針對 12 英寸及以上大尺寸晶圓的制造需求，國瑞熱控大尺寸半導體加熱盤以創新結構設計實現高效溫控。產品采用多模塊拼接式結構，單模塊加熱面積可達 1500cm2，通過標準化接口可靈活組合成更大尺寸加熱系統，適配不同產能的生產線需求。每個模塊配備**溫控單元，通過**控制系統協同工作，確保整個加熱面溫度均勻性控制在 ±1.5℃以內。采用輕量化**度基材，在保證結構穩定性的同時降低設備重量，便于安裝與維護。表面經精密加工確保平整度，與大尺寸晶圓完美貼合，減少熱傳導損耗，為先進制程中大規模晶圓的均勻加熱提供可靠解決方案。多重安全保護機制，過溫過載自動防護，讓您使用更安心放心。天津高精度均溫加熱盤廠家

國瑞熱控半導體測試用加熱盤，專為芯片性能測試環節的溫度環境模擬設計，可精細復現芯片工作時的溫度條件。設備溫度調節范圍覆蓋 - 40℃至 150℃，支持快速升溫和降溫，速率分別達 25℃/ 分鐘和 20℃/ 分鐘，能模擬不同工況下的溫度變化。加熱盤表面采用柔性導熱墊層，適配不同厚度的測試芯片，確保熱量均勻傳遞至芯片表面，溫度控制精度達 ±0.5℃。配備可編程溫度控制系統，可預設多段溫度曲線，滿足長時間穩定性測試需求。設備運行時無電磁場干擾，避免對測試數據產生影響，同時具備過溫、過流雙重保護功能，為半導體芯片的性能驗證與質量檢測提供專業溫度環境。南京晶圓級陶瓷加熱盤定制表面特殊處理，耐腐蝕易清潔，適用化學食品領域。

為降低半導體加熱盤的熱量損耗，國瑞熱控研發**隔熱組件，通過多層復合結構設計實現高效保溫。組件內層采用耐高溫隔熱棉，熱導率* 0.03W/(m?K)，可有效阻隔加熱盤向設備腔體的熱量傳遞；外層選用金屬防護殼，兼具結構強度與抗腐蝕性能，適配半導體潔凈車間環境。隔熱組件與加熱盤精細貼合，安裝拆卸便捷，不影響加熱盤的正常維護與更換。通過隔熱組件應用，可使加熱盤熱量利用率提升 15% 以上，降低設備整體能耗，同時減少設備腔體溫升，延長周邊部件使用壽命。適配國瑞全系列半導體加熱盤，且可根據客戶現有加熱盤尺寸定制，為半導體生產線的能耗優化提供實用解決方案。

無錫國瑞熱控 PVD 工藝**加熱盤，專為物***相沉積環節的嚴苛溫控需求設計。作為晶圓加工的**載體與射頻回路下電極，其采用陶瓷與高純金屬復合基材，經精密研磨確保加熱面平面度誤差小于 0.02mm，為薄膜均勻生長提供穩定基底。內部螺旋狀加熱元件與均溫層協同作用，使晶圓表面溫度均勻性控制在 ±1℃以內，適配 6 英寸至 12 英寸不同規格晶圓。設備整體采用無揮發潔凈工藝處理，在高真空環境下無雜質釋放，搭配快速升溫技術（升溫速率達 30℃/ 分鐘），完美契合 PVD 工藝中對溫度穩定性與生產效率的雙重要求，為半導體薄膜制備提供可靠溫控支撐。熱場分布均勻，避免局部過熱，保護樣品質量一致。

國瑞熱控推出半導體加熱盤**溫度監控軟件，實現加熱過程的數字化管理與精細控制。軟件具備實時溫度顯示功能，可通過圖表直觀呈現加熱盤各區域溫度變化曲線，支持多臺加熱盤同時監控，方便生產線集中管理。內置溫度數據存儲與導出功能，可自動記錄加熱過程中的溫度參數，存儲時間長達 1 年，便于工藝追溯與質量分析。具備溫度異常報警功能，當加熱盤溫度超出設定范圍或出現波動異常時，自動發出聲光報警并記錄異常信息，提醒操作人員及時處理。軟件兼容 Windows 與 Linux 操作系統，通過以太網與加熱盤控制系統連接，安裝調試便捷，適配國瑞全系列半導體加熱盤，為半導體生產線的智能化管理提供技術支持。低熱容設計升溫降溫快，實現高效熱循環，適合快速變溫工藝。虹口區刻蝕晶圓加熱盤定制

多種規格靈活定制，國瑞加熱盤滿足您的特殊應用需求。天津高精度均溫加熱盤廠家

面向半導體實驗室研發場景，國瑞熱控小型加熱盤以高精度與靈活性成為科研得力助手。產品尺寸可定制至 10cm×10cm，適配小規格晶圓與實驗樣本的加熱需求，溫度調節范圍覆蓋室溫至 500℃，**小調節精度達 1℃。采用陶瓷加熱元件與鉑電阻傳感器組合，控溫穩定性達 ±0.5℃，滿足材料研發中對溫度參數的精細控制。設備支持 USB 數據導出功能，可實時記錄溫度變化曲線，便于實驗數據追溯與分析。整體采用便攜式設計，重量* 1.5kg，且具備過熱保護功能，當溫度超過設定閾值時自動斷電，為半導體新材料研發、工藝參數優化等實驗工作提供可靠溫控工具。天津高精度均溫加熱盤廠家

無錫市國瑞熱控科技有限公司匯集了大量的優秀人才，集企業奇思，創經濟奇跡，一群有夢想有朝氣的團隊不斷在前進的道路上開創新天地，繪畫新藍圖，在江蘇省等地區的電工電氣中始終保持良好的信譽，信奉著“爭取每一個客戶不容易，失去每一個用戶很簡單”的理念，市場是企業的方向，質量是企業的生命，在公司有效方針的領導下，全體上下，團結一致，共同進退，**協力把各方面工作做得更好，努力開創工作的新局面，公司的新高度，未來無錫市國瑞熱控科技供應和您一起奔向更美好的未來，即使現在有一點小小的成績，也不足以驕傲，過去的種種都已成為昨日我們只有總結經驗，才能繼續上路，讓我們一起點燃新的希望，放飛新的夢想！