中源綠凈深耕半導(dǎo)體行業(yè)需求,其 FFU 與潔凈度聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)專為半導(dǎo)體車間設(shè)計(jì),支持從晶圓制造、光刻、蝕刻到封裝測試的全流程 FFU 聯(lián)動(dòng),可捕捉 0.1μm 以下微粒濃度變化,聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié) FFU 風(fēng)速,確保生產(chǎn)環(huán)境符合 ISO 1-3 級(jí)潔凈要求。系統(tǒng)具備抗靜電、抗電磁干擾、抗光刻光源干擾設(shè)計(jì),可在半導(dǎo)體車間的高頻電磁場、紫外光環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行,聯(lián)動(dòng)數(shù)據(jù)不受干擾。在晶圓制造車間的光刻工序,系統(tǒng)可通過 FFU 高精度聯(lián)動(dòng),維持 0.1μm 微粒濃度≤10 粒 / 升,避免微粒導(dǎo)致的電路缺陷;在封裝測試車間,系統(tǒng)可根據(jù)芯片測試區(qū)域的潔凈度數(shù)據(jù),動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié) FFU 運(yùn)行狀態(tài),確保測試精度。適用場景包括半導(dǎo)體晶圓廠、芯片封裝測試車間、LCD/OLED 面板制造車間等,系統(tǒng)支持與 FAB 管理系統(tǒng)對(duì)接,實(shí)現(xiàn) FFU 聯(lián)動(dòng)數(shù)據(jù)與生產(chǎn)設(shè)備的協(xié)同控制,當(dāng)潔凈度異常時(shí),可同步暫停光刻、封裝等設(shè)備,減少不合格產(chǎn)品產(chǎn)生,同時(shí)具備遠(yuǎn)程校準(zhǔn)功能,可通過網(wǎng)絡(luò)連接標(biāo)準(zhǔn)粒子發(fā)生器,對(duì)聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)進(jìn)行遠(yuǎn)程校準(zhǔn),減少人員進(jìn)入高潔凈等級(jí)車間的次數(shù),降低環(huán)境干擾。?中源綠凈為 45 + 醫(yī)療器械研發(fā)室打造模塊化潔凈室,符合 ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn),研發(fā)效率提升!深圳十萬級(jí)潔凈室測試國家標(biāo)準(zhǔn)

中源綠凈模塊化潔凈室采用輕量化設(shè)計(jì),主體結(jié)構(gòu)選用度鋁型材與輕質(zhì)潔凈板材,在保證結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性的同時(shí)大幅降低自重,減少對(duì)廠房地面的承重要求。相比傳統(tǒng)鋼結(jié)構(gòu)潔凈室,模塊化潔凈室的重量降低 40% 以上,特別適合老舊廠房改造或樓層車間使用。某電子企業(yè)在三樓車間建設(shè)潔凈室時(shí),通過輕量化模塊化設(shè)計(jì),無需對(duì)樓板進(jìn)行加固處理,節(jié)省了大量改造費(fèi)用與時(shí)間。自支撐鋁型材框架在 6 米跨度內(nèi)無需立柱支撐,既降低了結(jié)構(gòu)重量,又增加了內(nèi)部空間利用率。輕量化結(jié)構(gòu)還降低了運(yùn)輸成本與安裝難度,使模塊運(yùn)輸更加便捷,現(xiàn)場吊裝作業(yè)更安全高效。在租賃廠房的企業(yè)中,輕量化潔凈室對(duì)原有建筑結(jié)構(gòu)影響小,租賃結(jié)束后拆除方便,不會(huì)對(duì)廠房造成損壞。某食品企業(yè)在租賃的標(biāo)準(zhǔn)廠房內(nèi)建設(shè)潔凈室,采用輕量化模塊化設(shè)計(jì),不快速完成安裝,還滿足了房東對(duì)廠房結(jié)構(gòu)保護(hù)的要求,實(shí)現(xiàn)了雙方共贏深圳千級(jí)潔凈室顆粒物中源綠凈為 35 + 食品凍干車間打造模塊化潔凈室,凍干效率提升 10%,產(chǎn)品品質(zhì)更優(yōu)!

中源綠凈智能潔凈室物聯(lián)網(wǎng)平臺(tái),構(gòu)建了 “異常報(bào)警 - 原因追溯 - 處理執(zhí)行 - 效果驗(yàn)證” 的潔凈度異常事件閉環(huán)管理流程,平臺(tái)可自動(dòng)記錄異常事件從觸發(fā)到解決的全流程數(shù)據(jù),事件處理完成率統(tǒng)計(jì)精度達(dá) 100%,處理時(shí)效較傳統(tǒng)人工管理提升 40% 以上。在藥廠生產(chǎn)中,潔凈度異常事件若處理不及時(shí)或流程不規(guī)范,可能導(dǎo)致問題重復(fù)出現(xiàn) —— 某藥廠曾因潔凈度超標(biāo)事件未徹底追溯根源,1 個(gè)月內(nèi)同一車間連續(xù)發(fā)生 3 次類似問題,造成 2 批次藥品返工。該平臺(tái)在異常事件觸發(fā)后,會(huì)自動(dòng)關(guān)聯(lián)該區(qū)域歷史監(jiān)測數(shù)據(jù)(近 72 小時(shí)粒子濃度、溫濕度變化)、生產(chǎn)活動(dòng)記錄(物料轉(zhuǎn)運(yùn)、設(shè)備維護(hù)時(shí)間),為管理人員提供原因排查方向,例如當(dāng)某制粒間粒子濃度超標(biāo)時(shí),平臺(tái)提示可能與 2 小時(shí)前的設(shè)備清潔操作相關(guān)。管理人員處理完成后,需在平臺(tái)上傳處理方案(如重新清潔設(shè)備、更換濾網(wǎng))與驗(yàn)證數(shù)據(jù)(處理后 1 小時(shí)內(nèi)的潔凈度監(jiān)測結(jié)果),平臺(tái)生成閉環(huán)管理報(bào)告
中源綠凈針對(duì)局部管控需求優(yōu)化設(shè)計(jì),其 FFU 與潔凈度聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)單區(qū)域聯(lián)動(dòng),通過在關(guān)鍵工位、設(shè)備周邊部署監(jiān)測點(diǎn)與 FFU,形成 “點(diǎn)對(duì)點(diǎn)” 管控單元,對(duì)該區(qū)域潔凈度變化做出響應(yīng),避免整體調(diào)節(jié)導(dǎo)致的資源浪費(fèi)。系統(tǒng)支持單區(qū)域參數(shù)配置,可根據(jù)不同區(qū)域的潔凈要求、生產(chǎn)特性,設(shè)定專屬的聯(lián)動(dòng)閾值、風(fēng)速調(diào)節(jié)范圍、響應(yīng)速度等參數(shù)。在芯片測試車間的探針測試工位,周邊 FFU 可根據(jù)該工位潔凈度數(shù)據(jù)調(diào)節(jié),避免對(duì)其他區(qū)域造成影響;在生物實(shí)驗(yàn)室的培養(yǎng)箱周邊,單區(qū)域聯(lián)動(dòng)可維持局部高潔凈環(huán)境,保障實(shí)驗(yàn)樣本不受污染。適用場景包括精密制造工位、生產(chǎn)區(qū)域、實(shí)驗(yàn)室關(guān)鍵區(qū)域等,單區(qū)域聯(lián)動(dòng)響應(yīng)精度達(dá) ±0.01m/s 風(fēng)速調(diào)節(jié),監(jiān)測點(diǎn)與 FFU 的距離可靈活調(diào)整(0.5-5 米),適配不同工位布局,同時(shí)支持單區(qū)域聯(lián)動(dòng)狀態(tài)顯示,管理人員可快速掌握各關(guān)鍵區(qū)域的管控情況,局部異常時(shí)不影響整體生產(chǎn),提升管控的性與靈活性。?中源綠凈為 60 + 制藥水針車間建模塊化潔凈室,可見異物合格率提升至 99.9%,減少返工!

中源綠凈通過 200 + 合規(guī)項(xiàng)目驗(yàn)證,其 FFU 與潔凈度聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)完全符合 GMP、ISO 14644、FDA 等行業(yè)規(guī)范,可自動(dòng)記錄 FFU 運(yùn)行參數(shù)(風(fēng)速、運(yùn)行時(shí)長、故障信息)、潔凈度檢測數(shù)據(jù)、聯(lián)動(dòng)調(diào)節(jié)記錄等合規(guī)所需信息,生成不可篡改的合規(guī)報(bào)告,支持按日、周、月自動(dòng)導(dǎo)出。系統(tǒng)內(nèi)置合規(guī)閾值庫,可預(yù)設(shè)不同潔凈等級(jí)的聯(lián)動(dòng)判定標(biāo)準(zhǔn),自動(dòng)判定聯(lián)動(dòng)行為是否符合規(guī)范,當(dāng)出現(xiàn)合規(guī)風(fēng)險(xiǎn)時(shí)提前預(yù)警。在無菌藥品生產(chǎn)企業(yè),系統(tǒng)可完整記錄 A 級(jí) / B 級(jí) / C 級(jí) / D 級(jí)潔凈區(qū) FFU 與潔凈度的聯(lián)動(dòng)數(shù)據(jù),滿足 GMP 對(duì)數(shù)據(jù)追溯的嚴(yán)格要求,監(jiān)管部門檢查時(shí)可直接調(diào)取報(bào)告;在醫(yī)療器械生產(chǎn)車間,系統(tǒng)可關(guān)聯(lián) FFU 聯(lián)動(dòng)記錄與產(chǎn)品生產(chǎn)批次,為產(chǎn)品注冊審核提供數(shù)據(jù)支撐。適用場景包括制藥、醫(yī)療、食品等合規(guī)要求嚴(yán)格的行業(yè),中源綠凈可提供合規(guī)性認(rèn)證報(bào)告,系統(tǒng)支持校準(zhǔn)記錄與聯(lián)動(dòng)數(shù)據(jù)自動(dòng)關(guān)聯(lián),確保報(bào)告有效性,同時(shí)操作日志完整記錄所有參數(shù)調(diào)整、報(bào)告導(dǎo)出行為,便于追溯審核,幫助企業(yè)輕松通過監(jiān)管檢查。?中源綠凈為 55 + 實(shí)驗(yàn)室打造模塊化潔凈室,振動(dòng)控制在 50μm 以下,滿足精密儀器需求!深圳手持式潔凈室計(jì)數(shù)器使用步驟
中源綠凈的模塊化潔凈室,消防系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)響應(yīng)時(shí)間≤10 秒,為 55 + 企業(yè)提升安全保障!深圳十萬級(jí)潔凈室測試國家標(biāo)準(zhǔn)
中源綠凈的潔凈室環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng),開發(fā)移動(dòng)端報(bào)表查看功能,用戶通過配套手機(jī) APP,可隨時(shí)隨地查看潔凈環(huán)境的各類報(bào)表,無需依賴電腦端,提升潔凈管理的靈活性與效率。APP 支持的報(bào)表類型包括實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)報(bào)表(當(dāng)前各區(qū)域微粒、溫濕度、壓差數(shù)據(jù)匯總)、日報(bào)表(當(dāng)日各指標(biāo)日均濃度、超標(biāo)次數(shù)、設(shè)備運(yùn)行時(shí)長)、周 / 月 / 年報(bào)表(周期內(nèi)數(shù)據(jù)趨勢、達(dá)標(biāo)率統(tǒng)計(jì)、報(bào)警事件匯總)、自定義報(bào)表(用戶選擇特定指標(biāo)、特定區(qū)域、特定時(shí)間段生成的報(bào)表)。報(bào)表展示采用可視化圖表(折線圖、柱狀圖、餅圖)+ 數(shù)據(jù)表格結(jié)合的形式,例如日報(bào)表中,用折線圖展示當(dāng)日微粒濃度變化,用柱狀圖對(duì)比各區(qū)域超標(biāo)次數(shù),用表格展示詳細(xì)數(shù)值,直觀且信息完整。深圳十萬級(jí)潔凈室測試國家標(biāo)準(zhǔn)