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美國Alicat 艾里卡特流量控制器MCE和MCV系列 真空應用流量控制器應用領域環保,生物產業,石油,能源,電子真空應用流量控制器的特征如下：與我們標準質量流量控制器的控制響應速度一樣快，外形包括1/4″VCR焊接接頭且能與SEMI標準MFC實現端對端的匹配連接。MCV和MCE聯系緊密，采用內置氣動截止閥，適用于高真空應用。將空氣管線連接到截止閥上，防止在設定點為零時出現污染情況。多功能。監控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。真空應用流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。MC-1SLPM-D MC-2SLPM-D MC-5SLPM-D MC-10SLPM-D MC-20SLPM-D流量控制器MCP-10SLPM-D MCP-20SLPM-D MCP-50SLPM-D。

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性能可用量程：大0-5000slpm；小0-0.5sccm/0-500sμlm（欲了解常備量程，參見零件編號標簽）可調比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數+0.2%滿量程）高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數+0.2%滿量程）可重復性：0.2%滿量程標準質量流量控制器響應時間常數：50-100ms（若有PID調節功能，可縮短至25ms）無需預熱時間工作條件兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體工作溫度：-10°C至+60°C大內部壓力（靜態）：145psig（160psia）耐受壓力：175psig（190psia）包裝清單MC系列氣體質量流量控制器（電源需另行訂購）NIST可溯源校準證書艾里卡特操作說明書 美國液體流量控制器中國總代理

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