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徐匯區(qū)高精度均溫加熱盤(pán)廠家

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-10-27

國(guó)瑞熱控清洗槽**加熱盤(pán)以全密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)適配高潔凈需求,采用 316L 不銹鋼經(jīng)電解拋光處理,表面粗糙度 Ra 小于 0.05μm,無(wú)顆粒脫落風(fēng)險(xiǎn)。加熱元件采用氟塑料密封封裝,與清洗液完全隔離,耐受酸堿濃度達(dá) 90% 的腐蝕環(huán)境,電氣強(qiáng)度達(dá) 2000V/1min。通過(guò)底部波浪形加熱面設(shè)計(jì),使槽內(nèi)溶液形成自然對(duì)流,溫度均勻性達(dá) ±0.8℃,溫度調(diào)節(jié)范圍 25℃-120℃。配備防干燒與泄漏檢測(cè)系統(tǒng),與盛美上海等清洗設(shè)備廠商適配,符合半導(dǎo)體制造 Class 1 潔凈標(biāo)準(zhǔn),為晶圓清洗后的表面質(zhì)量提供保障。結(jié)構(gòu)緊湊安裝便捷,多重安全保護(hù),使用安心無(wú)顧慮。徐匯區(qū)高精度均溫加熱盤(pán)廠家

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依托強(qiáng)大的研發(fā)與制造能力,國(guó)瑞熱控提供全流程半導(dǎo)體加熱盤(pán)定制服務(wù),滿足特殊工藝與設(shè)備的個(gè)性化需求。可根據(jù)客戶提供的圖紙與參數(shù),定制圓形、方形等特殊形狀加熱盤(pán),尺寸覆蓋 4 英寸至 18 英寸晶圓規(guī)格。材質(zhì)可選擇鋁合金、氮化鋁陶瓷、因瓦合金等多種類(lèi)型,加熱方式支持電阻加熱、紅外加熱及復(fù)合加熱模式,溫度范圍與控溫精度按需設(shè)定。通過(guò)三維建模與溫度場(chǎng)仿真優(yōu)化設(shè)計(jì)方案,原型樣品交付周期縮短至 15 個(gè)工作日,批量生產(chǎn)前提供 2 臺(tái)樣品進(jìn)行工藝驗(yàn)證。已為長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)、華虹半導(dǎo)體等企業(yè)定制**加熱盤(pán),適配其自主研發(fā)設(shè)備,助力國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈完善。徐匯區(qū)高精度均溫加熱盤(pán)廠家工作溫度范圍寬泛,滿足低溫烘烤至高溫?zé)Y(jié)需求。

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面向半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室研發(fā)場(chǎng)景,國(guó)瑞熱控小型加熱盤(pán)以高精度與靈活性成為科研得力助手。產(chǎn)品尺寸可定制至 10cm×10cm,適配小規(guī)格晶圓與實(shí)驗(yàn)樣本的加熱需求,溫度調(diào)節(jié)范圍覆蓋室溫至 500℃,**小調(diào)節(jié)精度達(dá) 1℃。采用陶瓷加熱元件與鉑電阻傳感器組合,控溫穩(wěn)定性達(dá) ±0.5℃,滿足材料研發(fā)中對(duì)溫度參數(shù)的精細(xì)控制。設(shè)備支持 USB 數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能,可實(shí)時(shí)記錄溫度變化曲線,便于實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)追溯與分析。整體采用便攜式設(shè)計(jì),重量* 1.5kg,且具備過(guò)熱保護(hù)功能,當(dāng)溫度超過(guò)設(shè)定閾值時(shí)自動(dòng)斷電,為半導(dǎo)體新材料研發(fā)、工藝參數(shù)優(yōu)化等實(shí)驗(yàn)工作提供可靠溫控工具。

針對(duì)半導(dǎo)體濕法工藝中溶液溫度控制需求,國(guó)瑞熱控濕法**加熱盤(pán)采用耐腐蝕不銹鋼材質(zhì),經(jīng)電解拋光與鈍化處理,可耐受酸堿溶液長(zhǎng)期浸泡無(wú)腐蝕。加熱盤(pán)內(nèi)置密封式加熱元件,與溶液完全隔離,避免漏電風(fēng)險(xiǎn),同時(shí)具備 1500V/1min 的電氣強(qiáng)度,使用安全可靠。通過(guò)底部加熱與側(cè)面保溫設(shè)計(jì),使溶液溫度均勻性控制在 ±1℃以內(nèi),溫度調(diào)節(jié)范圍覆蓋 25℃至 100℃,滿足濕法刻蝕、清洗等工藝的溫度要求。配備高精度溫度傳感器,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)溶液溫度,當(dāng)溫度超出設(shè)定范圍時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)加熱或冷卻調(diào)節(jié),確保化學(xué)反應(yīng)平穩(wěn)進(jìn)行。設(shè)備適配不同規(guī)格的濕法工藝槽體,可根據(jù)槽體尺寸定制加熱盤(pán)形狀與功率,為半導(dǎo)體濕法工藝的穩(wěn)定性與重復(fù)性提供保障。細(xì)節(jié)處精心設(shè)計(jì),接口布線密封優(yōu)良,性能穩(wěn)定持久。

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國(guó)瑞熱控 12 英寸半導(dǎo)體加熱盤(pán)專(zhuān)為先進(jìn)制程量產(chǎn)需求設(shè)計(jì),采用氮化鋁陶瓷與高純銅復(fù)合基材,通過(guò)多道精密研磨工藝,使加熱面平面度誤差控制在 0.015mm 以內(nèi),完美貼合大尺寸晶圓的均勻受熱需求。內(nèi)部采用分區(qū)式加熱元件布局,劃分 8 個(gè)**溫控區(qū)域,配合高精度鉑電阻傳感器,實(shí)現(xiàn) ±0.8℃的控溫精度,滿足 7nm 至 14nm 制程對(duì)溫度均勻性的嚴(yán)苛要求。設(shè)備支持真空吸附與靜電卡盤(pán)雙重固定方式,適配不同類(lèi)型的反應(yīng)腔結(jié)構(gòu),升溫速率達(dá) 20℃/ 分鐘,工作溫度范圍覆蓋室溫至 600℃,可兼容 PVD、CVD、刻蝕等多道關(guān)鍵工藝。通過(guò)與中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等企業(yè)的深度合作,已實(shí)現(xiàn)與國(guó)產(chǎn) 12 英寸晶圓生產(chǎn)線的無(wú)縫對(duì)接,為先進(jìn)制程規(guī)模化生產(chǎn)提供穩(wěn)定溫控支撐。高效穩(wěn)定耐用三大優(yōu)勢(shì),廣泛應(yīng)用于塑料封裝材料合成等領(lǐng)域。北京高精度均溫加熱盤(pán)供應(yīng)商

大小功率齊全,靈活匹配實(shí)驗(yàn)裝置與工業(yè)設(shè)備需求。徐匯區(qū)高精度均溫加熱盤(pán)廠家

國(guó)瑞熱控半導(dǎo)體封裝加熱盤(pán),聚焦芯片封裝環(huán)節(jié)的加熱需求,為鍵合、塑封等工藝提供穩(wěn)定熱源。采用鋁合金與云母復(fù)合結(jié)構(gòu),兼具輕質(zhì)特性與優(yōu)良絕緣性能,加熱面功率密度可根據(jù)封裝規(guī)格調(diào)整,比較高達(dá) 2W/CM2。通過(guò)優(yōu)化加熱元件排布,使封裝區(qū)域溫度均勻性達(dá) 95% 以上,確保焊料均勻熔融與鍵合強(qiáng)度穩(wěn)定。設(shè)備配備快速響應(yīng)溫控系統(tǒng),從室溫升至 250℃*需 8 分鐘,且溫度波動(dòng)小于 ±2℃,適配不同封裝材料的固化需求。表面采用防氧化處理,使用壽命超 30000 小時(shí),搭配模塊化設(shè)計(jì),可根據(jù)封裝生產(chǎn)線布局靈活組合,為半導(dǎo)體封裝的高效量產(chǎn)提供支持。徐匯區(qū)高精度均溫加熱盤(pán)廠家

無(wú)錫市國(guó)瑞熱控科技有限公司是一家有著先進(jìn)的發(fā)展理念,先進(jìn)的管理經(jīng)驗(yàn),在發(fā)展過(guò)程中不斷完善自己,要求自己,不斷創(chuàng)新,時(shí)刻準(zhǔn)備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司,在江蘇省等地區(qū)的電工電氣中匯聚了大量的人脈以及**,在業(yè)界也收獲了很多良好的評(píng)價(jià),這些都源自于自身的努力和大家共同進(jìn)步的結(jié)果,這些評(píng)價(jià)對(duì)我們而言是比較好的前進(jìn)動(dòng)力,也促使我們?cè)谝院蟮牡缆飞媳3謯^發(fā)圖強(qiáng)、一往無(wú)前的進(jìn)取創(chuàng)新精神,努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個(gè)新高度,在全體員工共同努力之下,全力拼搏將共同無(wú)錫市國(guó)瑞熱控科技供應(yīng)和您一起攜手走向更好的未來(lái),創(chuàng)造更有價(jià)值的產(chǎn)品,我們將以更好的狀態(tài),更認(rèn)真的態(tài)度,更飽滿的精力去創(chuàng)造,去拼搏,去努力,讓我們一起更好更快的成長(zhǎng)!

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