可靠的測控系統1溫度控制裝置：進口溫控器，內置PID自動整定，斜率設定功能2溫度控制方式為SSR固態繼電器功率調整輸出，溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3溫度監控裝置：采用六通道巡回檢測有紙記錄儀，可將烤箱內實時環境溫度進行檢測打印。完善的控制系統，及安全防護措施1操作控制系統，采用精密電子儀器儀表結合電力拖動系統控制，更快速，更穩定。2防護措施：緊急停止，超溫保護,斷線報警，相序保護，過載保護，短路保護，漏電保護，及電磁門禁保護等合肥真萍告訴您使用工業烤箱的便捷性。做工業烤箱溫度不均勻

HMDS真空烤箱整機尺寸、真空腔體尺寸：1.內膽尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架：2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍：溫度分辨率：0.1℃溫度波動度：±0.5℃4.真空泵：油泵或無油真空泵。真空度：133pa，5.加熱方式：腔體下部及兩側加溫。加熱器為外置加熱板（防止一側加熱使的HMDS液進入箱體內不能完本轉成氣態）6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片；6寸晶圓片；8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設定來降低process時間（正常工藝在50分鐘-120分鐘（按產品所需而定烘烤時間），為正常工作周期不含降溫時間（因降溫時間為常規降溫）。做工業烤箱溫度不均勻選用定制工業烤箱有哪些好處呢？合肥真萍科技為您介紹。

下面為大家簡單介紹一下潔凈烘箱箱體結構：1烘箱總體由箱體部分，電氣控制柜部分，電加熱部分，風道部分，塵埃物過濾部分，N2進氣排氣及風冷部分等組裝而成，結構合理，功能實用。2外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵，內膽材料：采用進口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經堿性蘇打水清潔有效的防止了機臺本身灰塵的產生。3保溫材料：采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級高密度保溫板填充，防止了熱能浪費。4電熱部分：采用覆套式電熱器（SHEATHEDHEATER）無塵無氧化電熱發生器5風道部分:整體結構采用了水平送風的方式由左向右送風后經美國進口H.E.P.A,(特殊風道設計)過濾效果可達99.99%,Class100；可靠的測控系統1溫度控制裝置：進口溫控器，內置PID自動整定，斜率設定功能2溫度控制方式為SSR固態繼電器功率調整輸出，溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3溫度監控裝置：采用六通道巡回檢測有紙記錄儀，可將烤箱內實時環境溫度進行檢測打印。

通過數顯儀表與溫感器的連接來控制溫度,采用熱風循環送風方式，熱風循環系統分為水平式和垂直式。均經精確計算，風源是由送風馬達運轉帶動風輪經由電熱器，將熱風送至風道后進入烘箱工作室，且將使用后的空氣吸入風道成為風源再度循環加熱運用，如此可有效提高溫度均勻性。如箱門使用中被開關，可借此送風循環系統迅速恢復操作狀態溫度值。工業烤箱的熱風循環系統由送風馬達、風輪和電熱器組成，送風馬達帶動風輪送出冷風，冷風經過電熱設備加熱攜帶熱能后經風道進入工業烤箱的烘箱工作室。真萍科技是具有設計、制造、銷售及售后服務能力的綜合性企業。

下面為大家介紹一下石墨盤烤盤爐一.產品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體，爐內抽真空，被處理工件放置在爐膛內，采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達到有效清潔處理，提高制品質量的目的。二、設計特點1、后門設計熱風電機2、降溫時風機開啟，同時兩端降溫封頭開啟，爐膛內產生如圖所示的氣體流向3、通過氣體介質將隔熱層內與水冷壁之間進行熱交換，達到快速降溫的目的三、技術指標1、使用溫度：1450℃；比較高溫度：1500℃；2、絕熱材料：石墨纖維毯、石墨紙；4、加熱元件：石墨加熱棒；5、冷卻方式：氣冷+循環風冷降溫；6、控溫穩定度：2℃，具有PID參數自整定功能；7、爐膛溫度均勻度：5℃（恒溫1500℃）；8、氣氛:可向爐膛內通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%；9、極限真空:10-3torr級；10、抽氣速率：空載下，30min達到10-2torr11、升溫功率：170kW；12、升溫速率：15℃/min（空載）；13、降溫速率：1450℃至80℃,240分鐘14、腔體尺寸：1000*1000*1000mm（寬*深*高）合肥真萍科技為您提供工業烤箱的詳細介紹。淮安工業烤箱門把手

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HMDS真空烤箱主要技術指標：1.機外殼采用冷扎鋼板噴塑處理，內膽為不銹鋼316L材料制成；加熱器均勻分布在內膽外壁四周，內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內物體一目了然。2.箱門閉合松緊能調節，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內高真空度。3.微電腦智能控溫儀，具有設定，測定溫度雙數字顯示和PID自整定功能，控溫精確，可靠。4.智能化觸摸屏控制系統配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序，溫度，真空度及每一程序時間。5.HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個系統采用優良材料制造，無發塵材料，適用100級光刻間凈化環境。6HMDS管路加熱功能，使HMDS液體進入箱體的前端管路加熱，使轉為HMDS氣態時更易。7.低液報警裝置，采用紅外液體感測器，能及時靈敏給出指令（當HMDS液過低時發出報警及及時切斷工作起動功能）8.溫度與PLC聯動保護功能（當PLC沒有啟動程序時，加溫功能啟動不了，相反加溫功能啟動時，PLC程序不按正常走時也及時切斷工作功能，發出警報）9.整個箱體及HMDS氣體管路采用SUS316不銹鋼材料，整體使用無縫焊接（避免拼接導致HMDS液體腐蝕外泄對人體的傷害）做工業烤箱溫度不均勻

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