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浦東新區晶圓級陶瓷加熱盤

來源: 發布時間:2025-12-11

國瑞熱控深耕半導體加熱盤國產化研發,針對進口設備的技術壁壘與供應風險,推出全套替代方案!方案涵蓋6英寸至12英寸不同規格加熱盤,材質包括鋁合金、氮化鋁陶瓷等,可直接替換Kyocera、CoorsTek等國際品牌同型號產品,且在溫度均勻性、控溫精度等關鍵指標上達到同等水平!通過與國內半導體設備廠商的聯合開發,實現加熱盤與國產設備的深度適配,解決進口產品安裝調試復雜、售后服務滯后等問題!替代方案不僅在采購成本上較進口產品降低30%以上,且交貨周期縮短至45天以內,大幅提升供應鏈穩定性!已為國內多家半導體制造企業提供國產化替代服務,助力半導體產業鏈自主可控,推動國內半導體裝備產業的發展!高效穩定耐用三大優勢,廣泛應用于塑料封裝材料合成等領域。浦東新區晶圓級陶瓷加熱盤

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無錫國瑞熱控PVD工藝**加熱盤,專為物***相沉積環節的嚴苛溫控需求設計!作為晶圓加工的**載體與射頻回路下電極,其采用陶瓷與高純金屬復合基材,經精密研磨確保加熱面平面度誤差小于0.02mm,為薄膜均勻生長提供穩定基底!內部螺旋狀加熱元件與均溫層協同作用,使晶圓表面溫度均勻性控制在±1℃以內,適配6英寸至12英寸不同規格晶圓!設備整體采用無揮發潔凈工藝處理,在高真空環境下無雜質釋放,搭配快速升溫技術(升溫速率達30℃/分鐘),完美契合PVD工藝中對溫度穩定性與生產效率的雙重要求,為半導體薄膜制備提供可靠溫控支撐!浦東新區晶圓級陶瓷加熱盤細節處精心設計,接口布線密封優良,性能穩定持久。

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依托強大的研發與制造能力,國瑞熱控提供全流程半導體加熱盤定制服務,滿足特殊工藝與設備的個性化需求!可根據客戶提供的圖紙與參數,定制圓形、方形等特殊形狀加熱盤,尺寸覆蓋4英寸至18英寸晶圓規格!材質可選擇鋁合金、氮化鋁陶瓷、因瓦合金等多種類型,加熱方式支持電阻加熱、紅外加熱及復合加熱模式,溫度范圍與控溫精度按需設定!通過三維建模與溫度場仿真優化設計方案,原型樣品交付周期縮短至15個工作日,批量生產前提供2臺樣品進行工藝驗證!已為長鑫存儲、華虹半導體等企業定制**加熱盤,適配其自主研發設備,助力國產半導體設備產業鏈完善!

國瑞熱控光刻膠烘烤加熱盤以微米級溫控精度支撐光刻工藝,采用鋁合金基體與陶瓷覆層復合結構,表面粗糙度 Ra 小于 0.1μm,減少光刻膠涂布缺陷。加熱面劃分 6 個**溫控區域,通過仿真優化的加熱元件布局,使溫度均勻性達 ±0.5℃,避免烘烤過程中因溫度差異導致的光刻膠膜厚不均。溫度調節范圍覆蓋 60℃至 150℃,升溫速率 10℃/ 分鐘,搭配無接觸紅外測溫系統,實時監測晶圓表面溫度并動態調節。設備兼容 6 英寸至 12 英寸光刻機配套需求,與 ASML、尼康等設備的制程參數匹配,為光刻膠的軟烘、堅膜等關鍵步驟提供穩定溫控環境。接口布線密封精心設計,確保整體性能穩定,延長使用壽命。

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面向半導體新材料研發場景,國瑞熱控高溫加熱盤以寬溫域與高穩定性成為科研工具。采用石墨與碳化硅復合基材,工作溫度范圍覆蓋 500℃-2000℃,可通過程序設定實現階梯式升溫,升溫速率調節范圍 0.1-10℃/ 分鐘。加熱面配備 24 組測溫點,實時監測溫度分布,數據采樣頻率達 10Hz,支持與實驗室數據系統對接。設備體積緊湊(直徑 30cm),重量* 5kg,配備小型真空腔體與惰性氣體接口,適配薄膜沉積、晶體生長等多種實驗需求,已服務于中科院半導體所等科研機構。加熱盤及配套一站式,省時省心,長期可信賴供應商。楊浦區半導體晶圓加熱盤生產廠家

嚴格老化測試檢驗,確保產品零缺陷,品質保證。浦東新區晶圓級陶瓷加熱盤

依托強大的研發與制造能力,國瑞熱控提供全流程半導體加熱盤定制服務,滿足特殊工藝與設備的個性化需求。可根據客戶提供的圖紙與參數,定制圓形、方形等特殊形狀加熱盤,尺寸覆蓋 4 英寸至 18 英寸晶圓規格。材質可選擇鋁合金、氮化鋁陶瓷、因瓦合金等多種類型,加熱方式支持電阻加熱、紅外加熱及復合加熱模式,溫度范圍與控溫精度按需設定。通過三維建模與溫度場仿真優化設計方案,原型樣品交付周期縮短至 15 個工作日,批量生產前提供 2 臺樣品進行工藝驗證。已為長鑫存儲、華虹半導體等企業定制**加熱盤,適配其自主研發設備,助力國產半導體設備產業鏈完善。浦東新區晶圓級陶瓷加熱盤

無錫市國瑞熱控科技有限公司是一家有著先進的發展理念,先進的管理經驗,在發展過程中不斷完善自己,要求自己,不斷創新,時刻準備著迎接更多挑戰的活力公司,在江蘇省等地區的電工電氣中匯聚了大量的人脈以及**,在業界也收獲了很多良好的評價,這些都源自于自身的努力和大家共同進步的結果,這些評價對我們而言是比較好的前進動力,也促使我們在以后的道路上保持奮發圖強、一往無前的進取創新精神,努力把公司發展戰略推向一個新高度,在全體員工共同努力之下,全力拼搏將共同無錫市國瑞熱控科技供應和您一起攜手走向更好的未來,創造更有價值的產品,我們將以更好的狀態,更認真的態度,更飽滿的精力去創造,去拼搏,去努力,讓我們一起更好更快的成長!

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