真空泵達到一定臨界壓力時，往往抽速會減小，這樣前級泵的排氣流量可能會小于主泵的排氣流量，這種流量的不一致破壞了流量連續性的要求，必然會引起真空機組不能正常工作。但如在高低真空泵之間再連接一臺中真空泵，便可起到承上啟下的作用，流量連續，而且各泵皆可工作在較好的狀態。羅茨泵能工作在中真空范圍，是適合的，故又稱羅茨增壓泵，由于其壓縮比不高，正好可連接幾Pa至幾百Pa的范圍。當三級高真空機組進入較高的真空度時，由于主泵的排氣流量明顯減少，此時只靠一臺較小的前級泵便可維持抽氣的連續性，在實際運用中這是經常采用的方法，這樣可減少機組的能耗。冷凝水在多級真空泵中具有舉足輕重的作用。汽車真空泵廠家直供

羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由于轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間v0內，再經排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態，所以，在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。 但當轉子頂部轉過排氣口邊緣，v0空間與排氣側相通時，由于排氣側氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動時，氣體排出泵外。羅茨真空泵分為常規羅茨泵及氣冷直排大氣羅茨泵，常規羅茨泵承受的壓差小大約為3000~6000Pa，所以常規羅茨泵必須帶前級泵預抽，不能直接排大氣。氣冷羅茨泵因為增加了熱量平衡裝置可以直接排大氣，氣冷羅茨真空泵的極限壓力為13000Pa。汽車真空泵廠家直供在真空泵中，相對壓強即所測內部壓強比“大氣壓”低多少壓強，表示出系統壓強實際數值低于大氣壓強的數值。

螺桿真空泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，它是油封式真空泵的更新換代產品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，在國內各大制藥和化工企業得到普遍應用。優點是壽命長、能耗低、無油污染。兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節能，免維修等優點。它是油封式真空泵的更新換代產品。

羅茨真空泵由于在泵腔內沒有工作介質，實際上也是屬于干泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡。分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。折疊液環泵屬于粗真空泵的一種類型。

真空泵整體結構不勻稱，泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側。折疊液環泵，雖然液環泵屬于粗真空泵，但在中國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫藥等領域仍然有著很大的市場。液環泵工作原理在國外，液環泵的銷售額占全部真空泵市場的14%，只次于干泵，由于液環泵大部分是鑄件，加工要求也不高，屬勞動密集型產品，所以國產液環泵在價格上有競爭優勢，關鍵是要改進設計，縮小體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。折疊滑閥泵，由于滑閥泵比較耐用、可靠，國內外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵。真空泵的轉子間及轉子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可降低驅動功率。汽車真空泵廠家直供

真空泵泵腔內無壓縮，無排氣閥。汽車真空泵廠家直供

擴散真空泵抽速在很寬的壓強范圍內保持不變，但在壓強較高或很低時，抽速下降很快。當泵入口壓強很低時，氣體從前級通過射流的反擴散會增加，同時工作油蒸汽的含氣量和泵壁放氣影響變得明顯。入口壓強較高時，大量氣體分子進入射流與蒸汽分子碰撞，射流的定向速度衰減較大，增大了前級的反流，抽速降低；油擴散泵的極限壓強與前級側氣體的反擴散、泵壁溫度下泵油的飽和蒸汽壓、泵油的裂化程度、蒸汽射流的放氣量以及泵壁的放氣量等因素密切相關，當泵的出口壓強小于某一出口壓強p2max時，泵的入口壓強不受出口壓強的影響，氣體的反擴散對泵的極限壓強影響不大。油擴散泵的較大出口壓強取決于一級噴嘴的工作狀態，與蒸汽射流密度、噴嘴蒸汽流量以及一級噴嘴的結構有關。汽車真空泵廠家直供