國(guó)瑞熱控 12 英寸半導(dǎo)體加熱盤專為先進(jìn)制程量產(chǎn)需求設(shè)計(jì)，采用氮化鋁陶瓷與高純銅復(fù)合基材，通過多道精密研磨工藝，使加熱面平面度誤差控制在 0.015mm 以內(nèi)，完美貼合大尺寸晶圓的均勻受熱需求。內(nèi)部采用分區(qū)式加熱元件布局，劃分 8 個(gè)**溫控區(qū)域，配合高精度鉑電阻傳感器，實(shí)現(xiàn) ±0.8℃的控溫精度，滿足 7nm 至 14nm 制程對(duì)溫度均勻性的嚴(yán)苛要求。設(shè)備支持真空吸附與靜電卡盤雙重固定方式，適配不同類型的反應(yīng)腔結(jié)構(gòu)，升溫速率達(dá) 20℃/ 分鐘，工作溫度范圍覆蓋室溫至 600℃，可兼容 PVD、CVD、刻蝕等多道關(guān)鍵工藝。通過與中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等企業(yè)的深度合作，已實(shí)現(xiàn)與國(guó)產(chǎn) 12 英寸晶圓生產(chǎn)線的無縫對(duì)接，為先進(jìn)制程規(guī)模化生產(chǎn)提供穩(wěn)定溫控支撐。靈活功率配置可選，滿足不同溫度需求，應(yīng)用范圍廣泛多樣。上海晶圓加熱盤生產(chǎn)廠家

針對(duì)12英寸及以上大尺寸晶圓的制造需求，國(guó)瑞熱控大尺寸半導(dǎo)體加熱盤以創(chuàng)新結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)高效溫控！產(chǎn)品采用多模塊拼接式結(jié)構(gòu)，單模塊加熱面積可達(dá)1500cm2，通過標(biāo)準(zhǔn)化接口可靈活組合成更大尺寸加熱系統(tǒng)，適配不同產(chǎn)能的生產(chǎn)線需求！每個(gè)模塊配備**溫控單元，通過**控制系統(tǒng)協(xié)同工作，確保整個(gè)加熱面溫度均勻性控制在±1.5℃以內(nèi)！采用輕量化**度基材，在保證結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性的同時(shí)降低設(shè)備重量，便于安裝與維護(hù)！表面經(jīng)精密加工確保平整度，與大尺寸晶圓完美貼合，減少熱傳導(dǎo)損耗，為先進(jìn)制程中大規(guī)模晶圓的均勻加熱提供可靠解決方案！靜安區(qū)刻蝕晶圓加熱盤供應(yīng)商專業(yè)應(yīng)用工程師團(tuán)隊(duì)，提供工藝優(yōu)化建議，創(chuàng)造更大價(jià)值。

國(guó)瑞熱控依托10余年半導(dǎo)體加熱盤研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，提供全流程定制化研發(fā)服務(wù)，滿足客戶特殊工藝需求！服務(wù)流程涵蓋需求分析、方案設(shè)計(jì)、原型制作、性能測(cè)試、批量生產(chǎn)五大環(huán)節(jié)，可根據(jù)客戶提供的工藝參數(shù)（溫度范圍、控溫精度、尺寸規(guī)格、環(huán)境要求等），定制特殊材質(zhì)（如高純石墨、氮化硅陶瓷）、特殊結(jié)構(gòu)（如多腔體集成、異形加熱面）的加熱盤！配備專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)（含材料學(xué)、熱力學(xué)、機(jī)械設(shè)計(jì)工程師），采用ANSYS溫度場(chǎng)仿真軟件優(yōu)化設(shè)計(jì)方案，原型樣品交付周期**短10個(gè)工作日，且提供3次**方案迭代！已為國(guó)內(nèi)多家半導(dǎo)體設(shè)備廠商定制**加熱盤，如為某企業(yè)開發(fā)的真空腔體集成加熱盤，實(shí)現(xiàn)加熱與勻氣功能一體化，滿足其特殊制程的空間限制需求！

國(guó)瑞熱控建立半導(dǎo)體加熱盤全生命周期服務(wù)體系，為客戶提供從選型咨詢到報(bào)廢回收的全流程支持。售前提供工藝適配咨詢，結(jié)合客戶制程需求推薦合適型號(hào)或定制方案；售中提供安裝調(diào)試指導(dǎo)，確保加熱盤與設(shè)備精細(xì)對(duì)接，且提供操作培訓(xùn)服務(wù)；售后提供7×24小時(shí)技術(shù)支持，設(shè)備故障響應(yīng)時(shí)間不超過2小時(shí)，維修周期控制在5個(gè)工作日以內(nèi)，同時(shí)提供定期巡檢服務(wù)（每季度1次），提前排查潛在問題。此外，針對(duì)報(bào)廢加熱盤提供環(huán)保回收服務(wù)，對(duì)可回收材質(zhì)（如不銹鋼、鋁合金）進(jìn)行分類處理，符合國(guó)家環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)。該服務(wù)體系已覆蓋國(guó)內(nèi)30余省市的半導(dǎo)體企業(yè)，累計(jì)服務(wù)客戶超200家，以專業(yè)服務(wù)保障客戶生產(chǎn)線穩(wěn)定運(yùn)行，構(gòu)建長(zhǎng)期合作共贏關(guān)系。精湛工藝嚴(yán)格質(zhì)檢，性能優(yōu)異經(jīng)久耐用，口碑載道。

在半導(dǎo)體離子注入工藝中，國(guó)瑞熱控配套加熱盤以穩(wěn)定溫控助力摻雜濃度精細(xì)控制！其采用耐高溫合金基材，經(jīng)真空退火處理消除內(nèi)部應(yīng)力，可在400℃高溫下長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行而不變形！加熱盤表面噴涂絕緣耐離子轟擊涂層，避免電荷積累對(duì)注入精度的干擾，同時(shí)具備優(yōu)良的導(dǎo)熱性能，能快速將晶圓預(yù)熱至設(shè)定溫度并保持恒定！設(shè)備配備雙路溫度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，分別監(jiān)控加熱元件與晶圓表面溫度，當(dāng)出現(xiàn)偏差時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)調(diào)節(jié)機(jī)制，溫度控制精度達(dá)±1℃！適配不同型號(hào)離子注入機(jī)，通過標(biāo)準(zhǔn)化接口實(shí)現(xiàn)快速安裝，為半導(dǎo)體摻雜工藝的穩(wěn)定性與重復(fù)性提供有力支持！大小功率齊全，靈活匹配實(shí)驗(yàn)裝置與工業(yè)設(shè)備需求。天津半導(dǎo)體加熱盤廠家

熱場(chǎng)分布均勻，避免局部過熱，保護(hù)樣品質(zhì)量一致。上海晶圓加熱盤生產(chǎn)廠家

國(guó)瑞熱控薄膜沉積**加熱盤以精細(xì)溫控助力半導(dǎo)體涂層質(zhì)量提升，采用鋁合金基體與陶瓷覆層復(fù)合結(jié)構(gòu)，表面粗糙度Ra控制在0.08μm以內(nèi)，減少薄膜沉積過程中的界面缺陷！加熱元件采用螺旋狀分布設(shè)計(jì)，配合均溫層優(yōu)化，使加熱面溫度均勻性達(dá)±0.5℃，確保薄膜厚度偏差小于5%！設(shè)備支持溫度階梯式調(diào)節(jié)功能，可根據(jù)沉積材料特性設(shè)定多段溫度曲線，適配氧化硅、氮化硅等不同薄膜的生長(zhǎng)需求！工作溫度范圍覆蓋100℃至500℃，升溫速率12℃/分鐘，且具備快速冷卻通道，縮短工藝間隔時(shí)間！通過與拓荊科技、北方華創(chuàng)等設(shè)備廠商的聯(lián)合調(diào)試，已實(shí)現(xiàn)與國(guó)產(chǎn)薄膜沉積設(shè)備的完美適配，為半導(dǎo)體器件的絕緣層、鈍化層制備提供穩(wěn)定加熱環(huán)境！上海晶圓加熱盤生產(chǎn)廠家

無錫市國(guó)瑞熱控科技有限公司是一家有著先進(jìn)的發(fā)展理念，先進(jìn)的管理經(jīng)驗(yàn)，在發(fā)展過程中不斷完善自己，要求自己，不斷創(chuàng)新，時(shí)刻準(zhǔn)備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司，在江蘇省等地區(qū)的電工電氣中匯聚了大量的人脈以及**，在業(yè)界也收獲了很多良好的評(píng)價(jià)，這些都源自于自身的努力和大家共同進(jìn)步的結(jié)果，這些評(píng)價(jià)對(duì)我們而言是比較好的前進(jìn)動(dòng)力，也促使我們?cè)谝院蟮牡缆飞媳３謯^發(fā)圖強(qiáng)、一往無前的進(jìn)取創(chuàng)新精神，努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個(gè)新高度，在全體員工共同努力之下，全力拼搏將共同無錫市國(guó)瑞熱控科技供應(yīng)和您一起攜手走向更好的未來，創(chuàng)造更有價(jià)值的產(chǎn)品，我們將以更好的狀態(tài)，更認(rèn)真的態(tài)度，更飽滿的精力去創(chuàng)造，去拼搏，去努力，讓我們一起更好更快的成長(zhǎng)！