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無錫半導(dǎo)體晶圓加熱盤

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-10-24

針對(duì)碳化硅襯底生長的高溫需求,國瑞熱控**加熱盤采用多加熱器分區(qū)布局技術(shù),**溫度梯度可控性差的行業(yè)難題。加熱盤主體選用耐高溫石墨基材,表面噴涂碳化硅涂層,在 2200℃高溫下仍保持結(jié)構(gòu)穩(wěn)定,熱導(dǎo)率達(dá) 180W/mK,適配 PVT 法、TSSG 法等主流生長工藝。內(nèi)部劃分 12 個(gè)**溫控區(qū)域,每個(gè)區(qū)域控溫精度達(dá) ±2℃,通過精細(xì)調(diào)節(jié)溫度梯度控制晶體生長速率,助力 8 英寸碳化硅襯底量產(chǎn)。設(shè)備配備石墨隔熱屏與真空密封結(jié)構(gòu),在 10??Pa 真空環(huán)境下無雜質(zhì)釋放,與晶升股份等設(shè)備廠商聯(lián)合調(diào)試適配,使襯底生產(chǎn)成本較進(jìn)口方案降低 30% 以上,為新能源汽車、5G 通信等領(lǐng)域提供**材料支撐。遠(yuǎn)程監(jiān)控功能可選,實(shí)時(shí)掌握設(shè)備狀態(tài),智能便捷管理。無錫半導(dǎo)體晶圓加熱盤

無錫半導(dǎo)體晶圓加熱盤,加熱盤

國瑞熱控針對(duì)半導(dǎo)體量子點(diǎn)制備需求,開發(fā)**加熱盤適配膠體化學(xué)合成工藝。采用聚四氟乙烯密封腔體與不銹鋼加熱基體復(fù)合結(jié)構(gòu),耐有機(jī)溶劑腐蝕,且無金屬離子溶出污染量子點(diǎn)溶液。內(nèi)置高精度溫度傳感器,測溫精度達(dá) ±0.1℃,溫度調(diào)節(jié)范圍 25℃-300℃,支持 0.1℃/ 分鐘的慢速升溫,為量子點(diǎn)成核、生長提供精細(xì)熱環(huán)境。配備磁力攪拌協(xié)同系統(tǒng),使溶液溫度與攪拌速率同步可控,確保量子點(diǎn)尺寸均一性(粒徑偏差小于 5%)。與中科院化學(xué)所等科研團(tuán)隊(duì)合作,成功制備 CdSe、PbS 等多種量子點(diǎn),其熒光量子產(chǎn)率達(dá) 80% 以上,為量子點(diǎn)顯示、生物成像等領(lǐng)域提供**制備設(shè)備。青浦區(qū)探針測試加熱盤供應(yīng)商工作溫度范圍寬泛,滿足低溫烘烤至高溫?zé)Y(jié)需求。

無錫半導(dǎo)體晶圓加熱盤,加熱盤

面向半導(dǎo)體新材料研發(fā)場景,國瑞熱控高溫加熱盤以寬溫域與高穩(wěn)定性成為科研工具。采用石墨與碳化硅復(fù)合基材,工作溫度范圍覆蓋 500℃-2000℃,可通過程序設(shè)定實(shí)現(xiàn)階梯式升溫,升溫速率調(diào)節(jié)范圍 0.1-10℃/ 分鐘。加熱面配備 24 組測溫點(diǎn),實(shí)時(shí)監(jiān)測溫度分布,數(shù)據(jù)采樣頻率達(dá) 10Hz,支持與實(shí)驗(yàn)室數(shù)據(jù)系統(tǒng)對(duì)接。設(shè)備體積緊湊(直徑 30cm),重量* 5kg,配備小型真空腔體與惰性氣體接口,適配薄膜沉積、晶體生長等多種實(shí)驗(yàn)需求,已服務(wù)于中科院半導(dǎo)體所等科研機(jī)構(gòu)。

國瑞熱控深耕半導(dǎo)體加熱盤國產(chǎn)化研發(fā),針對(duì)進(jìn)口設(shè)備的技術(shù)壁壘與供應(yīng)風(fēng)險(xiǎn),推出全套替代方案。方案涵蓋6英寸至12英寸不同規(guī)格加熱盤,材質(zhì)包括鋁合金、氮化鋁陶瓷等,可直接替換Kyocera、CoorsTek等國際品牌同型號(hào)產(chǎn)品,且在溫度均勻性、控溫精度等關(guān)鍵指標(biāo)上達(dá)到同等水平。通過與國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商的聯(lián)合開發(fā),實(shí)現(xiàn)加熱盤與國產(chǎn)設(shè)備的深度適配,解決進(jìn)口產(chǎn)品安裝調(diào)試復(fù)雜、售后服務(wù)滯后等問題。替代方案不僅在采購成本上較進(jìn)口產(chǎn)品降低30%以上,且交貨周期縮短至45天以內(nèi),大幅提升供應(yīng)鏈穩(wěn)定性。已為國內(nèi)多家半導(dǎo)體制造企業(yè)提供國產(chǎn)化替代服務(wù),助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控,推動(dòng)國內(nèi)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。節(jié)能環(huán)保設(shè)計(jì)理念,熱損失小效率高,助力綠色生產(chǎn)制造。

無錫半導(dǎo)體晶圓加熱盤,加熱盤

國瑞熱控氮化鋁陶瓷加熱盤以 99.5% 高純氮化鋁為基材,通過干壓成型與 1800℃高溫?zé)Y(jié)工藝制成,完美適配半導(dǎo)體高溫工藝需求。其熱導(dǎo)率可達(dá) 220W/mK,熱膨脹系數(shù)* 4.03×10??/℃,與硅晶圓熱特性高度匹配,有效避免高溫下因熱應(yīng)力導(dǎo)致的晶圓翹曲。內(nèi)部嵌入鎢制加熱元件,經(jīng)共燒工藝實(shí)現(xiàn)緊密結(jié)合,加熱面溫度均勻性控制在 ±1℃以內(nèi),工作溫度上限提升至 800℃,遠(yuǎn)超傳統(tǒng)鋁合金加熱盤的 450℃極限。表面經(jīng)精密研磨拋光處理,平面度誤差小于 0.01mm,可耐受等離子體長期轟擊無損傷,在晶圓退火、氧化等高溫工藝中表現(xiàn)穩(wěn)定,為國產(chǎn)替代提供高性能材質(zhì)解決方案。嚴(yán)格出廠檢測流程,多項(xiàng)性能測試,確保每臺(tái)設(shè)備質(zhì)量可靠。天津半導(dǎo)體加熱盤供應(yīng)商

多重安全保護(hù)設(shè)計(jì),漏電過載超溫防護(hù),構(gòu)建安全工作環(huán)境。無錫半導(dǎo)體晶圓加熱盤

國瑞熱控封裝測試**加熱盤聚焦半導(dǎo)體后道工藝需求,采用輕量化鋁合金材質(zhì),通過精密加工確保加熱面平整度誤差小于 0.05mm,適配不同尺寸封裝器件的測試需求。加熱元件采用片狀分布設(shè)計(jì),熱響應(yīng)速度快,可在 5 分鐘內(nèi)將測試溫度穩(wěn)定在 - 40℃至 150℃之間,滿足高低溫循環(huán)測試、老化測試等場景要求。表面采用防粘涂層處理,減少測試過程中污染物附著,且易于清潔維護(hù)。配備可編程溫控系統(tǒng),支持自定義測試溫度曲線,可存儲(chǔ) 100 組以上測試參數(shù),方便不同型號(hào)器件的測試切換。與長電科技、通富微電等封裝測試企業(yè)合作,適配其自動(dòng)化測試生產(chǎn)線,為半導(dǎo)體器件可靠性驗(yàn)證提供精細(xì)溫度環(huán)境,助力提升產(chǎn)品良率。無錫半導(dǎo)體晶圓加熱盤

無錫市國瑞熱控科技有限公司是一家有著雄厚實(shí)力背景、信譽(yù)可靠、勵(lì)精圖治、展望未來、有夢想有目標(biāo),有組織有體系的公司,堅(jiān)持于帶領(lǐng)員工在未來的道路上大放光明,攜手共畫藍(lán)圖,在江蘇省等地區(qū)的電工電氣行業(yè)中積累了大批忠誠的客戶粉絲源,也收獲了良好的用戶口碑,為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎(chǔ),也希望未來公司能成為*****,努力為行業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展奉獻(xiàn)出自己的一份力量,我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強(qiáng)不息,斗志昂揚(yáng)的的企業(yè)精神將**無錫市國瑞熱控科技供應(yīng)和您一起攜手步入輝煌,共創(chuàng)佳績,一直以來,公司貫徹執(zhí)行科學(xué)管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠實(shí)守信的方針,員工精誠努力,協(xié)同奮取,以品質(zhì)、服務(wù)來贏得市場,我們一直在路上!

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