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晶圓超聲掃描檢測(cè)前，對(duì)水質(zhì)有哪些要求？

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杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司2025-09-13

檢測(cè)用水需為干凈去離子水，電阻率應(yīng)≥1MΩ·cm，以減少水中雜質(zhì)對(duì)超聲波信號(hào)的干擾；水質(zhì)需定期檢測(cè)（如每周一次），避免因離子濃度升高導(dǎo)致檢測(cè)結(jié)果偏差。

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杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
簡(jiǎn)介：杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司是一家專業(yè)從事半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的科技型企業(yè)。
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    杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 2025-09-16

    去離子水需滿足以下條件：pH值6.5-7.5（中性環(huán)境避免腐蝕晶圓）、溶解氧含量<1ppm（防止氣泡產(chǎn)生）、微生物含量<10CFU/mL（避免生物污染）；水質(zhì)更換周期需根據(jù)使用頻率調(diào)整（如每日檢測(cè)需每8小時(shí)更換一次）。

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    杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 2025-09-19

    水質(zhì)管理關(guān)鍵點(diǎn)包括：使用專門(mén)儲(chǔ)水罐（避免交叉污染）、安裝在線過(guò)濾系統(tǒng)（實(shí)時(shí)去除顆粒物）、定期清洗水槽（防止藻類生長(zhǎng)）；若檢測(cè)高精度晶圓（如12英寸），需采用超純水（電阻率≥18MΩ·cm）。

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杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

聯(lián)系人： 吳先生

手   機(jī)： 4008034068

網(wǎng)   址： https://www.xjy-tec.com

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浙江省杭州市市轄區(qū)良渚街道網(wǎng)周路99號(hào)4幢21層2103室
水浸式超聲掃描儀
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