濾光膜由分層介質構成，其工作原理基于光波在介電質或金屬膜層界面處的反射、透射特性調整。通過鍍膜或涂布工藝在基板上形成特定膜層組合，實現對不同波長光的篩選或衰減，達到光譜分割、強度調控等目的 [2]。濾光膜通常依據以下方式分類：1.光譜波段：包括紫外濾光膜、可見光濾光膜及紅外濾光膜 [1]，對應不同電磁波范圍。2.光譜特性：帶通濾光膜*允許特定波段光穿透，截止濾光膜分為短波通（透短波濾長波）與長波通（透長波濾短波） [1]，分光型則實現光譜能量比例分割。3.膜層材料：硬膜濾光膜具備高激光損傷閾值，適用于激光系統；軟膜濾光膜多用于生化分析儀等非**度環境 [1]。薄膜的光學性質、力學性質以及其他有關性質的研究;江蘇品牌光學膜按需定制

圖19.12示出裝配在高真空鍍膜機基板上的硬件布局。兩個電子槍源位于基板兩邊，周圍是環形罩并被擋板覆蓋。離子源位于中間，光控窗口在離子源的前方。圖19.13示出真空室的頂部，真空室里有含6個圓形夾具的行星系統。夾具用于放置被鍍膜的光學元件。使用行星系統是保證被蒸發材料在夾具區域內均勻分布的優先方法。夾具繞公共軸旋轉，同時繞其自身軸旋轉。光控和晶控處于行星驅動機械裝置的中部，驅動軸遮擋晶控。背面的大開口通向附加的高真空泵。基底加熱系統由4個石英燈組成，真空室的兩邊各兩個。江蘇品牌光學膜按需定制例如采用減反射膜后可使復雜的光學鏡頭的光通量損失成十倍地減??；

濾光膜屬于光學薄膜的一種，其主要功能是過濾掉光譜中不需要的特定成分，常用于各類濾光片制造 [1-2]。根據光譜波段可分為紫外、可見及紅外濾光膜；按光譜特性分為帶通、截止及分光型。帶通濾光膜允許選定波段的光通過，截止型則分為短波通或長波通。膜層材料上，硬膜濾光片多用于激光系統，而軟膜則廣泛應用于生化分析儀 [1]。作為光學膜技術的重要分支，濾光膜通過分層介質結構改變光波傳遞特性，廣泛應用于精密光學設備、顯示器及電子產品中

帶通濾光片只允許光譜帶中的一段通過，而其他部分全部被濾掉,按照它們結構的不同可分為法布里-珀羅型濾光片、多腔濾光片和誘增透濾光片。法布里－珀羅型濾光片的結構與法－珀標準具（見法布里－珀**涉儀）相同，因為由它獲得的透過光譜帶都比較窄，所以又叫窄帶干涉濾光片。這種濾光片的透過率對薄膜的損耗非常敏感，所以制備透過率很高、半寬度又很窄的濾光片是很困難的。多腔濾光片又叫矩形濾光片，它可以做窄帶帶通濾光片，又可以做寬帶帶通濾光片，制備波區較寬，透過率高，波紋小的多腔濾光片同樣是困難的棱鏡型偏振膜利用布儒斯特角入射時界面的偏振效應（見光在分界面上的折射和反射）。

熱電阻式、電子槍式和濺射方式。**普通的方式為熱電阻式，是將蒸鍍材料在真空蒸鍍機內置於電阻絲或片上，在高真空的情況下，加熱使材料成為蒸氣，直接鍍於鏡片上。由於有許多高熔點的材料，不易使用此種方式使之熔化、蒸鍍。而以電子槍改進此缺點，其方法是以高壓電子束直接打擊材料，由於能量集中可以蒸鍍高熔點的材料。另一方式為濺射方式，是以高壓使惰性氣體離子化，打擊材料使之直接濺射至鏡片，以此方式所作薄漠的附著力比較好具有以上結構的膜系稱為對稱周期膜系。如東品牌光學膜批量定制

光學保護膜沉積在金屬或其他軟性易侵蝕材料或薄膜表面，用以增加其強度或穩定性，改進光學性質。江蘇品牌光學膜按需定制

需要指出的是，金屬電介質反射膜增加了某一波長（或者某一波區）的反射率，卻破壞了金屬膜中性反射的特點。全電介質反射膜是建立在多光束干涉基礎上的。與增透膜相反，在光學表面上鍍一層折射率高于基體材料的薄膜，就可以增加光學表面的反射率。**簡單的多層反射膜是由高、低折射率的二種材料交替蒸鍍而成的,每層膜的光學厚度為某一波長的四分之一。在這種條件下，參加疊加的各界面上的反射光矢量，振動方向相同。合成振幅隨著薄膜層數的增加而增加。圖2給出這種反射膜的反射率隨著層數而變化的情形。江蘇品牌光學膜按需定制

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