針對(duì)半導(dǎo)體濕法工藝中溶液溫度控制需求,國瑞熱控濕法**加熱盤采用耐腐蝕不銹鋼材質(zhì),經(jīng)電解拋光與鈍化處理,可耐受酸堿溶液長期浸泡無腐蝕!加熱盤內(nèi)置密封式加熱元件,與溶液完全隔離,避免漏電風(fēng)險(xiǎn),同時(shí)具備1500V/1min的電氣強(qiáng)度,使用安全可靠!通過底部加熱與側(cè)面保溫設(shè)計(jì),使溶液溫度均勻性控制在±1℃以內(nèi),溫度調(diào)節(jié)范圍覆蓋25℃至100℃,滿足濕法刻蝕、清洗等工藝的溫度要求!配備高精度溫度傳感器,實(shí)時(shí)監(jiān)測溶液溫度,當(dāng)溫度超出設(shè)定范圍時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)加熱或冷卻調(diào)節(jié),確保化學(xué)反應(yīng)平穩(wěn)進(jìn)行!設(shè)備適配不同規(guī)格的濕法工藝槽體,可根據(jù)槽體尺寸定制加熱盤形狀與功率,為半導(dǎo)體濕法工藝的穩(wěn)定性與重復(fù)性提供保障!表面特殊處理工藝,耐腐蝕易清潔,適用于各種復(fù)雜工作環(huán)境。無錫探針測試加熱盤廠家

借鑒晶圓鍵合工藝的技術(shù)需求,國瑞熱控鍵合**加熱盤創(chuàng)新采用真空吸附與彈簧壓塊復(fù)合結(jié)構(gòu),通過彈簧壓力限制加熱平臺(tái)受熱膨脹,高溫下表面平整度誤差控制在0.02mm以內(nèi)!加熱盤主體采用因瓦合金與氮化鋁復(fù)合基材,兼具低熱膨脹系數(shù)與高導(dǎo)熱性,溫度均勻性達(dá)±1.5℃,適配室溫至450℃的鍵合溫度需求!底部設(shè)計(jì)雙層隔熱結(jié)構(gòu),***層阻隔熱量向下傳導(dǎo),第二層快速散熱避免設(shè)備腔體溫升過高!配備精細(xì)壓力控制模塊,可根據(jù)鍵合類型調(diào)整吸附力,在硅-硅直接鍵合、金屬鍵合等工藝中確保界面貼合緊密,提升鍵合良率!無錫加熱盤非標(biāo)定制熱響應(yīng)速度快,快速達(dá)溫穩(wěn)定,減少等待時(shí)間提升效率。

針對(duì)晶圓清洗后的烘干環(huán)節(jié),國瑞熱控**加熱盤以潔凈高效的特性適配嚴(yán)苛需求!產(chǎn)品采用高純不銹鋼基材,表面經(jīng)電解拋光與鈍化處理,粗糙度Ra小于0.2μm,減少水分子附著與雜質(zhì)殘留!加熱面采用蜂窩狀導(dǎo)熱結(jié)構(gòu),使熱量均勻分布,晶圓表面溫度差控制在±2℃以內(nèi),避免因局部過熱導(dǎo)致的晶圓翹曲!溫度調(diào)節(jié)范圍覆蓋50℃至150℃,支持階梯式升溫程序,適配不同清洗液的烘干需求!設(shè)備整體采用無死角結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),清潔時(shí)*需用高純酒精擦拭即可,符合半導(dǎo)體制造的高潔凈標(biāo)準(zhǔn),為清洗后晶圓的干燥質(zhì)量與后續(xù)工藝銜接提供保障!
國瑞熱控依托10余年半導(dǎo)體加熱盤研發(fā)經(jīng)驗(yàn),提供全流程定制化研發(fā)服務(wù),滿足客戶特殊工藝需求!服務(wù)流程涵蓋需求分析、方案設(shè)計(jì)、原型制作、性能測試、批量生產(chǎn)五大環(huán)節(jié),可根據(jù)客戶提供的工藝參數(shù)(溫度范圍、控溫精度、尺寸規(guī)格、環(huán)境要求等),定制特殊材質(zhì)(如高純石墨、氮化硅陶瓷)、特殊結(jié)構(gòu)(如多腔體集成、異形加熱面)的加熱盤!配備專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)(含材料學(xué)、熱力學(xué)、機(jī)械設(shè)計(jì)工程師),采用ANSYS溫度場仿真軟件優(yōu)化設(shè)計(jì)方案,原型樣品交付周期**短10個(gè)工作日,且提供3次**方案迭代!已為國內(nèi)多家半導(dǎo)體設(shè)備廠商定制**加熱盤,如為某企業(yè)開發(fā)的真空腔體集成加熱盤,實(shí)現(xiàn)加熱與勻氣功能一體化,滿足其特殊制程的空間限制需求!多種規(guī)格靈活定制,國瑞加熱盤滿足您的特殊應(yīng)用需求。

借鑒空間站 “雙波長激光加熱” 原理,國瑞熱控開發(fā)半導(dǎo)體激光加熱盤,適配極端高溫材料制備。采用氮化鋁陶瓷基體嵌入激光吸收層,表面可承受 3000℃以上局部高溫,配合半導(dǎo)體激光與二氧化碳激光協(xié)同加熱,實(shí)現(xiàn) “表面強(qiáng)攻 + 內(nèi)部滲透” 的加熱效果。加熱區(qū)域直徑可在 10mm-200mm 間調(diào)節(jié),溫度響應(yīng)時(shí)間小于 1 秒,控溫精度 ±1℃,支持脈沖式加熱模式。設(shè)備配備紅外測溫與激光功率閉環(huán)控制系統(tǒng),在鎢合金、鈮合金等耐熱材料研發(fā)中應(yīng)用,為航空航天等**領(lǐng)域提供極端環(huán)境模擬工具。快速交付承諾,標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品現(xiàn)貨供應(yīng),定制產(chǎn)品周期短響應(yīng)快。閔行區(qū)加熱盤供應(yīng)商
完善技術(shù)文檔提供,安裝指導(dǎo)詳細(xì)清晰,助您快速上手使用。無錫探針測試加熱盤廠家
國瑞熱控清洗槽**加熱盤以全密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)適配高潔凈需求,采用 316L 不銹鋼經(jīng)電解拋光處理,表面粗糙度 Ra 小于 0.05μm,無顆粒脫落風(fēng)險(xiǎn)。加熱元件采用氟塑料密封封裝,與清洗液完全隔離,耐受酸堿濃度達(dá) 90% 的腐蝕環(huán)境,電氣強(qiáng)度達(dá) 2000V/1min。通過底部波浪形加熱面設(shè)計(jì),使槽內(nèi)溶液形成自然對(duì)流,溫度均勻性達(dá) ±0.8℃,溫度調(diào)節(jié)范圍 25℃-120℃。配備防干燒與泄漏檢測系統(tǒng),與盛美上海等清洗設(shè)備廠商適配,符合半導(dǎo)體制造 Class 1 潔凈標(biāo)準(zhǔn),為晶圓清洗后的表面質(zhì)量提供保障。無錫探針測試加熱盤廠家
無錫市國瑞熱控科技有限公司是一家有著先進(jìn)的發(fā)展理念,先進(jìn)的管理經(jīng)驗(yàn),在發(fā)展過程中不斷完善自己,要求自己,不斷創(chuàng)新,時(shí)刻準(zhǔn)備著迎接更多挑戰(zhàn)的活力公司,在江蘇省等地區(qū)的電工電氣中匯聚了大量的人脈以及**,在業(yè)界也收獲了很多良好的評(píng)價(jià),這些都源自于自身的努力和大家共同進(jìn)步的結(jié)果,這些評(píng)價(jià)對(duì)我們而言是比較好的前進(jìn)動(dòng)力,也促使我們在以后的道路上保持奮發(fā)圖強(qiáng)、一往無前的進(jìn)取創(chuàng)新精神,努力把公司發(fā)展戰(zhàn)略推向一個(gè)新高度,在全體員工共同努力之下,全力拼搏將共同無錫市國瑞熱控科技供應(yīng)和您一起攜手走向更好的未來,創(chuàng)造更有價(jià)值的產(chǎn)品,我們將以更好的狀態(tài),更認(rèn)真的態(tài)度,更飽滿的精力去創(chuàng)造,去拼搏,去努力,讓我們一起更好更快的成長!