依托強大的研發與制造能力，國瑞熱控提供全流程半導體加熱盤定制服務，滿足特殊工藝與設備的個性化需求?？筛鶕蛻籼峁┑膱D紙與參數，定制圓形、方形等特殊形狀加熱盤，尺寸覆蓋 4 英寸至 18 英寸晶圓規格。材質可選擇鋁合金、氮化鋁陶瓷、因瓦合金等多種類型，加熱方式支持電阻加熱、紅外加熱及復合加熱模式，溫度范圍與控溫精度按需設定。通過三維建模與溫度場仿真優化設計方案，原型樣品交付周期縮短至 15 個工作日，批量生產前提供 2 臺樣品進行工藝驗證。已為長鑫存儲、華虹半導體等企業定制**加熱盤，適配其自主研發設備，助力國產半導體設備產業鏈完善。模塊化設計理念，維護更換簡單快捷，大幅降低運維成本。河北刻蝕晶圓加熱盤生產廠家

為解決加熱盤長期使用后的溫度漂移問題，國瑞熱控開發**校準模塊，成為半導體生產線的精度保障利器。模塊采用鉑電阻與熱電偶雙傳感設計，測溫精度達 ±0.05℃，可覆蓋室溫至 800℃全溫度范圍，適配不同材質加熱盤的校準需求。配備便攜式數據采集終端，支持實時顯示溫度分布曲線與偏差分析，數據可通過 USB 導出形成校準報告。校準過程無需拆卸加熱盤，通過磁吸式貼合加熱面即可完成檢測，單臺設備校準時間縮短至 30 分鐘以內。適配國瑞全系列半導體加熱盤，同時兼容 Kyocera、CoorsTek 等國際品牌產品，幫助企業建立完善的溫度校準體系，確保工藝參數的一致性與可追溯性。中國香港探針測試加熱盤供應商嚴格質量管理體系，ISO認證工廠生產，品質有保障。

國瑞熱控半導體測試用加熱盤，專為芯片性能測試環節的溫度環境模擬設計，可精細復現芯片工作時的溫度條件。設備溫度調節范圍覆蓋 - 40℃至 150℃，支持快速升溫和降溫，速率分別達 25℃/ 分鐘和 20℃/ 分鐘，能模擬不同工況下的溫度變化。加熱盤表面采用柔性導熱墊層，適配不同厚度的測試芯片，確保熱量均勻傳遞至芯片表面，溫度控制精度達 ±0.5℃。配備可編程溫度控制系統，可預設多段溫度曲線，滿足長時間穩定性測試需求。設備運行時無電磁場干擾，避免對測試數據產生影響，同時具備過溫、過流雙重保護功能，為半導體芯片的性能驗證與質量檢測提供專業溫度環境。

針對半導體濕法工藝中溶液溫度控制需求，國瑞熱控濕法**加熱盤采用耐腐蝕不銹鋼材質，經電解拋光與鈍化處理，可耐受酸堿溶液長期浸泡無腐蝕。加熱盤內置密封式加熱元件，與溶液完全隔離，避免漏電風險，同時具備 1500V/1min 的電氣強度，使用安全可靠。通過底部加熱與側面保溫設計，使溶液溫度均勻性控制在 ±1℃以內，溫度調節范圍覆蓋 25℃至 100℃，滿足濕法刻蝕、清洗等工藝的溫度要求。配備高精度溫度傳感器，實時監測溶液溫度，當溫度超出設定范圍時自動啟動加熱或冷卻調節，確?；瘜W反應平穩進行。設備適配不同規格的濕法工藝槽體，可根據槽體尺寸定制加熱盤形狀與功率，為半導體濕法工藝的穩定性與重復性提供保障。獨特加熱元件設計，熱效率大幅提升，節能環保同時保證長期穩定運行。

面向深紫外光刻工藝對晶圓預處理的需求，國瑞熱控配套加熱盤以微米級溫控助力圖形精度提升。采用鋁合金基體與石英玻璃復合結構，加熱面平面度誤差小于 0.01mm，確保晶圓與光刻掩膜緊密貼合。通過紅外加熱與接觸式導熱協同技術，升溫速率達 15℃/ 分鐘，溫度調節范圍 60℃-120℃，控溫精度 ±0.3℃，適配光刻膠軟烘、堅膜等預處理環節。表面經防反射涂層處理，減少深紫外光反射干擾，且具備快速冷卻功能，從 120℃降至室溫*需 8 分鐘，縮短工藝間隔。與上海微電子光刻機適配，使光刻圖形線寬偏差控制在 5nm 以內，滿足 90nm 至 28nm 制程的精密圖形定義需求。重視客戶反饋，持續改進產品服務，體驗專業貼心。徐州半導體加熱盤定制

多種規格靈活定制，國瑞加熱盤滿足您的特殊應用需求。河北刻蝕晶圓加熱盤生產廠家

國瑞熱控高真空半導體加熱盤，專為半導體精密制造的真空環境設計，實現無污染加熱解決方案。產品采用特殊密封結構與高純材質制造，所有部件均經過真空除氣處理，在 10??Pa 高真空環境下無揮發性物質釋放，避免污染晶圓表面。加熱元件采用嵌入式設計，與基材緊密結合，熱量傳遞損耗降低 30%，熱效率***提升。通過內部溫度場模擬優化，加熱面均溫性達 ±1℃，適配光學器件鍍膜、半導體晶圓加工等潔凈度要求嚴苛的場景。設備可耐受反復升溫降溫循環，在 - 50℃至 500℃溫度區間內結構穩定，為高真空環境下的精密制造提供符合潔凈標準的溫控保障。河北刻蝕晶圓加熱盤生產廠家

無錫市國瑞熱控科技有限公司在同行業領域中，一直處在一個不斷銳意進取，不斷制造創新的市場高度，多年以來致力于發展富有創新價值理念的產品標準，在江蘇省等地區的電工電氣中始終保持良好的商業口碑，成績讓我們喜悅，但不會讓我們止步，殘酷的市場磨煉了我們堅強不屈的意志，和諧溫馨的工作環境，富有營養的公司土壤滋養著我們不斷開拓創新，勇于進取的無限潛力，無錫市國瑞熱控科技供應攜手大家一起走向共同輝煌的未來，回首過去，我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜，相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍，我們更要明確自己的不足，做好迎接新挑戰的準備，要不畏困難，激流勇進，以一個更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來！