國瑞熱控金屬加熱盤突破海外技術壁壘,實現復雜結構產品量產能力。采用不銹鋼精密加工一體化成型,通過五軸聯動機床制造螺紋斜孔等復雜結構,加熱面粗糙度 Ra 小于 0.1μm。內置螺旋狀不銹鋼加熱元件,經真空焊接工藝與基體緊密結合,熱效率達 90%,升溫速率 25℃/ 分鐘,工作溫度范圍室溫至 500℃。設備具備 1000 小時無故障運行能力,通過國內主流客戶認證,可直接替換進口同類產品,在勻氣盤集成等場景中表現優異,助力半導體設備精密零部件國產化。表面噴涂特殊涂層,防腐防氧化,延長設備使用壽命。南通涂膠顯影加熱盤

針對半導體濕法工藝中溶液溫度控制需求,國瑞熱控濕法**加熱盤采用耐腐蝕不銹鋼材質,經電解拋光與鈍化處理,可耐受酸堿溶液長期浸泡無腐蝕。加熱盤內置密封式加熱元件,與溶液完全隔離,避免漏電風險,同時具備 1500V/1min 的電氣強度,使用安全可靠。通過底部加熱與側面保溫設計,使溶液溫度均勻性控制在 ±1℃以內,溫度調節范圍覆蓋 25℃至 100℃,滿足濕法刻蝕、清洗等工藝的溫度要求。配備高精度溫度傳感器,實時監測溶液溫度,當溫度超出設定范圍時自動啟動加熱或冷卻調節,確?;瘜W反應平穩進行。設備適配不同規格的濕法工藝槽體,可根據槽體尺寸定制加熱盤形狀與功率,為半導體濕法工藝的穩定性與重復性提供保障。江蘇高精度均溫加熱盤定制設計生產精益求精,溫度一致性優,動態響應能力出色。

針對化學氣相沉積工藝的復雜反應環境,國瑞熱控CVD電控加熱盤以多維技術創新**溫控難題!加熱盤內置多區域**溫控模塊,可根據反應腔不同區域需求實現差異化控溫,溫度調節范圍覆蓋室溫至600℃,滿足各類CVD反應的溫度窗口要求!采用特種絕緣材料與密封結構設計,能耐受反應腔內部腐蝕性氣體侵蝕,同時具備1500V/1min的電氣強度,無擊穿閃絡風險!搭配高精度鉑電阻傳感器,實時測溫精度達±0.5℃,通過PID閉環控制確保溫度波動小于±1℃,為晶圓表面材料的均勻沉積與性能穩定提供關鍵保障,適配集成電路制造的規?;a需求!
為解決加熱盤長期使用后的溫度漂移問題,國瑞熱控開發**校準模塊,成為半導體生產線的精度保障利器!模塊采用鉑電阻與熱電偶雙傳感設計,測溫精度達±0.05℃,可覆蓋室溫至800℃全溫度范圍,適配不同材質加熱盤的校準需求!配備便攜式數據采集終端,支持實時顯示溫度分布曲線與偏差分析,數據可通過USB導出形成校準報告!校準過程無需拆卸加熱盤,通過磁吸式貼合加熱面即可完成檢測,單臺設備校準時間縮短至30分鐘以內!適配國瑞全系列半導體加熱盤,同時兼容Kyocera、CoorsTek等國際品牌產品,幫助企業建立完善的溫度校準體系,確保工藝參數的一致性與可追溯性!熱響應速度快,快速達溫穩定,減少等待時間提升效率。

國瑞熱控推出半導體加熱盤**溫度監控軟件,實現加熱過程的數字化管理與精細控制。軟件具備實時溫度顯示功能,可通過圖表直觀呈現加熱盤各區域溫度變化曲線,支持多臺加熱盤同時監控,方便生產線集中管理。內置溫度數據存儲與導出功能,可自動記錄加熱過程中的溫度參數,存儲時間長達 1 年,便于工藝追溯與質量分析。具備溫度異常報警功能,當加熱盤溫度超出設定范圍或出現波動異常時,自動發出聲光報警并記錄異常信息,提醒操作人員及時處理。軟件兼容 Windows 與 Linux 操作系統,通過以太網與加熱盤控制系統連接,安裝調試便捷,適配國瑞全系列半導體加熱盤,為半導體生產線的智能化管理提供技術支持。多種規格形狀靈活定制,滿足特殊需求,無錫國瑞是您可靠合作伙伴。南通涂膠顯影加熱盤
低熱容設計升溫降溫快,實現高效熱循環,適合快速變溫工藝。南通涂膠顯影加熱盤
電控晶圓加熱盤:半導體工藝的準確溫控重點!無錫國瑞熱控的電控晶圓加熱盤,以創新結構設計解釋半導體制造的溫控難題!其底盤內置螺旋狀發熱電纜與均溫膜,通過熱量傳導路徑優化,使加熱面均溫性達到行業高標準,確保晶圓表面溫度分布均勻,為光刻膠涂布等關鍵工藝提供穩定環境!搭配高精度溫度傳感器與限溫開關,溫度波動可控制在極小范圍,適配6英寸至12英寸不同規格晶圓需求!設備采用卡接組件連接上盤與底盤,通過轉盤驅動齒輪結構實現快速拆裝,大幅降低檢修維護的停機時間,完美契合半導體量產線的高效運維需求!南通涂膠顯影加熱盤
無錫市國瑞熱控科技有限公司是一家有著雄厚實力背景、信譽可靠、勵精圖治、展望未來、有夢想有目標,有組織有體系的公司,堅持于帶領員工在未來的道路上大放光明,攜手共畫藍圖,在江蘇省等地區的電工電氣行業中積累了大批忠誠的客戶粉絲源,也收獲了良好的用戶口碑,為公司的發展奠定的良好的行業基礎,也希望未來公司能成為*****,努力為行業領域的發展奉獻出自己的一份力量,我們相信精益求精的工作態度和不斷的完善創新理念以及自強不息,斗志昂揚的的企業精神將**無錫市國瑞熱控科技供應和您一起攜手步入輝煌,共創佳績,一直以來,公司貫徹執行科學管理、創新發展、誠實守信的方針,員工精誠努力,協同奮取,以品質、服務來贏得市場,我們一直在路上!