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新巴頓（上海）軸承銷售有限公司2025-06-10
我們始終以科學嚴謹的態度對待軸承在腐蝕性氣體環境中的耐蝕性能設計。以下從材料體系、表面工程、密封技術及應用驗證四個維度，客觀闡述我司軸承的耐蝕特性：
一、耐腐蝕材料體系的科學構建
針對半導體刻蝕、化工等典型腐蝕性氣體環境（如 HCl、Cl?、NF?等），巴頓軸承構建了多層次材料解決方案：
基礎材質選擇
不銹鋼系列：采用真空熔煉的 17-4PH 沉淀硬化不銹鋼（耐蝕性優于 316L）和 AISI 440C 馬氏體不銹鋼（含鉻量 17-19%），其在 5% NaCl 鹽霧測試中腐蝕速率≤0.05mm/a（ISO 12944 標準 1 級完全耐蝕）。例如，VCMP 系列軸承在模擬 HCl 氣體環境（濃度 10ppm，溫度 80℃）中連續運行 1000 小時后，表面未出現點蝕或氧化跡象。
陶瓷材料：氮化硅（Si?N?）陶瓷軸承的化學惰性明顯優于金屬，在含氟等離子體環境中，其腐蝕速率比鋼制軸承降低 90% 以上。VCMP-210 型號采用全陶瓷結構，已通過 SEMI F47-0706 標準的酸性氣體兼容性測試。
高分子材料集成
保持架采用聚醚醚酮（PEEK）或聚四氟乙烯（PTFE），其耐酸堿性優于傳統尼龍材料。例如，VCL-1005 型號的 PTFE 保持架在 pH=2 的鹽酸溶液中浸泡 72 小時后，質量損失率＜0.1%。
密封件選用全氟醚橡膠（FFKM），可耐受 - 200℃至 327℃的極端溫度，并對 Cl?、SO?等氣體具有優異的化學穩定性。
二、表面工程技術的深度應用
耐腐蝕涂層體系
DLC 類金剛石涂層：厚度 2-3μm 的 DLC 涂層硬度達 2000HV 以上，在模擬 Cl?氣體環境中，其摩擦系數比未涂層軸承降低 40%，且涂層附著力＞50N（ASTM D3359 標準）。
MoS?固體潤滑涂層：在真空泵軸承中，MoS?涂層可在無油環境下提供自潤滑，同時在含硫氣體中形成鈍化膜，抑制腐蝕反應。
鈍化與鍍膜工藝
軸承表面經鈍化處理后，在 3% H?SO?溶液中的腐蝕電流密度從 1.2μA/cm2 降至 0.3μA/cm2（ASTM G59 標準）。部分型號還采用離子鍍鎳技術，鍍層厚度控制在 5-10μm，鹽霧測試壽命延長至 1000 小時以上。
本回答由 新巴頓（上海）軸承銷售有限公司 提供
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密封與潤滑系統的協同防護 多重密封結構 采用內側 PTFE 唇形密封 + 外側迷宮式密封的組合設計，在 0.1MPa 壓差下，可有效阻隔 Cl?氣體的侵入。實測數據顯示，該結構在含 Cl?（濃度 50ppm）的環境中運行 6 個月后，軸承內部潤滑劑的酸值變化＜0.5mgKOH/g。 部分高級型號集成正壓保護系統，通過引入干燥氮氣（**≤-40℃），在軸承外部形成氣幕，阻止腐蝕性氣體接觸金屬表面。 抗腐蝕潤滑方案 全氟聚醚（PFPE）油脂的飽和蒸氣壓≤10?? Pa，且在強酸環境中不發生皂化反應。例如，Fomblin Z 系列油脂在 pH=1 的硝酸溶液中浸泡 30 天后，粘度變化率＜5%。 對于極端腐蝕環境，可采用無油自潤滑設計，通過陶瓷材料的低摩擦特性（摩擦系數≤0.002）減少潤滑需求，避免潤滑劑與腐蝕性氣體反應。 四、行業驗證與維護策略 第三方認證與測試 部分型號通過 NACE TM0177 標準的酸性氣體腐蝕測試，在 H?S（500ppm）+CO?（10%）環境中，腐蝕速率≤0.01mm/a。 應用于中微公司刻蝕設備的軸承，在模擬 10?? Pa 真空、含 Cl?（濃度 20ppm）的環境中，以 30,000 轉 / 分鐘運行超過 2000 小時，顆粒釋放量仍≤0.1 個 /m3（≥0.3μm）。 全生命周期維護建議 環境監測：建議每季度對軸承表面進行 X 射線光電子能譜（XPS）分析，監測腐蝕產物成分變化； 維護周期：在強酸環境中，建議每 3 個月檢查密封完整性，每 6 個月更換潤滑劑； 報廢處理：軸承退役時需進行化學脫附處理，確保殘留腐蝕性氣體濃度＜1ppm，避免二次污染。 客觀聲明與技術支持 作為設備供應商，我們始終堅持數據透明化原則： 所有腐蝕測試報告（包括鹽霧測試、酸性氣體暴露測試）均可通過新巴頓（上海）軸承銷售有限公司（電話：13331827888）獲取，主要參數包含腐蝕速率、涂層附著力、潤滑脂酸值變化曲線等； 對于含 HF 等強腐蝕性氣體的極端環境，建議聯合我司技術團隊進行定制化方案驗證，包括材料兼容性測試、密封結構優化等。
新巴頓（上海）軸承銷售有限公司
聯系人： 周先生
手 機： 13331827888
