針對晶圓切割過程中的靜電防護問題,中清航科的設備采用全流程防靜電設計。從晶圓上料的導電吸盤到切割區域的離子風扇,再到下料區的防靜電輸送軌道,形成完整的靜電防護體系,將設備表面靜電電壓控制在50V以下,有效避免靜電對敏感芯片造成的潛在損傷。中清航科的晶圓切割設備具備強大的數據分析能力,內置數據挖掘模塊可對歷史切割數據進行深度分析,識別影響切割質量的關鍵因素,如環境溫度波動、晶圓批次差異等,并自動生成工藝優化建議。通過持續的數據積累與分析,幫助客戶不斷提升切割工藝水平,實現持續改進。中清航科推出切割廢料回收服務,晶圓利用率提升至99.1%。藍寶石晶圓切割測試

針對小批量多品種的研發型生產需求,中清航科提供柔性化切割解決方案。其模塊化設計的切割設備可在30分鐘內完成不同規格晶圓的換型調整,配合云端工藝數據庫,存儲超過1000種標準工藝參數,工程師可快速調用并微調,大幅縮短新產品導入周期,為科研機構與初創企業提供靈活高效的加工支持。晶圓切割后的檢測環節直接關系到后續封裝的質量。中清航科將AI視覺檢測技術與切割設備深度融合,通過深度學習算法自動識別切割面的微裂紋、缺口等缺陷,檢測精度達0.5μm,檢測速度提升至每秒300個Die,實現切割與檢測的一體化流程,避免不良品流入下道工序造成的浪費。宿遷砷化鎵晶圓切割劃片中清航科納米涂層刀片壽命延長3倍,單刀切割達500片。

針對晶圓切割后的表面清潔度要求,中清航科在設備中集成了在線等離子清洗模塊。切割完成后立即對晶圓表面進行等離子處理,去除殘留的切割碎屑與有機污染物,清潔度達到Class10標準。該模塊可與切割流程無縫銜接,減少晶圓轉移過程中的二次污染風險。中清航科注重晶圓切割設備的人性化設計,操作界面采用直觀的圖形化布局,支持多語言切換與自定義快捷鍵設置。設備配備可調節高度的操作面板與符合人體工學的扶手設計,減少操作人員長時間工作的疲勞感,同時提供聲光報警與故障提示,使操作更便捷高效。
8英寸晶圓在功率半導體、MEMS等領域仍占據重要市場份額,中清航科針對這類成熟制程開發的切割設備,兼顧效率與性價比。設備采用雙主軸并行切割設計,每小時可加工40片8英寸晶圓,且通過優化機械結構降低振動噪聲至65分貝以下,為車間創造更友好的工作環境,深受中小半導體企業的青睞。晶圓切割工藝的數字化轉型是智能制造的重要組成部分。中清航科的切割設備內置工業物聯網模塊,可實時采集切割壓力、溫度、速度等100余項工藝參數,通過邊緣計算節點進行實時分析,生成工藝優化建議。客戶可通過云端平臺查看生產報表與趨勢分析,實現基于數據的精細化管理。12英寸晶圓切割中清航科解決方案突破產能瓶頸,良率99.3%。

中清航科在切割頭集成聲波傳感器,通過頻譜分析實時識別崩邊、裂紋等缺陷(靈敏度1μm)。異常事件觸發自動停機,避免批量損失,每年減少廢片成本$2.5M。為提升CIS有效感光面積,中清航科將切割道壓縮至8μm:激光隱形切割(SD)配合智能擴膜系統,崩邊<3μm,使1/1.28英寸傳感器邊框縮減40%,暗電流降低至0.12nA/cm2。中清航科金剛石刀片再生技術:通過等離子體刻蝕去除表層磨損層,重新鍍覆納米金剛石顆粒。再生刀片壽命達新品90%,成本降低65%,已服務全球1200家客戶。晶圓切割粉塵控制選中清航科靜電吸附系統,潔凈度達標Class1。溫州碳化硅半導體晶圓切割劃片
中清航科定制刀輪應對超薄晶圓切割,碎片率降至0.1%以下。藍寶石晶圓切割測試
通過拉曼光譜掃描切割道,中清航科提供殘余應力分布云圖(分辨率5μm),并推薦退火工藝參數。幫助客戶將芯片翹曲風險降低70%,服務已用于10家頭部IDM企業。中清航科技術結合機械切割速度與激光切割精度:對硬質區采用刀切,對脆弱區域切換激光加工。動態切換時間<0.1秒,兼容復雜芯片結構,加工成本降低28%。舊設備切割精度不足?中清航科提供主軸/視覺/控制系統三大模塊升級包。更換高剛性主軸(跳動<0.5μm)+12MP智能相機,精度從±10μm提升至±2μm,改造成本只為新機30%。藍寶石晶圓切割測試