MEMS傳感器是MEMS器件的一個(gè)重要分支，作為微機(jī)電系統(tǒng)的重要組成部分，MEMS傳感器是實(shí)現(xiàn)微機(jī)電系統(tǒng)感知和信號(hào)處理的功能器件。這種傳感器采用MEMS制造技術(shù)，即微電子制造技術(shù)和微機(jī)械加工制造技術(shù)，其材料、工作原理、制作工藝等方面與傳統(tǒng)傳感器有相當(dāng)大的區(qū)別。 [4]MEMS傳感器是基于其敏感材料的特殊效應(yīng)工作的，它的制作工藝結(jié)合當(dāng)今先進(jìn)的IC微電子加工工藝和MEMS微機(jī)械加工制造工藝來(lái)實(shí)現(xiàn)，通過(guò)對(duì)材料的微機(jī)械加工，制造出可感受壓力、溫度、磁場(chǎng)、加速度等各種參數(shù)的穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)器件(如梁、膜、叉指等單一或復(fù)合的結(jié)構(gòu))，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)各種相關(guān)參數(shù)的感知、測(cè)試和轉(zhuǎn)換用于測(cè)量-200℃～+500℃范圍內(nèi)的溫度。楊浦區(qū)品牌傳感器品牌

4、復(fù)合敏感功能——觀察周圍的自然現(xiàn)象，常見(jiàn)的信號(hào)有聲、光、電、熱、力、化學(xué)等。敏感元件測(cè)量一般通過(guò)兩種方式：直接和間接的測(cè)量。而智能傳感器具有復(fù)合功能，能夠同時(shí)測(cè)量多種物理量和化學(xué)量，給出能夠較***反映物質(zhì)運(yùn)動(dòng)規(guī)律的信息。光敏光敏傳感器是最常見(jiàn)的傳感器之一，它的種類繁多，主要有：光電管、光電倍增管、光敏電阻、光敏三極管、太陽(yáng)能電池、紅外線傳感器、紫外線傳感器、光纖式光電傳感器、色彩傳感器、CCD和CMOS圖像傳感器等。它的敏感波長(zhǎng)在可見(jiàn)光波長(zhǎng)附近，包括紅外線波長(zhǎng)和紫外線波長(zhǎng)上海質(zhì)量傳感器設(shè)計(jì)而單靠人們自身的感覺(jué)，在研究自然現(xiàn)象和規(guī)律以及生產(chǎn)活動(dòng)中它們的功能就遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠了。

在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)尤其是自動(dòng)化生產(chǎn)過(guò)程中，要用各種傳感器來(lái)監(jiān)視和控制生產(chǎn)過(guò)程中的各個(gè)參數(shù)，使設(shè)備工作在正常狀態(tài)或比較好狀態(tài)，并使產(chǎn)品達(dá)到比較好的質(zhì)量。因此可以說(shuō)，沒(méi)有眾多的優(yōu)良的傳感器，現(xiàn)代化生產(chǎn)也就失去了基礎(chǔ)。在基礎(chǔ)學(xué)科研究中，傳感器更具有突出的地位。現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，進(jìn)入了許多新領(lǐng)域：例如在宏觀上要觀察上千光年的茫茫宇宙，微觀上要觀察小到fm的粒子世界，縱向上要觀察長(zhǎng)達(dá)數(shù)十萬(wàn)年的天體演化，短到 s的瞬間反應(yīng)。此外，還出現(xiàn)了對(duì)深化物質(zhì)認(rèn)識(shí)、開(kāi)拓新能源、新材料等具有重要作用的各種極端技術(shù)研究，如超高溫、**溫、超高壓、超高真空、***磁場(chǎng)、超弱磁場(chǎng)等等。

生物傳感器的分類按照其感受器中所采用的生命物質(zhì)分類，可分為：微生物傳感器、免疫傳感器、組織傳感器、細(xì)胞傳感器、酶?jìng)鞲衅?、DNA傳感器等等。按照傳感器器件檢測(cè)的原理分類，可分為：熱敏生物傳感器、場(chǎng)效應(yīng)管生物傳感器、壓電生物傳感器、光學(xué)生物傳感器、聲波道生物傳感器、酶電極生物傳感器、介體生物傳感器等。按照生物敏感物質(zhì)相互作用的類型分類，可分為親和型和代謝型兩種。視覺(jué)工作原理：傳感器（圖12）視覺(jué)傳感器是指：具有從一整幅圖像捕獲光線的數(shù)以千計(jì)像素的能力，圖像的清晰和細(xì)膩程度常用分辨率來(lái)衡量，以像素?cái)?shù)量表示。半導(dǎo)體應(yīng)變片具有靈敏度高（通常是絲式、箔式的幾十倍）、橫向效應(yīng)小等優(yōu)點(diǎn)。

光傳感器不只局限于對(duì)光的探測(cè)，它還可以作為探測(cè)元件組成其他傳感器，對(duì)許多非電量進(jìn)行檢測(cè)，只要將這些非電量轉(zhuǎn)換為光信號(hào)的變化即可。光傳感器是產(chǎn)量**多、應(yīng)用**廣的傳感器之一，它在自動(dòng)控制和非電量電測(cè)技術(shù)引中占有非常重要的地位。**簡(jiǎn)單的光敏傳感器是光敏電阻，當(dāng)光子沖擊接合處就會(huì)產(chǎn)生電流。生物生物傳感器的概念傳感器（圖11）生物傳感器是用生物活性材料（酶、蛋白質(zhì)、DNA、抗體、抗原、生物膜等）與物理化學(xué)換能器有機(jī)結(jié)合的一門交叉學(xué)科，是發(fā)展生物技術(shù)必不可少的一種先進(jìn)的檢測(cè)方法與監(jiān)控方法，也是物質(zhì)分子水平的快速、微量分析方法。利用激光的高方向性、高單色性和高亮度等特點(diǎn)可實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸遠(yuǎn)距離測(cè)量。上海質(zhì)量傳感器設(shè)計(jì)

顯然，要獲取大量人類感官無(wú)法直接獲取的信息，沒(méi)有相適應(yīng)的傳感器是不可能的。楊浦區(qū)品牌傳感器品牌

各種生物傳感器有以下共同的結(jié)構(gòu)：包括一種或數(shù)種相關(guān)生物活性材料（生物膜）及能把生物活性表達(dá)的信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的物理或化學(xué)換能器（傳感器），二者組合在一起，用現(xiàn)代微電子和自動(dòng)化儀表技術(shù)進(jìn)行生物信號(hào)的再加工，構(gòu)成各種可以使用的生物傳感器分析裝置、儀器和系統(tǒng)。生物傳感器的原理待測(cè)物質(zhì)經(jīng)擴(kuò)散作用進(jìn)入生物活性材料，經(jīng)分子識(shí)別，發(fā)生生物學(xué)反應(yīng)，產(chǎn)生的信息繼而被相應(yīng)的物理或化學(xué)換能器轉(zhuǎn)變成可定量和可處理的電信號(hào)，再經(jīng)二次儀表放大并輸出，便可知道待測(cè)物濃度。楊浦區(qū)品牌傳感器品牌

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