晶圓切割是半導(dǎo)體封裝的中心環(huán)節(jié)，傳統(tǒng)刀片切割通過(guò)金剛石砂輪實(shí)現(xiàn)材料分離。中清航科研發(fā)的超薄刀片（厚度15-20μm）結(jié)合主動(dòng)冷卻系統(tǒng)，將切割道寬度壓縮至30μm以內(nèi)，崩邊控制在5μm以下。我們的高剛性主軸技術(shù)可適配8/12英寸晶圓，切割速度提升40%，為L(zhǎng)ED、MEMS器件提供經(jīng)濟(jì)高效的解決方案。針對(duì)超薄晶圓（<50μm）易碎裂難題，中清航科激光隱形切割系統(tǒng)采用紅外脈沖激光在晶圓內(nèi)部形成改性層，通過(guò)擴(kuò)張膜實(shí)現(xiàn)無(wú)應(yīng)力分離。該技術(shù)消除機(jī)械切割導(dǎo)致的微裂紋，良率提升至99.3%，尤其適用于存儲(chǔ)芯片、CIS等器件，助力客戶降低材料損耗成本。中清航科切割機(jī)遠(yuǎn)程診斷系統(tǒng)，故障排除時(shí)間縮短70%。金華12英寸半導(dǎo)體晶圓切割

隨著半導(dǎo)體市場(chǎng)需求的快速變化，產(chǎn)品迭代周期不斷縮短，這對(duì)晶圓切割的快速響應(yīng)能力提出更高要求。中清航科建立了快速工藝開(kāi)發(fā)團(tuán)隊(duì)，承諾在收到客戶新樣品后72小時(shí)內(nèi)完成切割工藝驗(yàn)證，并提供工藝報(bào)告與樣品測(cè)試數(shù)據(jù)，幫助客戶加速新產(chǎn)品研發(fā)進(jìn)程，搶占市場(chǎng)先機(jī)。晶圓切割設(shè)備的操作安全性至關(guān)重要，中清航科嚴(yán)格遵循SEMIS2安全標(biāo)準(zhǔn)，在設(shè)備設(shè)計(jì)中融入多重安全保護(hù)機(jī)制。包括激光安全聯(lián)鎖、急停按鈕、防護(hù)門(mén)檢測(cè)、過(guò)載保護(hù)等，同時(shí)配備安全警示系統(tǒng)，實(shí)時(shí)顯示設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)與潛在風(fēng)險(xiǎn)，確保操作人員的人身安全與設(shè)備的安全運(yùn)行。湖州碳化硅晶圓切割寬度中清航科推出切割廢料回收服務(wù)，晶圓利用率提升至99.1%。

當(dāng)晶圓切割面臨復(fù)雜圖形切割需求時(shí)，中清航科的矢量切割技術(shù)展現(xiàn)出獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。該技術(shù)可精確識(shí)別任意復(fù)雜切割路徑，包括圓弧、曲線及異形圖案，通過(guò)分段速度調(diào)節(jié)確保每一段切割的平滑過(guò)渡，切割軌跡誤差控制在2μm以內(nèi)。目前已成功應(yīng)用于光電子芯片的精密切割，為AR/VR設(shè)備中心器件生產(chǎn)提供有力支持。半導(dǎo)體生產(chǎn)車間的設(shè)備協(xié)同運(yùn)作對(duì)通信兼容性要求極高，中清航科的晶圓切割設(shè)備多方面支持OPCUA通信協(xié)議，可與主流MES系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)交互。通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)化數(shù)據(jù)接口，將切割進(jìn)度、設(shè)備狀態(tài)、質(zhì)量數(shù)據(jù)等信息實(shí)時(shí)上傳至管理平臺(tái)，助力客戶實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過(guò)程的數(shù)字化管控與智能決策。

晶圓切割過(guò)程中產(chǎn)生的應(yīng)力可能導(dǎo)致芯片可靠性下降，中清航科通過(guò)有限元分析軟件模擬切割應(yīng)力分布，優(yōu)化激光掃描路徑與能量輸出模式，使切割后的晶圓殘余應(yīng)力降低40%。經(jīng)第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)驗(yàn)證，采用該工藝的芯片在溫度循環(huán)測(cè)試中表現(xiàn)優(yōu)異，可靠性提升25%，特別適用于航天航空等應(yīng)用領(lǐng)域。為幫助客戶快速掌握先進(jìn)切割技術(shù)，中清航科建立了完善的培訓(xùn)體系。其位于總部的實(shí)訓(xùn)基地配備全套切割設(shè)備與教學(xué)系統(tǒng)，可為客戶提供理論培訓(xùn)、實(shí)操演練與工藝調(diào)試指導(dǎo)，培訓(xùn)內(nèi)容涵蓋設(shè)備操作、日常維護(hù)、工藝優(yōu)化等方面，確保客戶團(tuán)隊(duì)能在短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)設(shè)備的高效運(yùn)轉(zhuǎn)。切割冷卻液在線凈化裝置中清航科研發(fā)，雜質(zhì)濃度自動(dòng)控制＜1ppm。

在晶圓切割設(shè)備的自動(dòng)化升級(jí)浪潮中，中清航科走在行業(yè)前列。其新推出的智能切割單元，可與前端光刻設(shè)備、后端封裝設(shè)備實(shí)現(xiàn)無(wú)縫對(duì)接，通過(guò)SECS/GEM協(xié)議完成數(shù)據(jù)交互，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體生產(chǎn)全流程的自動(dòng)化閉環(huán)。該單元還具備自我診斷功能，能提前預(yù)警潛在故障，將非計(jì)劃停機(jī)時(shí)間減少60%，為大規(guī)模生產(chǎn)提供堅(jiān)實(shí)保障。對(duì)于小尺寸晶圓的切割，傳統(tǒng)設(shè)備往往面臨定位難、效率低的問(wèn)題。中清航科專門(mén)設(shè)計(jì)了針對(duì)2-6英寸小晶圓的切割工作站，采用多工位旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)，可同時(shí)處理8片小晶圓，切割效率較單工位設(shè)備提升4倍。配合特制的彈性吸盤(pán)，能有效避免小晶圓吸附時(shí)的損傷，特別適合MEMS傳感器、射頻芯片等小批量高精度產(chǎn)品的生產(chǎn)。12英寸晶圓切割中清航科解決方案突破產(chǎn)能瓶頸，良率99.3%。紹興碳化硅晶圓切割劃片

切割粉塵回收模塊中清航科集成，重金屬污染減排90%以上。金華12英寸半導(dǎo)體晶圓切割

隨著芯片輕薄化趨勢(shì)，中清航科DBG（先切割后研磨）與SDBG（半切割后研磨）設(shè)備采用漸進(jìn)式壓力控制技術(shù)，切割階段只切入晶圓1/3厚度，經(jīng)背面研磨后自動(dòng)分離。該方案將100μm以下晶圓碎片率降至0.01%，已應(yīng)用于5G射頻模塊量產(chǎn)線。冷卻液純度直接影響切割良率。中清航科納米級(jí)過(guò)濾系統(tǒng)可去除99.99%的0.1μm顆粒，配合自主研發(fā)的抗靜電添加劑，減少硅屑附著造成的短路風(fēng)險(xiǎn)。智能溫控模塊維持液體粘度穩(wěn)定，延長(zhǎng)刀片壽命200小時(shí)以上呢。金華12英寸半導(dǎo)體晶圓切割