，即： 真空度=大氣壓強-壓強(大氣壓強一般取101325Pa，水環式真空泵極限壓強3300Pa；旋片式真空泵極限壓強約10Pa)。VP0925A真空泵供應公司